一种PBN坩埚镀膜机制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种PBN坩埚镀膜机，包括机箱、升降机构以及送风机构，所述升降机构固定设置在机箱内侧壁，所述送风机构固定设置在机箱顶部，所述机箱的内底部设有加热保温箱，所述加热保温箱内壁设有石英锅。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题，现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚：首先将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液，然后对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理。基于处理PBN坩埚的新技术路线，本实用新型专利技术正是为解决将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液而提出的一种新的技术方案。

【技术实现步骤摘要】
一种PBN坩埚镀膜机
本技术涉及半导体材料制备领域，具体涉及一种PBN坩埚镀膜机。
技术介绍
热解氮化硼英文名为PyrolyticBoronNitride，简称为PyrolyticBN或PBN，也称为Chemicalvapour-depositedBoronNitride、ChemicalVapour-depositionofBoronNitride或CVD-BN等，在半导体材料制备过程中，PBN坩埚是一种重要的生产用容器，合格的PBN坩埚需要经历烘烤氧化的过程,待表面覆盖一层氧化膜后方可使用。CN206927963U公开了一种坩埚烘烤装置，通过炉膛内高温烘烤和抽真空实现坩埚脱水，在880~980℃条件下持续充氧实现对PBN坩埚内外壁氮化硼的氧化，形成的坩埚内壁氧化膜有助于在砷化镓、磷化铟长单晶过程中，以提高液封氧化硼的对PBN坩埚内壁的浸润度，从而提高晶体生长良品率。然而该设备在880~980℃高温时持续充氧，常温状态氧气持续以约0.1~0.55MPa的压力向炉体内充氧，温差大，导致氧气消耗大、能耗损失大。而且该设备由于PBN坩埚平卧，PBN坩埚离炉体12根加热丝非等距，PBN坩埚所处的温场差异较大；同时在外界持续充氧作用下，冷热气体在高温作用下形成杂乱无章的紊流，甚至可能因反应温度不足或氧压不够导致PBN坩埚内壁局部未被氧化，最终导致两个影响：其一是晶体生长工艺中氧化硼浸润度不足形成异核挛晶，对晶体生长良品率造成不利影响；其二是该工艺的PBN坩埚由于氧化膜厚度不够均匀，晶体生长完成后，PBN坩埚内壁氮化硼脱模离层的程度不一，降低了PBN坩埚的寿命。所以该处理方案存在能耗损失大和坩埚寿命短的缺点。专利CN108396388A公开了立式烘烤氧化系统，该方案虽然调整了烘烤方式，由卧式烘烤改为立式烘烤，但基本技术路线仍为烘烤氧化，依然存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题。鉴于现有技术的不足，需要提出一种新的技术路线处理PBN坩埚，以解决能耗大和坩埚寿命短的技术问题，基于处理PBN坩埚的新技术路线，本技术提出一种PBN坩埚镀膜机。
技术实现思路
本技术的目的是为克服现有技术的不足，而提供一种PBN坩埚镀膜机。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案。本技术提供了一种PBN坩埚镀膜机，包括机箱、升降机构以及送风机构，所述升降机构固定设置在机箱内侧壁，所述送风机构固定设置在机箱顶部，所述机箱的内底部设有加热保温箱，所述加热保温箱内壁设有石英锅。作为本技术的进一步改进，所述升降机构包括升降导轨、位移滑动块以及连接件，所述升降导轨固定设置在机箱内侧壁，所述位移滑动块可滑动设置在升降导轨上，所述连接件呈横向长、纵向短的直角形状，所述连接件的纵向一端固定连接在位移滑动块上，所述连接件的横向一端至少设置一个向下的夹具。作为本技术的进一步改进，所述夹具远离连接件的一端设有向外张开的瓣片。作为本技术的进一步改进，所述瓣片的数量至少为3个。作为本技术的进一步改进，所述瓣片的外壁设有螺纹，螺纹外设有相互配合的螺母。作为本技术的进一步改进，所述连接件纵向一端和横向一端的直角之间设有加强筋。作为本技术的进一步改进，所述机箱的底部外壁设有排气口。作为本技术的进一步改进，所述机箱的外壁设有活页门，所述活页门一侧通过活页门扣固定安装于机箱上。作为本技术的进一步改进，所述活页门上远离活页门扣的一端设有门拉手。作为本技术的进一步改进，所述机箱底部的四个边角处均固定设有支撑脚腿，支撑脚腿远离机箱的一端还设有支撑脚座。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题，现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚：首先将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液，然后对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理。基于处理PBN坩埚的新技术路线，本技术正是为解决将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液而提出的一种新的技术方案。附图说明图1为本技术一种PBN坩埚镀膜机的内部结构示意图；图2为本技术一种PBN坩埚镀膜机的立部结构示意图；图3为本技术一种PBN坩埚镀膜机的A部示意图。其中：1-机箱；2-升降机构；3-送风机构；4-加热保温箱；5-石英锅；6-排气口；7-活页门；8-活页门扣；9-门拉手；10-支撑脚腿；11-支撑脚座；12-PBN坩埚；201-升降导轨；202-位移滑动块；203-连接件；204-夹具；205-螺母；206-加强筋；204a-瓣片；204b-螺纹。具体实施方式下面将结合本技术实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参考图1、图2和图3，根据本技术的第一方面，提供了一种PBN坩埚镀膜机，包括机箱1和升降机构2，升降机构2固定设置在机箱1内侧壁，升降机构2包括升降导轨201、位移滑动块202以及连接件203，升降导轨201固定设置在机箱1内侧壁，位移滑动块202可滑动设置在升降导轨201上，连接件203呈横向长、纵向短的直角形状，连接件203纵向一端和横向一端的直角之间设有加强筋206，连接件203的纵向一端固定连接在位移滑动块202上，连接件203的横向一端至少设置一个向下的夹具204，夹具204远离连接件203的一端设有向外张开的瓣片204a，优选地，瓣片204a的数量至少为3个，瓣片204a的外壁设有螺纹204b，螺纹204b外设有相互配合的螺母205，螺母205向上旋转时，瓣片204a向外张开，螺母205向下旋转时，螺母205与螺纹204b配合使瓣片204a向内闭合，从而固定PBN坩埚12的位置。机箱1的内底部设有加热保温箱4，加热保温箱4内壁设有石英锅5，石英锅5装满高纯硼酸溶液，升降机构2控制PBN坩埚12的升降使PBN坩埚12完全浸入高纯硼酸溶液中。机箱1的顶部设有送风机构3，机箱1的底部外壁设有排气口6，送风机构3给机箱1送风，新风进入机箱1后通过排气口6排出，从而在机箱1内形成空气内循环，加速了机箱1中空气的流通。机箱1的外壁设有活页门7，活页门7一侧通过活页门扣8固定安装于机箱1上，活页门7上远离活页门扣8的一端设有门拉手9，机箱1的外壁设置活页门7，便于工作人员在必要时打开活页门7进行检修工作，或便于工作人员在镀膜结束后打开活页门7取出PBN坩埚12。机箱1底部的四个边角处均固定设有支撑脚腿10，支撑脚腿10远离机箱1的一端还设有支撑脚座11，支撑脚腿10用来支撑整体设备与支撑脚座11的接触，支撑脚座11固定在地面上，起到了缓冲减震、防止底部潮湿的作用。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题，现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚：首先本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PBN坩埚镀膜机，其特征在于，包括机箱、升降机构以及送风机构，所述升降机构固定设置在机箱内侧壁，所述送风机构固定设置在机箱顶部，所述机箱的内底部设有加热保温箱，所述加热保温箱内壁设有石英锅。/n

【技术特征摘要】
1.一种PBN坩埚镀膜机，其特征在于，包括机箱、升降机构以及送风机构，所述升降机构固定设置在机箱内侧壁，所述送风机构固定设置在机箱顶部，所述机箱的内底部设有加热保温箱，所述加热保温箱内壁设有石英锅。


2.根据权利要求1所述的一种PBN坩埚镀膜机，其特征在于，所述升降机构包括升降导轨、位移滑动块以及连接件，所述升降导轨固定设置在机箱内侧壁，所述位移滑动块可滑动设置在升降导轨上，所述连接件呈横向长、纵向短的直角形状，所述连接件的纵向一端固定连接在位移滑动块上，所述连接件的横向一端至少设置一个向下的夹具。


3.根据权利要求2所述的一种PBN坩埚镀膜机，其特征在于，所述夹具远离连接件的一端设有向外张开的瓣片。


4.根据权利要求3所述的一种PBN坩埚镀膜机，其特征在于，所述瓣片的数量至少为3个。


5....

【专利技术属性】
技术研发人员：齐正阳，李房斌，周铁军，白平平，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44