本实用新型专利技术公开了一种晶闸管生产用真空扩散装置，属于真空扩散炉领域，解决传统真空扩散炉尾气处理效果差的问题。该装置包括真空扩散炉体和排气管，所述的排气管上连接有净化箱，所述净化箱的内腔通过隔板分隔为冷却腔和中和腔，所述的隔板顶部设有将冷却腔和中和腔连通的通气口，所述冷却腔的底部与排气管连通，所述冷却腔顶部的净化箱上设有向冷却腔下部延伸的冷却管，所述的冷却管内设有冷却水腔，所述的净化箱顶部、侧部分别设有与冷却水腔连通的进水管和出水管；所述中和腔顶部设有抽风机，所述抽风机的进风口通过抽风管与中和腔连通。本实用新型专利技术能够进一步提高对残余气体的降温、中和效果，有效降低真空扩散炉尾气对环境的污染。
【技术实现步骤摘要】
一种晶闸管生产用真空扩散装置
本技术涉及真空扩散装置，更具体地说，它涉及一种晶闸管生产用真空扩散装置。
技术介绍
晶闸管是晶体闸流管的简称，具有硅整流器件的特性，能在高电压、大电流条件下工作，且其工作过程可以控制、被广泛应用于可控整流、交流调压、无触点电子开关、逆变及变频等电子电路中。晶闸管在生产过程中，通常使用到真空扩散炉，例如晶闸管的磷扩散等工艺，因此真空扩散炉是晶闸管生产企业中必不可少的设备。传统的晶闸管生产用真空扩散装置一般包括真空扩散炉体和排气管，在实际使用时，会有残余尾气通过排气管排出，该残余尾气的气体为高温、毒性气体，会给环境带来的很大的污染，同时也给人带来一定的伤害，而传统的晶闸管生产用真空扩散装置对该残余气体的处理通常是高空排放或经过水过滤，但是其对残余气体的效果还相对较差。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对现有技术的上述不足，提供一种晶闸管生产用真空扩散装置，能够进一步提高对残余气体的降温、中和效果，有效降低真空扩散炉尾气对环境的污染。本技术的技术方案是这样的：一种晶闸管生产用真空扩散装置，包括真空扩散炉体和排气管，所述的排气管上连接有净化箱，所述净化箱的内腔通过隔板分隔为冷却腔和中和腔，所述的隔板顶部设有将冷却腔和中和腔连通的通气口，所述冷却腔的底部与排气管连通，所述冷却腔顶部的净化箱上设有向冷却腔下部延伸的冷却管，所述的冷却管内设有冷却水腔，所述的净化箱顶部、侧部分别设有与冷却水腔连通的进水管和出水管；所述中和腔顶部设有抽风机，所述抽风机的进风口通过抽风管与中和腔连通，所述的中和腔内还设有用于将残余气体中和的喷淋组件。作为进一步地改进，所述冷却管的底面位于排气管的上方，所述冷却管的外壁还设有螺旋叶，所述的螺旋叶外壁分别与净化箱、隔板连接。进一步地，所述的喷淋组件包括喷淋管，所述喷淋管的上下两端通过密封轴承分别与净化箱的上下两端连接，且所述喷淋管的一端延伸至净化箱上方，所述喷淋管通过中和液管与中和液泵连通，所述中和腔内的喷淋管上设有多个喷淋孔。进一步地，所述的净化箱顶部还设有驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有主动锥齿轮，所述净化箱上方的喷淋管上设有从动锥齿轮，所述的从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合相连。进一步地，所述中和腔的底部还设有排污管，所述的排污管上设有电磁阀。进一步地，所述的抽风管延伸至中和腔的下部，且所述中和腔一侧的隔板上设有液位感应器，所述的液位感应器位于抽风管的底面下方。进一步地，所述的喷淋管顶部还通过轴承安装有封堵块，所述的封堵块上开设有用于安装中和液管的中心孔，所述的中心孔与中和液管过盈配合。有益效果本技术与现有技术相比，具有以下优点：本技术的晶闸管生产用真空扩散装置，通过在真空扩散炉的排气管上设置净化箱，利用抽风机将尾气抽至净化箱内，残余气体先在冷却腔内，由冷却管、冷却水腔和进水管、出水管、水泵组成的水循环冷却系统对其进行降温，降温后的残余气体再通过通气口进入中和腔，气体在中和腔内由喷淋管通过喷淋孔喷射出中和液，对残余气体中的磷等成分进行中和稀释，最后气体通过抽风机排出，能够进一步提高对残余气体的降温、中和效果，有效降低真空扩散炉尾气对环境的污染。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中净化箱的剖面结构放大示意图；图3为本技术中喷淋管顶部的剖面结构放大示意图；图4为本技术中冷却管的剖面结构放大示意图。其中：1-真空扩散炉体、2-排气管、3-净化箱、4-隔板、5-冷却腔、6-中和腔、7-通气口、8-冷却管、9-冷却水腔、10-进水管、11-出水管、12-抽风机、13-抽风管、14-螺旋叶、15-喷淋管、16-中和液管、17-喷淋孔、18-驱动电机、19-主动锥齿轮、20-从动锥齿轮、21-排污管、22-电磁阀、23-液位感应器、24-封堵块。具体实施方式下面结合附图中的具体实施例对本技术做进一步的说明。参阅图1-4，本技术的一种晶闸管生产用真空扩散装置，包括真空扩散炉体1和排气管2，其中，排气管2与真空扩散炉体1连通，用于将尾气排出，在排气管2上连接有净化箱3，该净化箱3的内腔通过隔板4分隔为冷却腔5和中和腔6，其中，冷却腔5用于对尾气进行冷却降温，中和腔6用于对尾气中的残余气体的磷等元素进行中和，在隔板4顶部设有将冷却腔5和中和腔6连通的通气口7，便于气体流通，冷却腔5的底部与排气管2连通，在冷却腔5顶部的净化箱3上设有向冷却腔5下部延伸的冷却管8，在冷却管8内设有冷却水腔9，用于储存冷却水，在净化箱3顶部、侧部分别设有与冷却水腔9连通的进水管10和出水管11，进水管10和出水管11均与水泵连通，从而形成冷却水循环系统；在中和腔6顶部设有抽风机12，该抽风机12的进风口通过抽风管13与中和腔6连通，将真空扩散炉体1、排气管2、净化箱3内的气体抽出，在中和腔6内还设有用于将残余气体中和的喷淋组件。具体的，喷淋组件包括喷淋管15，该喷淋管15的上下两端通过密封轴承分别与净化箱3的上下两端连接，且喷淋管15的一端延伸至净化箱3上方，喷淋管15通过中和液管16与中和液泵连通，中和腔6内的喷淋管15上设有多个喷淋孔17。本技术的晶闸管生产用真空扩散装置，通过在真空扩散炉的排气管2上设置净化箱3，在使用时，利用抽风机12将尾气抽至净化箱3内，残余气体先在冷却腔5内，由冷却管8、冷却水腔9和进水管10、出水管11、水泵组成的水循环冷却系统对其进行降温，降温后的残余气体再通过通气口7进入中和腔6，气体在中和腔6内由喷淋管15通过喷淋孔17喷射出中和液，对残余气体中的磷等成分进行中和稀释，最后气体通过抽风机12排出，能够进一步提高对残余气体的降温、中和效果，有效降低真空扩散炉尾气对环境的污染。优选的，冷却管8的底面位于排气管2的上方，确保排气管2的气体能够进入冷却腔5，在冷却管8的外壁还设有螺旋叶14，该螺旋叶14外壁分别与净化箱3、隔板4连接，使得气体沿冷却管8轴向螺旋上升，延长了气体与冷却管8的接触时间，进一步提高冷却效果。优选的，在净化箱3顶部还设有驱动电机18，该驱动电机18的输出端连接有主动锥齿轮19，在净化箱3上方的喷淋管15上设有从动锥齿轮20，该从动锥齿轮20与主动锥齿轮19啮合相连，驱动电机18工作，通过锥齿轮传动机构带动喷淋管15转动，使得喷淋管15一边旋转一边喷淋，进一步提高中和液与残余气体的混合均匀性，从而提高中和效果。优选的，在中和腔6的底部还设有排污管21，在排污管21上设有电磁阀22，可通过排污管21将中和后的液体排出。优选的，抽风管13延伸至中和腔6的下部，且中和腔6一侧的隔板4上设有液位感应器23，该液位感应器23位于抽风管13的底面下方，当液位感应器23感应到中和腔6内的液面到达一定位置后，工作人员可打开电磁阀22将液体排出，防止液体浸泡抽风管13而影响抽风，使用十分方便。优选的，在喷淋管15本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶闸管生产用真空扩散装置，包括真空扩散炉体(1)和排气管(2)，其特征在于，所述的排气管(2)上连接有净化箱(3)，所述净化箱(3)的内腔通过隔板(4)分隔为冷却腔(5)和中和腔(6)，所述的隔板(4)顶部设有将冷却腔(5)和中和腔(6)连通的通气口(7)，所述冷却腔(5)的底部与排气管(2)连通，所述冷却腔(5)顶部的净化箱(3)上设有向冷却腔(5)下部延伸的冷却管(8)，所述的冷却管(8)内设有冷却水腔(9)，所述的净化箱(3)顶部、侧部分别设有与冷却水腔(9)连通的进水管(10)和出水管(11)；所述中和腔(6)顶部设有抽风机(12)，所述抽风机(12)的进风口通过抽风管(13)与中和腔(6)连通，所述的中和腔(6)内还设有用于将残余气体中和的喷淋组件。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶闸管生产用真空扩散装置，包括真空扩散炉体(1)和排气管(2)，其特征在于，所述的排气管(2)上连接有净化箱(3)，所述净化箱(3)的内腔通过隔板(4)分隔为冷却腔(5)和中和腔(6)，所述的隔板(4)顶部设有将冷却腔(5)和中和腔(6)连通的通气口(7)，所述冷却腔(5)的底部与排气管(2)连通，所述冷却腔(5)顶部的净化箱(3)上设有向冷却腔(5)下部延伸的冷却管(8)，所述的冷却管(8)内设有冷却水腔(9)，所述的净化箱(3)顶部、侧部分别设有与冷却水腔(9)连通的进水管(10)和出水管(11)；所述中和腔(6)顶部设有抽风机(12)，所述抽风机(12)的进风口通过抽风管(13)与中和腔(6)连通，所述的中和腔(6)内还设有用于将残余气体中和的喷淋组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶闸管生产用真空扩散装置，其特征在于，所述冷却管(8)的底面位于排气管(2)的上方，所述冷却管(8)的外壁还设有螺旋叶(14)，所述的螺旋叶(14)外壁分别与净化箱(3)、隔板(4)连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶闸管生产用真空扩散装置，其特征在于，所述的喷淋组件包括喷淋管(15)，所述喷淋管(15)的上下两端通过密封轴承分别与净化箱(3)的上下两端连接，且所述喷淋管...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋解放，
申请(专利权)人：襄阳先泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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