本实用新型专利技术公开了一种磷扩散炉的污染物排除装置，属于污染物排除装置领域，解决传统磷扩散炉的三氯氧磷直接排至空气中而造成环境污染和人体伤害的问题。该装置包括与磷扩散炉的炉管连接的连接管和与连接管连通的净化箱，所述的净化箱内通过隔板分隔为回收腔和稀释腔，所述的回收腔内位于连接管的正上方依次设有三块交错布置的挡板，所述的挡板均向下倾斜布置，且所述挡板的一端与净化箱连接，另一端与净化箱之间形成一气流通道，所述的隔板顶部设有将回收腔和稀释腔连通的通气孔，所述的稀释腔内设有与净化箱转动连接的喷淋管。本实用新型专利技术的污染物排除装置，能够降低三氯氧磷对环境的污染，防止对人体造成伤害，有效节约了资源。
【技术实现步骤摘要】
一种磷扩散炉的污染物排除装置
本技术涉及污染物排除装置，更具体地说，它涉及一种磷扩散炉的污染物排除装置。
技术介绍
在大规模集成电路、分离器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业中，磷扩散是常见的一种工艺，在该道工艺中，磷扩散炉是必不可少了设备。磷扩散炉在实际使用时，携带有三氯氧磷的气体通过高温的扩散炉管后，通常不能完全与硅反应，会有一部分被排出炉管，而由于三氯氧磷具有毒性，未反应完的三氯氧磷未经处理而直接排放，相对于大气、人体而言，则成为了污染物，不仅对环境造成污染、对人体造成危害，而且还会导致资源浪费的问题。因此，亟需研发设计一种磷扩散炉的污染物排除装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对现有技术的上述不足，提供一种磷扩散炉的污染物排除装置，能够降低三氯氧磷对环境的污染，防止对人体造成伤害，有效节约了资源。本技术的技术方案是这样的：一种磷扩散炉的污染物排除装置，包括与磷扩散炉的炉管连接的连接管和与连接管连通的净化箱，所述的净化箱内通过隔板分隔为回收腔和稀释腔，所述的回收腔内位于连接管的正上方依次设有三块交错布置的挡板，所述的挡板均向下倾斜布置，且所述挡板的一端与净化箱连接，另一端与净化箱之间形成一气流通道，所述的隔板顶部设有将回收腔和稀释腔连通的通气孔，所述的稀释腔内设有与净化箱转动连接的喷淋管，所述的喷淋管上开设有多个喷淋孔，所述的净化箱顶部设有带动喷淋管转动的驱动组件，所述的净化箱顶部还设有抽风机，所述的抽风机通过引风管与稀释腔连通。作为进一步地改进，所述的驱动组件包括驱动电机、主动锥齿轮和从动锥齿轮，所述的驱动电机固定在净化箱顶部，所述的主动锥齿轮与驱动电机的输出端连接，所述的从动锥齿轮固定在净化箱上方的喷淋管上，且所述的从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合相连。进一步地，所述的喷淋管顶部还通过轴承安装有封堵块，所述的封堵块上开设有中心孔，所述的中心孔内过盈配合的插接有氨水进管。进一步地，所述的稀释腔的底部还设有排污管，所述的排污管上设有电磁阀。进一步地，所述的引风管延伸至稀释腔的下部，且所述稀释腔一侧的隔板上设有液位感应器，所述的液位感应器位于引风管的底面下方。进一步地，每个所述的挡板内均开设有冷却水道，所述的净化箱顶部设有水泵，所述的水泵分别通过进水管、出水管与冷却水道连通。进一步地，每个所述的挡板底部还设有多个凸起。进一步地，所述连接管上方的净化箱底面两侧还设有倾斜的导流板。有益效果本技术与现有技术相比，具有以下优点：本技术的污染物排除装置，通过连接管将净化箱与磷扩散炉的炉管连通，利用抽风机将未完全反应的三氯氧磷气体抽至净化箱，先经过挡板撞击气体，使气体中的三氯氧磷分离掉落回磷扩散炉中继续反应，气体继续通过通气孔进入稀释腔，利用喷淋管通过喷淋孔喷射氨水，对残余的三氯氧磷进行中和稀释，最后气体通过抽风机排出，能够降低三氯氧磷对环境的污染，防止对人体造成伤害，有效节约了资源。附图说明图1为本技术的主视结构示意图；图2为本技术中喷淋管顶部的剖面结构放大示意图；图3为本技术中挡板的剖面结构放大示意图。其中：1-连接管、2-净化箱、3-隔板、4-回收腔、5-稀释腔、6-挡板、7-气流通道、8-通气管、9-喷淋管、10-喷淋孔、11-引风管、12-驱动电机、13-主动锥齿轮、14-从动锥齿轮、15-封堵块、16-氨水进管、17-排污管、18-电磁阀、19-液位感应器、20-冷却水道、21-水泵、22-进水管、23-出水管、24-凸起、25-导流板、26-抽风机。具体实施方式下面结合附图中的具体实施例对本技术做进一步的说明。参阅图1-3，本技术的一种磷扩散炉的污染物排除装置，包括与磷扩散炉的炉管连接的连接管1和与连接管1连通的净化箱2，净化箱2内通过隔板3分隔为回收腔4和稀释腔5，回收腔4内位于连接管1的正上方依次设有三块交错布置的挡板6，每个挡板6均向下倾斜布置，且挡板6的一端与净化箱2连接，另一端与净化箱2之间形成一气流通道7，在隔板3顶部设有将回收腔4和稀释腔5连通的通气孔8，通气孔8位于最顶部一个挡板6的上方，在稀释腔5内设有与净化箱2转动连接的喷淋管9，具体的，喷淋管9与净化箱2通过密封轴承连接，在喷淋管9上开设有多个喷淋孔10，在净化箱2顶部设有带动喷淋管9转动的驱动组件，具体的，驱动组件包括驱动电机12、主动锥齿轮13和从动锥齿轮14，其中，驱动电机12固定在净化箱2顶部，主动锥齿轮13与驱动电机12的输出端连接，从动锥齿轮14固定在净化箱2上方的喷淋管9上，且从动锥齿轮14与主动锥齿轮13啮合相连，驱动电机12工作，通过主动锥齿轮13和从动锥齿轮14形成的齿轮传动机构带动喷淋管9转动，使得喷淋管9一边旋转一边喷淋氨水，三氯氧磷的稀释效果更佳，在净化箱2顶部还设有抽风机26，抽风机26通过引风管11与稀释腔5连通。本技术的污染物排除装置，通过连接管1将净化箱2与磷扩散炉的炉管连通，在实际使用时，抽风机26工作，利用抽风机26将未完全反应的三氯氧磷气体抽至净化箱2，气体在回收腔4内先经过挡板6撞击，使气体中的三氯氧磷分离掉落回磷扩散炉中继续反应，气体通过气流通道7继续向上运动，反复撞击，提高分离效果，并且气体继续通过通气孔8进入稀释腔5，驱动组件工作，带动喷淋管9转动，利用喷淋管9通过喷淋孔10喷射氨水，对残余的三氯氧磷进行中和稀释，最后气体通过抽风机26排出，能够降低三氯氧磷对环境的污染，防止对人体造成伤害，有效节约了资源。优选的，在喷淋管9顶部还通过轴承安装有封堵块15，封堵块5上开设有中心孔，中心孔内过盈配合的插接有氨水进管16，氨水进管16用于供给氨水，通过驱动组件与封堵块15配合，使得喷淋管9转动时，封堵块15可以不转动，有效防止氨水进管16绕线的问题。优选的，在稀释腔5的底部还设有排污管17，在排污管17上设有电磁阀18，可通过排污管17将稀释后的液体排出。优选的，引风管11延伸至稀释腔5的下部，且稀释腔5一侧的隔板3上设有液位感应器19，液位感应器19位于引风管11的底面下方，当液位感应器19感应到稀释腔5内的液面到达一定位置后，工作人员可打开电磁阀18将液体排出，防止液体浸泡引风管11而影响抽风，使用十分方便。优选的，在每个挡板6内均开设有冷却水道20，在净化箱2顶部设有水泵21，水泵21分别通过进水管22、出水管23与冷却水道20连通，通过水泵2向冷却水道20提供循环冷却水，使得挡板6表面温度降低，而高温的三氯氧磷遇到低温的挡板6容易形成水珠，进一步提高三氯氧磷的回收效率。优选的，在每个挡板6底部还设有多个凸起24，气体撞击在该凸起24上，进一步提高分离效果。优选的，在连接管1上方的净化箱2底面两侧还设有倾斜的导流板25，便于水珠回流至连接管1。以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出对于本领域的技术人员来说，在不本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种磷扩散炉的污染物排除装置，其特征在于，包括与磷扩散炉的炉管连接的连接管(1)和与连接管(1)连通的净化箱(2)，所述的净化箱(2)内通过隔板(3)分隔为回收腔(4)和稀释腔(5)，所述的回收腔(4)内位于连接管(1)的正上方依次设有三块交错布置的挡板(6)，所述的挡板(6)均向下倾斜布置，且所述挡板(6)的一端与净化箱(2)连接，另一端与净化箱(2)之间形成一气流通道(7)，所述的隔板(3)顶部设有将回收腔(4)和稀释腔(5)连通的通气孔(8)，所述的稀释腔(5)内设有与净化箱(2)转动连接的喷淋管(9)，所述的喷淋管(9)上开设有多个喷淋孔(10)，所述的净化箱(2)顶部设有带动喷淋管(9)转动的驱动组件，所述的净化箱(2)顶部还设有抽风机(26)，所述的抽风机(26)通过引风管(11)与稀释腔(5)连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种磷扩散炉的污染物排除装置，其特征在于，包括与磷扩散炉的炉管连接的连接管(1)和与连接管(1)连通的净化箱(2)，所述的净化箱(2)内通过隔板(3)分隔为回收腔(4)和稀释腔(5)，所述的回收腔(4)内位于连接管(1)的正上方依次设有三块交错布置的挡板(6)，所述的挡板(6)均向下倾斜布置，且所述挡板(6)的一端与净化箱(2)连接，另一端与净化箱(2)之间形成一气流通道(7)，所述的隔板(3)顶部设有将回收腔(4)和稀释腔(5)连通的通气孔(8)，所述的稀释腔(5)内设有与净化箱(2)转动连接的喷淋管(9)，所述的喷淋管(9)上开设有多个喷淋孔(10)，所述的净化箱(2)顶部设有带动喷淋管(9)转动的驱动组件，所述的净化箱(2)顶部还设有抽风机(26)，所述的抽风机(26)通过引风管(11)与稀释腔(5)连通。
2.根据权利要求1所述的一种磷扩散炉的污染物排除装置，其特征在于，所述的驱动组件包括驱动电机(12)、主动锥齿轮(13)和从动锥齿轮(14)，所述的驱动电机(12)固定在净化箱(2)顶部，所述的主动锥齿轮(13)与驱动电机(12)的输出端连接，所述的从动锥齿轮(14)固定在净化箱(2)上方的喷淋管(9)上，且所述的从动锥齿轮(14)与主动锥齿轮(13)啮合相连。
3.根据权利要求1所述的一种磷扩...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋解放，
申请(专利权)人：襄阳先泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。