【技术实现步骤摘要】
测量系统、测量方法及曝光装置
[0001]本专利技术申请是国际申请日为2015年12月22日、国际申请号为PCT/JP2015/085850、进入中国国家阶段的国家申请号为201580076893.0、专利技术名称为“移动体的控制方法、曝光方法、器件制造方法、移动体装置及曝光装置”的专利技术申请的分案申请。
[0002]本专利技术涉及移动体的控制方法、曝光方法、器件制造方法、曝光装置，更详细而言，涉及载置设置有多个标记的物体的移动体的控制方法、包含上述移动体的控制方法在内的曝光方法、使用了上述曝光方法的器件制造方法、包含载置设置有多个标记的物体的移动体的移动体装置、及具备上述移动体装置的曝光装置。
技术介绍
[0003]目前，在制造半导体元件(集成电路等)、液晶显示元件等电子器件(微型器件)的光刻工序中，使用步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机(也称为扫描仪))等。
[0004]在这种曝光装置中，由于例如在晶圆或玻璃板(以下统称为“晶圆”)上重叠形成有多层图案，所以进行用于使已形成于晶圆上的图案和光罩或标线片(以下统称为“标线片”)所具有的图案成为最佳的相对位置关系的操作(所谓对准)。另外，作为在这种对准中使用的对准传感器，已知有通过使测量光相对于设置于晶圆上的格子标记进行扫描(追随晶圆W的移动)能够迅速地进行该格子标记的检测的系统(例如，参照专利文献1)。
[0005]在此，为了提高重叠精度也期望进行多次格子标记的位置测量，具体而言，期望准确且高速地进行设定于晶圆上的所有照射区域的格子...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测量系统，其特征在于，具备：能够在包括第一轴和与所述第一轴交叉的第二轴的二维平面内移动的移动体，在所述移动体上载置有物体；标记检测系统，其能够相对于载置在所述移动体上的所述物体的标记沿所述第一轴的方向扫描测量光，并且能够接受来自所述标记的光束；以及控制系统，其利用所述标记检测系统执行对所述物体的所述标记的检测，所述控制系统一边使所述移动体在所述第一轴的方向上移动，一边利用所述标记检测系统相对于所述物体的所述标记沿所述第一轴的方向扫描所述测量光，所述控制系统基于利用所述标记检测系统接受来自所述标记的所述光束的结果，检测所述标记并且测量所述标记与所述测量光之间的位置关系，所述控制系统基于测量出的所述位置关系，执行对所述移动体与所述测量光之间的相对位置的调整。2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述物体所具有的所述标记作为第一标记，所述物体还具有与所述第一标记不同的第二标记，所述控制系统执行对所述相对位置的调整，一边使所述移动体在所述第一轴的方向上移动，一边检测所述第二标记。3.根据权利要求2所述的测量系统，其特征在于，所述第二标记是在检测到所述第一标记之后检测的标记。4.根据权利要求2所述的测量系统，其特征在于，所述第一标记包括两个以上的标记，所述控制系统获取所述两个以上的标记的每一个的位置偏移量，并且基于所述位置偏移量，执行对所述移动体与所述测量光之间的所述相对位置的调整。5.根据权利要求3所述的测量系统，其特征在于，所述第一标记包括两个以上的标记，所述控制系统获取所述两个以上的标记的每一个的位置偏移量，并且基于所述位置偏移量，执行对所述移动体与所述测量光之间的所述相对位置的调整。6.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，对所述相对位置的调整包括对在所述第二轴的方向上的所述相对位置进行的调整。7.根据权利要求4所述的测量系统，其特征在于，对所述相对位置的调整包括对在所述第二轴的方向上的所述相对位置进行的调整。8.根据权利要求5所述的测量系统，其特征在于，对所述相对位置的调整包括对在所述第二轴的方向上的所述相对位置进行的调整。9.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，还具备位置测量系统，该位置测量系统能够测量在所述二维平面内的所述移动体的位置信息，所述控制系统利用所述位置测量系统以及所述标记检测系统检测所述标记的位置信息。10.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，
所述标记检测系统能够检测照射到所述标记上的所述测量光，所述控制系统基于所述测量光的检测结果，获取所述标记与所述测量光之间的所述位置关系。11.一种曝光装置，其特征在于，包括权利要求1所述的测量系统，在所述测量系统中，带有标记的物体载置在所述移动体上，通过对载置在所述移动体上的所述物体照射能量束来对其进行曝光。12.一种测量方法，其特征在于，包括如下的步骤：一边使移动体在第一轴的方向上移动，一边利用标记检测系统相对于载置在所述移动体上的物体的标记沿所述第一轴的方向扫描测量光，其中，所述移动体能够在包括所述第一轴和与所述第一轴交叉的第二轴的二维平面内移动，所述标记检测系统能够接受来自所述标记的光束；基于利用所述标记检测系统接受来自所述标记的所述光束的结果，检测所述标记并且测量所述标记与所述测量光之间的位置关系；以及基于测量出的所述位置关系，执行对所述移动体与所述测量光之间的相对位置的调整。13.一种测量系统，其特征在于，包括照射系统、物镜以及受光系统，所述照射系统一边相对于设在沿第一方向移动的物体的格子标记使测量光沿所述第一方向移动，一边经由所述物镜来对所述格子标记照射所述测量光，所述物镜能够面对沿所述第一方向移动的所述物体，所述受光系统经由所述物镜从所述格子标记接受所述测量光的衍射光。14.根据权利要求13所述的测量系统，其特征在于，所述测量光从所述物镜的中央部透射并被照射至所述格子标记。15.根据权利要求14所述的测量系统，其特征在于，从所述物镜的所述中央部透射的所述测量光从与所述第一方向交叉的第二方向照射至所述格子标记。16.根据权利要求14所述的测量系统，其特征在于，从所述格子标记接受的所述衍射光通过所述物镜的周边区域而朝向所述受光系统弯折。17.根据权利要求13所述的测量系统，其特征在于，沿所述第一方向移动的所述测量光入射到所述物镜的一侧，并从所述物镜的另一侧射出，从所述格子标记接受的衍射光入射到所述物镜的所述另一侧。18.根据权利要求13所述的测量系统，其特征在于，还具备控制系统，该控制系统控制所述测量光的移动速度。19.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述控制系统还控制被移动的所述物体的移动速度。20.根据权利要求13所述的测量系统，其特征在于，还具备计算系统，该计算系统基于由所述受光系统接受的衍射光获取所述格子标记的
位置信息。21.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述控制系统通过控制可动镜来控制所述测量光的移动速度。22.根据权利要求21所述的测量系统，其特征在于，所述控制系统使所述可动镜往返多次，并以使在使所述可动镜返回时的所述可动镜的第一移动速度比在使所述测量光沿所述第一方向追随时的所述可动镜的第二移动速度快的方式控制所述移动速度。23.根据权利要求22所述的测量系统，其特征在于，在使所述可动镜返回时的所述测量光的方向与所述第一方向相反。24.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述格子标记是第一格子标记，所述照射系统一边相对于设在沿第一方向移动的物体的第二格子标记沿所述第一方向移动测量光，一边经由所述物镜对所述第二格子标记照射所述测量光，所述物镜能够面对沿所述第一方向移动的所述物体，所述受光系统经由所述物镜从所述第二格子标记接受所述测量光的衍射光，所述控制系统以使用于测量所述第二格子标记的所述测量光的第二移动速度比用于测量所述第一格子标记的所述测量光的第一移动速度快的方式控制所述移动速度。25.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述照射系统一边使所述测量光相对于多个格子标记沿所述第一方向移动，一边经由所述物镜对所述多个格子标记照射所述测量光，所述多个格子标记设在沿所述第一方向移动的物体上，并位于第一行以及第二行，所述控制系统以使用于测量所述第一行的所述格子标记的所述测量光的第一移动速度比用于测量所述第二行的所述格子标记的所述测量光的第二移动速度慢的方式控制所述移动速度。26.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述照射系统一边使所述测量光相对于多个格子标记沿所述第一方向移动，一边经由所述物镜对所述多个格子标记照射所述测量光，所述多个格子标记设在沿所述第一方向移动的物体上，并位于多行，所述控制系统以使用于测量至少每一行的最后的格子标记的所述测量光的第一移动速度比用于测量所述最后的格子标记之前的格子标记的所述测量光的第二移动速度慢的方式控制所述移动速度。27.根据权利要求18所述的测量系统，其特征在于，所述控制系统通过控制棱镜来控制所述测量光的所述移动速度。28.根据权利要求13所述的测量系统，其特征在于，还具备光束位置检测传感器，该光束位置检测传感器获取所述测量光在所述物体上的位置信息。29.根据权利要求28所述的测量系统，其特征在于，所述光束位置检测传感器的成像面配置在与所述物体的表面共轭的面上。30.一种曝光装置，其特征在于，具备：
权利要求20所述的测量系统；位置控制设备，其基于由所述计算系统获取的所述位置信息来控制所述物体的位置；以及图案形成设备，其通过利用能量束照射所述物体而在所述物体上形成规定的图案。31.一种测量方法，其测量设在物体上的格子标记的位置信息，所述测量方法的特征在于，包括如下的步骤：沿第一方向移动位于物镜下方的所述物体，所述物镜包括能够面对所述物体的物镜光学元件；一边使测量光相对于沿所述第一方向移动的所述物体的所述格子标记沿所述第一方向移动，一边经由所述物镜对所述格子标记照射所述测量光；以及通过所述受光系统经由所述物镜从所述格子标记接受所述测量光的衍射光。32.根据权利要求31所述的测量方法，其特征在于，沿所述第一方向移动的所述测量光从所述物镜的中央部透射并被照射至所述格子标记。33.根据权利要求32所述的测量方法，其特征在于，从所述物镜的所述中央部透射的所述测量光从与所述第一方向交叉的第二方向朝向所述格子标记照射。34.根据权利要求32所述的测量方法，其特征在于，从所述格子标记接受的所述衍射光通过所述物镜的周边区域而朝向所述受光系统弯折。35.根据权利要求31所述的测量方法，其特征在于，沿所述第一方向移动的所述测量光入射到所述物镜的一侧，并从所述物镜的另一侧射出，从所述格子标记接受的所述衍射光入射到所述物镜的所述另一侧。36.根据权利要求31所述的测量方法，其特征在于，还包括如下的步骤：一边使所述测量光沿所述第一方向移动一边控制所述测量光的移动速度。37.根据权利要求36所述的测量方法，其特征在于，还包括如下的步骤：控制被移动的所述物体的移动速度。38.根据权利要求31所述的测量方法，其特征在于，还包括如下的步骤：基于由所述受光系统接受的所述衍射光，获取所述格子标记的位置信息。39.根据权利要求36所述的测量方法，其特征在于，通过控制可动镜来控制所述测量光的移动速度。40.根据权利要求39所述的测量方法，其特征在于，使所述可动镜往返多次，并以使在使所述可动镜返回时的所述可动镜的第一移动速度比在使所述测量光沿所述第一方向追随时的所述可动镜的第二移动速度快的方式控制所述移动速度。41.根据权利要求40所述的测量方法，其特征在于，在使所述可动镜返回时的所述测量光的方向与所述第一方向相反。42.根据权利要求36所述的测量方法，其特征在于，所述格子标记是第一格子标记，
一边相对于设在沿第一方向移动的物体的第二格子标记沿所述第一方向移动测量光，一边经由所述物镜对所述第二格子标记照射所述测量光，经由能够面对沿所述第一方向移动的所述物体的所述物镜从所述第二格子标记接受所述测量光的衍射光，以使用于测量所述第二格子标记的所述测量光的第二移动速度比用于测量所述第一格子标记的所述测量光的第一移动速度快的方式控制所述移动速度。43.根据权利要求36所述的测量方法，其特征在于，一边使所述测量光相对于多个格子标记沿所述第一方向移动，一边经由所述物镜对所述多个格子标记照射所述测量光，所述多个格子标记设在沿所述第...
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