【技术实现步骤摘要】
一种位移台分辨率和精度检测装置
[0001]本技术涉及检测设备
,尤其涉及一种位移台分辨率和精度检测装置。
技术介绍
[0002]位移台因其精度高、速度快、承载大、行程大等特点,而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域,以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的位移控制。
[0003]经检索,中国专利授权号CN210004952U公开了一种位移台分辨率和精度检测装置,包括方形的分辨率板、90度安装支架和显微镜,分辨率板上设置有纵向和横向的刻度,分辨率板通过基座固定连接在90度安装支架上,90度安装支架固定连接在位移台上,显微镜的物镜聚焦后能够对准分辨率板上的刻度,刻度的精度大于位移台精度,目镜上设置有十字叉丝。
[0004]现有位移台分辨率和精度检测装置的不足之处:虽然实现了分辨率和精度检测,但是装置在使用时较为麻烦,需要将分辨率板放置在物镜前才能进行分别率检测,并且分辨率板收回时需要重新安装在台面上,使用繁琐,增加了装置的使用难度。
技术实现思路
[0005]本 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种位移台分辨率和精度检测装置,其特征在于:包括基座,所述基座的顶端设置有位移台,所述位移台上的一侧设置有显微镜,所述显微镜的上部设置有目镜,所述位移台的一侧设置有槽口,所述槽口内安装有物镜,所述位移台靠近物镜的两侧均设置有连接机构,两个所述连接机构分别活动连接有安装支架,所述安装支架的一侧抵接在物镜的镜头上,所述安装支架的另一侧设置有分辨率板。2.根据权利要求1所述的一种位移台分辨率和精度检测装置,其特征在于:所述目镜的下部设置有套筒,所述套筒活动套接在显微镜的上部。3.根据权利要求2所述的一种位移台分辨率和精度检测装置,其特征在于:所述安装支架呈“7”字状且包括侧板与底板,所述侧板的一侧中部设置有防护槽。4.根据权利要求3所述的一种位移台分辨率和精度检测装置,其特征在于:所述防护槽的底壁边缘嵌套有抵接垫,所述防护槽与物镜的镜头相适配,所述抵接垫抵接在物镜的镜头边沿。5.根据权利要求4所述的一种位移台分辨率和精度检测装置,其特征在于:所述底板...
【专利技术属性】
技术研发人员:张鑫,伍才晟,
申请(专利权)人:深圳市宝盛华科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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