扫描电镜探测器的成像效果演示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置，属于演示教具技术领域。扫描电镜探测器的成像效果演示装置，包括：第一箱体、第二箱体、第一光源以及第二光源，第一箱体的一侧表面开设有第一通孔，第二箱体通过第一通孔与第一箱体连通设置，第二箱体背离第一箱体的一侧表面开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔同轴设置，第一箱体内用于设置对应于第一通孔的演示样品，第一光源设置于第一箱体内，第二光源设置于第二箱体内，第一光源和第二光源分别向演示样品出射光束，用于模拟扫描电镜内不同探测器的成像效果。该申请能够对不同位置的扫描电镜探测器的成像效果进行模拟和演示，便于比较分析不同位置的扫描电镜探测器的成像特点。成像特点。成像特点。

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜探测器的成像效果演示装置


[0001]本技术涉及演示教具
，具体而言，涉及一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(简称扫描电镜)目前广泛应用于材料科学、生命科学、失效分析等诸多领域，用于反映样品的微观形貌和成分等诸多信息，功能强大、应用广泛。当入射电子束照射在样品上时，入射电子束能够在扫描电圈的控制下对样品进行扫描，而入射电子在扫描时会使样品激发出背散射电子、二次电子等，样品激发出的电子经过反射或直接入射后被对应的探测器接收，进而实现对样品的成像。
[0003]如今的场发射电镜，会设置至少两个电子探测器，按其安装位置可以大致分为样品仓内探测器和物镜内探测器。样品仓内探测器安装在物镜下方的样品仓内，它获取的图像更有立体感，但是分辨率稍差。物镜内探测器位于物镜内或物镜侧上方，所获图像的立体感和阴影效应通常不如仓内探测器，但是它分辨率更好、边缘效应更明显、能显示高空间分辨率的衬度细节。
[0004]然而，由于扫描电镜的成像原理相对复杂，从信号产生到被探测，都蕴含较深的物理原理。而且在扫描电镜中，探测器位置不同，获得的图像也显著不同，反映样品的特征也不同。解释图像的形成需要较多的抽象知识和分析过程。对于不了解扫描电镜的人而言，这存在一定难度。这些都需要一种方法和装置模拟和演示探测器对成像效果的影响。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置，能够对不同位置的扫描电镜探测器的成像效果进行演示，便于比较分析不同位置的扫描电镜探测器的成像特点。
[0006]本技术的实施例是这样实现的：
[0007]本技术实施例的一方面，提供一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置，包括：第一箱体、第二箱体、第一光源以及第二光源，第一箱体的一侧表面开设有第一通孔，第二箱体通过第一通孔与第一箱体连通设置，第二箱体背离第一箱体的一侧表面开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔同轴设置，第一箱体内用于设置对应于第一通孔的演示样品，第一光源设置于第一箱体内，第二光源设置于第二箱体内，第一光源和第二光源分别向演示样品出射光束。
[0008]可选地，第二箱体背离第二通孔的一侧形成有圆台形束光筒，束光筒伸入于第一箱体内且其光轴与第一通孔同轴，束光筒的小口朝向背离第二通孔的方向。
[0009]可选地，第一箱体的内表面为漫反射表面。
[0010]可选地，第一箱体的内表面涂覆有漫反射材料。
[0011]可选地，第一箱体的内表面贴附有铝箔。
[0012]可选地，第一光源为泛光光源。
[0013]可选地，第一光源和第二光源分别采用手电筒或LED灯。
[0014]可选地，第二通孔处对应设置有成像记录装置，成像记录装置的光轴与第二通孔同轴，用于接收经演示样品反射后由第二通孔出射的光束并进行成像。
[0015]可选地，成像记录装置包括观察窗、相机和手机中的任一种。
[0016]本技术实施例的另一方面，提供一种扫描电镜探测器的成像效果演示方法，采用上述任意一项的扫描电镜探测器的成像效果演示装置，该方法包括：
[0017]启动第一光源和/或第二光源，以照射演示样品；
[0018]接收经演示样品反射后由第二通孔出射的光束，以模拟和演示扫描电镜中的样品仓和/或物镜内探测器的成像效果。
[0019]本技术实施例的有益效果包括：
[0020]本技术实施例提供的一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置，包括第一箱体、第二箱体、第一光源以及第二光源。其中，第一箱体的一侧表面开设有第一通孔，第二箱体通过第一通孔与第一箱体连通设置，第二箱体背离第一箱体的一侧表面开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔同轴设置。第一光源设置在第一箱体内，第二光源设置在第二箱体内。在实际应用中，可以将演示样品设置于第一箱体内。通过调整演示样品的位置，使其能够位于第一通孔在第一箱体底部的正投影内，然后利用第一光源和第二光源能够分别向演示样品出射光束。当通过第一光源照射演示样品时，第一光源出射的光束能够经演示样品反射后经由第一通孔以及第二通孔出射，因此，通过接收由第二通孔出射的光束后得到的成像，根据光路可逆原理可以看作是经由第二通孔和第一通孔入射到演示样品上的光束经演示样品反射在第一光源位置处所成的像。由于第一光源位于放置样品的第一箱体内，因此第一光源位置处的成像可类比为样品仓内探测器接收电子束后对应的成像，即此时接收由第二通孔出射的光束后得到的成像的效果与电镜样品仓内探测器对应的成像相同。同理，当通过第二光源照射演示样品时，接收由第二通孔出射的光束后得到的成像的效果与电镜物镜内探测器接收电子束后对应的成像相同。当通过第一和第二光源同时照射演示样品时，通过观察装置可以记录样品仓内探测器和物镜内探测器的混合演示效果，即演示了电镜仓内探测器和物镜内探测器两种信号的混合。因此，通过该装置，能够简便的类比演示出扫描电镜的物镜内探测器和样品仓内探测器的成像效果，并且该装置结构相对简单成本较低，便于在教学演示中进行应用。另外，由于该装置能够演示出物镜内探测器和样品仓内探测器的成像效果，因此，通过该装置能够更加方便的对扫描电镜中，不同位置的探测器对应的成像效果之间的区别进行比较分析。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的扫描电镜探测器的成像效果演示装置的结构示意图之一；
[0023]图2为本技术实施例提供的扫描电镜探测器的成像效果演示装置的结构示意图之二；
[0024]图3为本技术实施例提供的扫描电镜探测器的成像效果演示方法的流程示意图。
[0025]图标：110
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第一箱体；120
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第二箱体；130
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第一光源；140
‑ꢀ
第二光源；150
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演示样品；160
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束光筒；170
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成像记录装置。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置，其特征在于，包括：第一箱体、第二箱体、第一光源以及第二光源，所述第一箱体的一侧表面开设有第一通孔，所述第二箱体通过所述第一通孔与所述第一箱体连通设置，所述第二箱体背离所述第一箱体的一侧表面开设有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔同轴设置，所述第一箱体内用于设置对应于所述第一通孔的演示样品，所述第一光源设置于所述第一箱体内，所述第二光源设置于所述第二箱体内，所述第一光源和所述第二光源分别向所述演示样品出射光束。2.如权利要求1所述的扫描电镜探测器的成像效果演示装置，其特征在于，所述第二箱体背离所述第二通孔的一侧形成有圆台形束光筒，所述束光筒伸入于所述第一箱体内且其光轴与所述第一通孔同轴，所述束光筒的小口朝向背离所述第二通孔的方向。3.如权利要求1所述的扫描电镜探测器的成像效果演示装置，其特征在于，所述第一箱体的内表面为漫...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，许佳佳，彭璟，邓伟，焦广胜，肖飞，樊申腾，黄险，王红，齐涛，张涛，彭荣，
申请(专利权)人：深圳市美信检测技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：