一种可扩展的大规模MEMS麦克风阵列制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，包括：连接在同一局域网内的上位机和至少一个阵列子系统；阵列子系统包括一组阵列板和控制板；阵列板包括m*n个阵元组成的矩形阵列，每个阵元对应一个TDM接口的数字MEMS麦克风，m个数字MEMS麦克风连接在一根TDM总线上，阵列板上的阵元通过n根TDM总线连接到控制板，控制板通过网络设备与上位机连接，实现音频信号的采集和处理；各个阵列子系统通过网络实现时间同步。通过TDM接口的数字MEMS麦克风来降低系统复杂度和成本，适用于大规模的阵列设计，且可以扩展设计，方便组合成为更大规模的阵列系统；具有时钟同步功能，保证系统整体准确性。证系统整体准确性。证系统整体准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种可扩展的大规模MEMS麦克风阵列


[0001]本技术属于麦克风
，涉及一种可扩展的大规模MEMS麦克风阵列。

技术介绍

[0002]传声器(俗称麦克风)阵列是将多个麦克风单元以一定的空间结构进行布局组成阵列，用于提取空间不同位置的信号，通过对阵列接收数据的处理，提高期望方向的增益，降低干扰和噪声等影响因素，从而实现目标定位、信号增强、干扰抑制等。
[0003]驻极体麦克风和MEMS(英文：Microelectromechanical Systems，中文：微机电系统)麦克风是常用的两种麦克风，与驻极体麦克风相比，MEMS麦克风具有一致性好、信噪比高、稳定性强、体积小等优点，所以在小体积麦克风阵列中应用非常广泛。另外，MEMS麦克风可以集成ADC(英文：Analog
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to
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digital Converter，中文：模数转换器)，制作成数字接口的麦克风。目前常见的MEMS麦克风阵列有2阵元、4阵元、6阵元、7阵元、8阵元等方案，这些麦克风阵列通常采用模拟MEMS麦克风或PDM(英文：Puls本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，其特征在于，包括：连接在同一局域网内的上位机和至少一个阵列子系统；所述阵列子系统包括一组阵列板和控制板；所述阵列板包括m*n个阵元组成的矩形阵列，每个所述阵元对应一个TDM接口的数字MEMS麦克风，m个数字MEMS麦克风连接在一根TDM总线上，所述阵列板上的阵元通过n根TDM总线连接到所述控制板，所述控制板通过网络设备与所述上位机连接，用于实现音频信号的采集和处理；各个所述阵列子系统通过网络实现时间同步。2.根据权利要求1所述的可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，其特征在于，所述阵列板还包括十字激光定位器和温/湿度传感器；两个所述十字激光定位器分别位于所述阵列板的一组对角线两端，所述十字激光定位器的激光发射方向与声波进入麦克风拾音孔的方向相反；两个所述温/湿度传感器分别位于所述阵列板的另一组对角线两端；所述十字激光定位器和所述温/湿度传感器均采用I2C接口，通过I2C总线连接至所述控制板。3.根据权利要求2所述的可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，其特征在于，所述阵列板所需的电源由所述控制板提供并管理，所述控制板上设有电源接口，由外部电源供电。4.根据权利要求1至3任一所述的可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，其特征在于，所述控制板通过以太网接口连接至以太网通信设备，所述上位机连接至同一局域网内的以太网通信设备；具有时间同步功能的以太网通信设备作为时间同步主机，各个所述阵列子系统作为时间同步从机；或者，具有时间同步模块的上位机作为时间同步主机，各个所述阵列子系统作为时间同步从机。5.根据权利要求4所述的可扩展的大规模MEMS麦克风阵列，其特征在于，所述阵列板与所述控制板通过板对板连接器相连，连接在一根TDM总线上的m个数字MEMS麦克风构成一个阵列组，每根TDM总线均采用S形排布方式，相邻两个阵列组的TDM总线排布方式和信号流向采用对称设计。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨恒旭，
申请(专利权)人：中科传启苏州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：