非对称式螺旋状电感制造技术

本发明专利技术涉及一种非对称式螺旋状电感，该电感包含第一绕组、第二绕组及第三绕组。第一绕组具有第一端点及第二端点，且制作于半导体结构的超厚金属层。第二绕组具有第三端点及第四端点，制作于半导体结构的重布线层，并且具有第一最大走线宽度。第三绕组具有第五端点及第六端点，制作于半导体结构的超厚金属层，并且具有小于第一最大走线宽度的第二最大走线宽度。第二端点及第三端点通过第一贯穿结构连接，第四端点及第五端点通过第二贯穿结构连接，以及第一端点及第六端点形成非对称式螺旋状电感的两端点。

【技术实现步骤摘要】
非对称式螺旋状电感
本专利技术涉及积体电感，尤其涉及非对称式螺旋状积体电感。
技术介绍
图1A及图1B分别显示现有的非对称式螺旋状电感(asymmetricspiralinductor)及对称式螺旋状电感(symmetricspiralinductor)。非对称式螺旋状电感100及对称式螺旋状电感200为平面式的结构。对称式螺旋状电感200主要由位于两个导体层(分别以灰色及黑色表示)的导体线段所构成。位于不同导体层的导体线段由贯穿结构105连接，贯穿结构105例如是半导体工艺中的导孔(via)结构或导孔数组(viaarray)。一般而言，因为对称式螺旋状电感200在结构上较对称，所以适用于差动(differential)信号，而非对称式螺旋状电感100则适用于单端(single-ended)信号。提高非对称式螺旋状电感100及对称式螺旋状电感200的电感值的方法之一为增加其线圈数。线圈数的增加除了导致非对称式螺旋状电感100及对称式螺旋状电感200的面积增加之外，也会造成其寄生串联电阻(parasiticseriesresistance本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非对称式螺旋状电感，包含：/n一第一绕组，具有一第一端点及一第二端点，且制作于一半导体结构的一超厚金属层；/n一第二绕组，具有一第三端点及一第四端点，制作于该半导体结构的一重布线层，且具有一第一最大走线宽度；以及/n一第三绕组，具有一第五端点及一第六端点，制作于该半导体结构的该超厚金属层，且具有小于该第一最大走线宽度的一第二最大走线宽度；/n其中该第二端点及该第三端点通过一第一贯穿结构连接，该第四端点及该第五端点通过一第二贯穿结构连接，以及该第一端点及该第六端点形成该非对称式螺旋状电感的两端点。/n

【技术特征摘要】
1.一种非对称式螺旋状电感，包含：
一第一绕组，具有一第一端点及一第二端点，且制作于一半导体结构的一超厚金属层；
一第二绕组，具有一第三端点及一第四端点，制作于该半导体结构的一重布线层，且具有一第一最大走线宽度；以及
一第三绕组，具有一第五端点及一第六端点，制作于该半导体结构的该超厚金属层，且具有小于该第一最大走线宽度的一第二最大走线宽度；
其中该第二端点及该第三端点通过一第一贯穿结构连接，该第四端点及该第五端点通过一第二贯穿结构连接，以及该第一端点及该第六端点形成该非对称式螺旋状电感的两端点。


2.根据权利要求1所述的非对称式螺旋状电感，其中，该第二绕组的长度小于该非对称式螺旋状电感的一圈。


3.根据权利要求1所述的非对称式螺旋状电感，其中，部分该第二绕组沿着该第三绕组的边缘延伸。


4.根据权利要求3所述的非对称式螺旋状电感，其中，部分该第二绕组与部分该第三绕组重叠。


5.根据权利要求3所述的非对称式螺旋状电感，其中，该第二绕组的一第一部分与部分该第三绕组重叠，且该第二绕组的一第二部分与部分该第一绕组重叠及与部分该第三绕组重叠。


6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜孝璁，陈家源，
申请(专利权)人：瑞昱半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71