【技术实现步骤摘要】
一种大口径光伏镀膜石英炉管
本技术涉及石英炉管
,特别涉及一种大口径光伏镀膜石英炉管。
技术介绍
目前光伏产业仍然以晶硅太阳能电池为主,太阳能电池制备过程中需要采用pecvd工艺对硅片表面进行处理,行业内pecvd镀膜有管式镀膜和板式镀膜,采用管式镀膜法镀膜时,需要使用到石英管,随着晶片得尺寸扩大,炉体需要扩大,对应得石英管也需要扩大,现有的石英管口径较小,同时整体防护性较低,为此,我们提出一种大口径光伏镀膜石英炉管。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种大口径光伏镀膜石英炉管,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管、防护套和加强筋,所述大口径石英管外侧两端套设有防护套,所述防护套外侧开设有齿槽,所述大口径石英管外表面开设有菱形凹槽,所述大口径石英管外侧胶合有保护膜,所述保护膜外侧设置有加强筋。进一步地,所述大口径石英管和防护套之间胶合有防滑橡环。进一步地,所述加强筋和菱形凹槽的数量为多个。 ...
【技术保护点】
1.一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管(1)、防护套(2)和加强筋(3),其特征在于:所述大口径石英管(1)外侧两端套设有防护套(2),所述防护套(2)外侧开设有齿槽(4),所述大口径石英管(1)外表面开设有菱形凹槽(7),所述大口径石英管(1)外侧胶合有保护膜(5),所述保护膜(5)外侧设置有加强筋(3)。/n
【技术特征摘要】
1.一种大口径光伏镀膜石英炉管,包括大口径石英管(1)、防护套(2)和加强筋(3),其特征在于:所述大口径石英管(1)外侧两端套设有防护套(2),所述防护套(2)外侧开设有齿槽(4),所述大口径石英管(1)外表面开设有菱形凹槽(7),所述大口径石英管(1)外侧胶合有保护膜(5),所述保护膜(5)外侧设置有加强筋(3)。
2.根据权利要求1所述的一种大口径光伏镀膜石英炉管,其特征在于:所述大口径石英管(1)和防护套(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:英浩,
申请(专利权)人:连云港保康石英制品有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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