一种大型还原炉清洗系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种大型还原炉清洗系统，解决现有技术依靠人工清洗导致清洗效果差、效率低、以及存在安全隐患的技术问题。本实用新型专利技术包括用于安放还原炉炉筒的清洗工作台，安装于清洗工作台上的三维洗罐器，与三维洗罐器管道连接的动力箱，与动力箱管道连接的纯水箱和碱液箱，与清洗工作台管道连接的烘干风机，与清洗工作台管道连接的废水箱和废碱液箱；动力箱内设有高压水射流泵和离心供水泵。本实用新型专利技术采用三维洗罐器以对还原炉钟罩内壁实现360°无死角清洗，清洗效率高，清洗效果好，同时，在清洗过程中清洗人员无需进入至还原炉钟罩内进行清洗，也不需要人工配碱，以有效消除清洗人员进入还原炉钟罩内及配碱时存在的安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种大型还原炉清洗系统
本技术属于还原炉清洗设备
，具体涉及一种大型还原炉清洗系统。
技术介绍
多晶硅生产工艺中的主要设备之一为还原炉。还原炉在生产过程中，其钟罩内壁不可避免的会粘附一些物料和污染物，其主要成分为不定型硅、氯硅烷、氯化氢和氢气等。这些物料和污染物如不清理干净，会严重影响下一炉次运行的产品质量，也会增加反应能耗，因此，清洗还原炉钟罩内壁上粘附的物料和污染物是一项十分重要的工作。在国内多晶硅厂家生产初期，还原炉钟罩清洗的主要方式是人工清洗，将还原炉钟罩放到固定位置后，清洗人员配好清洗液，穿戴好全套的防护用品后，用高压水枪喷射到内壁上对附着物依次进行纯水清洗和清洗液清洗，对部分清洗不干净的部位用酒精擦拭，最后用高温压缩空气进行烘干。此种方法主要适用于小型还原炉如12对棒等，而对于大型还原炉，采用人工清洗，存在清洗不干净及浪费人力的缺陷，并且，人工配碱和喷洗不安全，稍有不慎碱液容易溅到身上造成伤害。因此本技术设计了一种大型还原炉清洗系统，采用三维洗罐器以对还原炉钟罩内壁实现360°无死角清洗，清洗效率高，清洗效果好，同时，在清洗过程中清洗人员无需进入至还原炉钟罩内进行清洗，也不需要人工配碱，以有效消除清洗人员进入还原炉钟罩内及配碱时存在的安全隐患。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种大型还原炉清洗系统，解决现有技术依靠人工清洗导致清洗效果差、效率低、以及存在安全隐患的技术问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：一种大型还原炉清洗系统，包括用于安放还原炉炉筒的清洗工作台，安装于清洗工作台上并伸入至待清洗还原炉炉筒内的三维洗罐器，与三维洗罐器管道连接的动力箱，分别与动力箱管道连接的纯水箱和碱液箱，与清洗工作台管道连接的烘干风机，以及分别与清洗工作台管道连接的废水箱和废碱液箱；动力箱内设有相互管道连接的高压水射流泵和离心供水泵，离心供水泵通过管道分别与纯水箱和碱液箱连接，三维洗罐器通过管道与高压水射流泵连接。进一步地，还包括PLC控制柜，PLC控制柜分别与三维洗罐器、烘干风机、高压水射流泵和离心供水泵电性连接。进一步地，三维洗罐器与高压水射流泵相连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第一电磁阀。进一步地，纯水箱与离心供水泵相连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第二电磁阀。进一步地，碱液箱与离心供水泵相连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第三电磁阀。进一步地，清洗工作台与废水箱相连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第四电磁阀；清洗工作台与废碱液箱相连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第五电磁阀。进一步地，清洗工作台与烘干风机连接的管道上设有与PLC控制柜电性连接的第六电磁阀。进一步地，清洗工作台上连接有排气管；排气管上设有与PLC控制柜电性连接的第七电磁阀。进一步地，碱液箱上连通有碱液箱排气管。进一步地，清洗工作台的安装面设有弧形凹槽，并且，废水箱和废碱液箱与清洗工作台相连接的管道进口位于弧形凹槽的最低点。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术结构简单、设计科学合理，使用方便，采用三维洗罐器以对还原炉钟罩内壁实现360°无死角清洗，清洗效率高，清洗效果好，同时，在清洗过程中清洗人员无需进入至还原炉钟罩内进行清洗，也不需要人工配碱，以有效消除清洗人员进入还原炉钟罩内及配碱时存在的安全隐患。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为本技术各电气设备连接框图。其中，附图标记对应的名称为：1-动力箱、2-清洗工作台、3-还原炉炉筒、4-三维洗罐器、5-排气管、6-烘干风机、7-碱液箱、8-PLC控制柜、9-纯水箱、10-废水箱、11-废碱液箱、12-高压水射流泵、13-离心供水泵、14-碱液箱排气管、15-第一电磁阀、16-第二电磁阀、17-第三电磁阀、18-第四电磁阀、19-第五电磁阀、20-第六电磁阀、21-第七电磁阀。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本技术进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此其不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；当然的，还可以是机械连接，也可以是电连接；另外的，还可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连，或者可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1和2所示，本技术提供的一种大型还原炉清洗系统，结构简单、设计科学合理，使用方便，采用三维洗罐器以对还原炉钟罩内壁实现360°无死角清洗，清洗效率高，清洗效果好，同时，在清洗过程中清洗人员无需进入至还原炉钟罩内进行清洗，也不需要人工配碱，以有效消除清洗人员进入还原炉钟罩内及配碱时存在的安全隐患。本技术包括用于安放还原炉炉筒3的清洗工作台2，安装于清洗工作台2上并伸入至待清洗还原炉炉筒内的三维洗罐器4，与三维洗罐器4管道连接的动力箱1，分别与动力箱1管道连接的纯水箱9和碱液箱7，与清洗工作台2管道连接的烘干风机6，以及分别与清洗工作台2管道连接的废水箱10和废碱液箱11；动力箱1内设有相互管道连接的高压水射流泵12和离心供水泵13，离心供水泵13通过管道分别与纯水箱9和碱液箱7连接，三维洗罐器4通过管道与高压水射流泵12连接。清洗工作台2上连接有排气管5，碱液箱7上连通有碱液箱排气管14。清洗工作台2的安装面设有弧形凹槽，并且，废水箱10和废碱液箱11与清洗工作台2相连接的管道进口位于弧形凹槽的最低点。本技术还包括PLC控制柜8，PLC控制柜8分别与三维洗罐器4、烘干风机6、高压水射流泵12和离心供水泵13电性连接。本技术三维洗罐器4与高压水射流泵12相连接的管道上设有与PLC控制柜8电性连接的第一电磁阀15。纯水箱9与离心供水泵13相连接的管道上设有与PLC控制柜8电性连接的第二电磁阀16。碱液箱7与离心供水泵13相连接的管道上设有与PLC控制柜8电性连接的第三电磁阀17。清洗工作台2与废水箱10相连接的管道上设有与PLC本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大型还原炉清洗系统，其特征在于：包括用于安放还原炉炉筒(3)的清洗工作台(2)，安装于清洗工作台(2)上并伸入至待清洗还原炉炉筒内的三维洗罐器(4)，与三维洗罐器(4)管道连接的动力箱(1)，分别与动力箱(1)管道连接的纯水箱(9)和碱液箱(7)，与清洗工作台(2)管道连接的烘干风机(6)，以及分别与清洗工作台(2)管道连接的废水箱(10)和废碱液箱(11)；动力箱(1)内设有相互管道连接的高压水射流泵(12)和离心供水泵(13)，离心供水泵(13)通过管道分别与纯水箱(9)和碱液箱(7)连接，三维洗罐器(4)通过管道与高压水射流泵(12)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种大型还原炉清洗系统，其特征在于：包括用于安放还原炉炉筒(3)的清洗工作台(2)，安装于清洗工作台(2)上并伸入至待清洗还原炉炉筒内的三维洗罐器(4)，与三维洗罐器(4)管道连接的动力箱(1)，分别与动力箱(1)管道连接的纯水箱(9)和碱液箱(7)，与清洗工作台(2)管道连接的烘干风机(6)，以及分别与清洗工作台(2)管道连接的废水箱(10)和废碱液箱(11)；动力箱(1)内设有相互管道连接的高压水射流泵(12)和离心供水泵(13)，离心供水泵(13)通过管道分别与纯水箱(9)和碱液箱(7)连接，三维洗罐器(4)通过管道与高压水射流泵(12)连接。


2.根据权利要求1所述的一种大型还原炉清洗系统，其特征在于：还包括PLC控制柜(8)，PLC控制柜(8)分别与三维洗罐器(4)、烘干风机(6)、高压水射流泵(12)和离心供水泵(13)电性连接。


3.根据权利要求2所述的一种大型还原炉清洗系统，其特征在于：三维洗罐器(4)与高压水射流泵(12)相连接的管道上设有与PLC控制柜(8)电性连接的第一电磁阀(15)。


4.根据权利要求2所述的一种大型还原炉清洗系统，其特征在于：纯水箱(9)与离心供水泵(13)相连接的管道上设有与PLC控制柜(8)电性连接的第二电磁阀(16)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：张龙刚，邹分红，刘双银，
申请(专利权)人：新疆东方希望新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65