搬送系统技术方案

搬送系统具有：晶片载台(WST)，其保持所载置的晶片(W)，并且能够沿着XY平面移动；吸盘单元(153)，其在规定位置的上方，从上方以非接触的方式保持晶片，且能够上下移动；和多个上下移动销(140)，其在晶片载台(WST)位于上述规定位置时，在晶片载台(WST)上能够从下方支承由吸盘单元(153)保持的晶片，且能够上下移动。并且，通过Z位置检测系统(146)来测定晶片(W)的平坦度，并基于该测定结果来独立地驱动将晶片(W)保持(支承)的吸盘单元(153)和上下移动销(140)。(140)。(140)。

【技术实现步骤摘要】
搬送系统
[0001]本申请是提交日为2018年5月4日、申请号为201810418024.7、专利技术名称为“搬送系统、曝光装置、器件制造方法、搬送方法、曝光方法”的专利技术专利申请的分案申请，是针对该专利技术专利申请的第一次审查意见通知书中指出的单一性问题而提交的分案申请，该专利技术专利申请是国际申请日为2013年11月27日、国际申请号为PCT/JP2013/081852、进入中国国家阶段的国家申请号为201380071862.7、专利技术名称为“搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置”的专利技术申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置，尤其涉及搬送板状物体的搬送系统、具有该搬送系统的曝光装置、将板状物体搬送到移动体上的搬送方法、使用该搬送方法的曝光方法、使用上述曝光装置或曝光方法的器件制造方法、以及吸引板状物体的吸引装置。

技术介绍

[0003]以往，在制造半导体元件(集成电路等)、液晶显示元件等电子器件(微型器件)的光刻工序中，主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送系统，将板状的物体搬送到设有物体载置部的物体载置部件，其特征在于，具有：吸引部件，其具有与所述物体相对的相对部，并在该相对部与所述物体之间形成气流而产生对所述物体的吸引力；和驱动装置，其使所述吸引部件在相对于所述物体载置部接...

【专利技术属性】
技术研发人员：原英明，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：