一种应用于气体质量流量控制器的法兰制造技术

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。本发明专利技术结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于气体质量流量控制器的法兰
本申请涉及测控
，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰。
技术介绍
气体质量流量控制器在化工、半导体、镀膜技术、航天等领域有重要的应用，气体流量控制器的气动接头是连接流量控制器和压力气瓶和管道的桥梁，气体通过法兰进入流量控制器内的气体通路，保证气体的密封性和过滤性是流量控制器法兰的关键用途，是质量流量控制器精确测量和不被损坏的关键。针对气体密封问题，传统的流量控制器的法兰的密封方法包括橡胶密封和金属密封两种，金属密封具有寿命长，耐腐蚀的特点，金属密封方法只能使用一次，橡胶密封方法，具有耐腐蚀，可反复使用的特点，缺点是其寿命较短，时间长了密封圈的材料老化，会导致流量控制系统的气密性较差，导致系统测量不准确。考虑到不同的气体，其腐蚀性不同，为了兼顾气体流量控制器的金属密封和橡胶密封的优点：长寿命、耐腐蚀、密封材料可反复使用，选择适当的密封方式和密封材料，是气体质量流量控制器的通用化法兰的关键一步。此外，针对气体过滤问题，由于气体在管道中流动时，管道内壁的杂质容易脱落混入气体，杂质本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于气体质量流量控制器的法兰，其特征在于，法兰体的内部设置有气体通道，所述气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕所述过滤网，在所述法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于气体质量流量控制器的法兰，其特征在于，法兰体的内部设置有气体通道，所述气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕所述过滤网，在所述法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。


2.如权利要求1所述的应用于气体质量流量控制器的法兰，其特征在于，所述过滤网为薄壁结构，与所述法兰体一体成型。


3.如权利要求1所述的应用于气体质量流量控制器的法兰，其特征在于，所述凸起为环形凸起，用于放置挤...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡向宇，王钦惠，王鹏，陈婷婷，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃;62