位移抑制机构以及除振装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种位移抑制机构以及除振装置，利用使金属与弹性体的薄板交替层叠而成的层叠橡胶，由此以简单的构造实现低成本化。设置于除振装置的位移抑制机构(10)并列地设置于除振装置，上述除振装置相对于放置在设置基准面上的基座(30)，支承能够搭载设备的工作台(40)，对于位移抑制机构而言，作为构成部件，包含以层叠方向成为水平方向的方式被安装的层叠橡胶(15)。层叠橡胶(15)的一端侧相对于工作台(40)经由安装部件(16)被固定，层叠橡胶(15)的另一端侧隔着规定的间隙与固定于基座(30)的间隙调整机构(13)的球面状的前端对置。

【技术实现步骤摘要】
位移抑制机构以及除振装置
本专利技术涉及位移抑制机构以及除振装置。
技术介绍
近年来，作为高精度的装置，例如广泛使用精密加工机、半导体或液晶显示器或液晶电视的制造·检查装置、电子显微镜、光学显微镜、扫描式隧道显微镜(STM)·原子力显微镜(AFM)、光学实验装置等。这些高精度的装置往往由于也受到在通常的地基、建筑物存在的微弱振动，或者来自周边设备的微弱振动的影响，从而无法获得装置主体的精度。这里所说的微弱振动是指，小于地震那样的身体感觉到的摇晃，且具有大致0.001～1cm/s2左右的加速度的振动。因此，使用对这些设备进行搭载且不使地板、地基的振动传递到装置的除振装置。除振装置通常采用通过空气弹簧、螺旋弹簧、防振橡胶那样的弹簧要素来支承对设备进行搭载的工作台的构造。而且，为了使振动衰减，大多并列设置有孔眼、油阻尼器等。另外，如专利文献1公开的那样，近年来，也广泛使用通过传感器检测振动并通过致动器进行控制的主动除振装置。专利文献1：日本专利5457821号公报除振装置的性能通常由振动传递率Tr表示。振动传递率Tr表示地板振本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位移抑制机构，其并列地设置于除振装置，所述除振装置相对于放置在设置基准面上的基座，支承能够搭载设备的工作台，/n所述位移抑制机构的特征在于，/n作为构成部件，包含以层叠方向成为水平方向的方式被安装的层叠橡胶。/n

【技术特征摘要】
20191213 JP 2019-2255101.一种位移抑制机构，其并列地设置于除振装置，所述除振装置相对于放置在设置基准面上的基座，支承能够搭载设备的工作台，
所述位移抑制机构的特征在于，
作为构成部件，包含以层叠方向成为水平方向的方式被安装的层叠橡胶。


2.根据权利要求1所述的位移抑制机构，其特征在于，
所述层叠橡胶的一端侧相对于所述工作台或...

【专利技术属性】
技术研发人员：海山健一，井上雅由，后藤龙，村山诚，
申请(专利权)人：明立精机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP