废气入口结构、等离子反应模块以及废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种废气入口结构、等离子反应模块以及废气处理设备，废气入口结构包括：耐火块体，耐火块体内部设有中空通道；至少两个进气管道，所有的进气管道穿入耐火块体，每个进气管道的出气口与中空通道的侧面连通；每个进气管道的出气口为向下设置；耐火块体的上表面设有上安装部，耐火块体的下表面设有下安装部。本实用新型专利技术废气经过所有的进气管道的引导后，能够直接到达中空通道的火焰外焰，保证废气能够充分燃烧；另外，由于废气能够直接到达中空通道的火焰外焰，所以也就避免了进气管道中出现堵塞现象。

【技术实现步骤摘要】
废气入口结构、等离子反应模块以及废气处理设备
本技术涉及废气处理
，特别是涉及一种废气入口结构、等离子反应模块以及废气处理设备。
技术介绍
在半导体、面板显示器、LED、太阳能等领域中，化学气相沉积、刻蚀、离子注入、扩散等生产工序过程中都会产生工艺废气。以半导体制造为例，其设备在生产时排放的气体可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气、甲烷、硅烷等；第二类是有毒腐蚀性气体，如砷化氢、磷化氢、三氟化硼、三氟化氮、四氟化硅、氯气、氟化氢、氟气、氨气等；第三类是温室效应气体，如氢氟碳化合物、全氟碳化合物、甲烷、一氧化二氮、六氟化硫等。这些气体不仅污染环境，还会对人直接造成伤害，因此这些气体在排放到周围环境之前必须得到有效处理。目前，常用的废气处理方式包括“电加热分解液淋式”、“燃气燃烧液淋式”、和“等离子水洗式”等，都是先将废气处理成稳定的副生物，然后在液淋区进行液淋冲洗。如图1所示，等离子水洗式的废气处理装置包括点火装置100和反应腔200，点火装置100安装于反应腔200的顶部，点火装置100中央的喷火口101对准反应腔200本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气入口结构，其特征在于，包括：/n耐火块体(1)，所述耐火块体(1)内部设有中空通道(11)，所述中空通道(11)与所述耐火块体(1)的上表面和所述耐火块体(1)的下表面连通；/n至少两个进气管道(2)，所有的所述进气管道(2)穿入所述耐火块体(1)，每个所述进气管道(2)的出气口(21)与所述中空通道(11)的侧面连通；每个所述进气管道(2)的出气口(21)向下设置；/n所述耐火块体(1)的上表面设有上安装部(3)，所述耐火块体(1)的下表面设有下安装部(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气入口结构，其特征在于，包括：
耐火块体(1)，所述耐火块体(1)内部设有中空通道(11)，所述中空通道(11)与所述耐火块体(1)的上表面和所述耐火块体(1)的下表面连通；
至少两个进气管道(2)，所有的所述进气管道(2)穿入所述耐火块体(1)，每个所述进气管道(2)的出气口(21)与所述中空通道(11)的侧面连通；每个所述进气管道(2)的出气口(21)向下设置；
所述耐火块体(1)的上表面设有上安装部(3)，所述耐火块体(1)的下表面设有下安装部(4)。


2.根据权利要求1所述废气入口结构，其特征在于，每个所述进气管道(2)的出气口(21)的轴向与水平面之间的夹角的取值范围为45°-90°。


3.根据权利要求1所述废气入口结构，其特征在于，沿着所述耐火块体(1)的外侧面的周向设置有隔热部(5)。


4.根据权利要求3所述废气入口结构，其特征在于：所述隔热部(5)为冷却水腔。


5.根据权利要求4所述废气入口结构，其特征在于：每个所述进气管道(2)与所述隔热部(5)之间设有保温分隔件(6)。


6.根据权利要求5所述废气入口结构，其特征在于：所述保温分隔件...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，乔宗尧，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31