一种磁钢调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁钢调节装置，涉及磁控溅射靶材技术领域。磁钢调节装置包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；磁钢设置在靶材模具内，靶材模具上开设有多个调节孔；驱动端以及水电端均设置在支架上，靶材模具的两端分别设置在驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在支架上，两标尺均平行设置在靶材模具的下方；滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，高斯计设置在滑块上；第一驱动装置与靶材模具连接，用于驱动靶材模具旋转；第二驱动装置与滑块连接，用于驱动滑块移动。磁钢调节装置能够模拟磁钢正常工作下的工况，从而提高了磁钢调节的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种磁钢调节装置
本技术涉及磁控溅射靶材
，尤其涉及一种磁钢调节装置。
技术介绍
镀膜玻璃生产线广泛使用磁控溅射旋转靶，旋转靶内部的磁钢在长时间使用后，会由于腐蚀等原因而使磁场强度发生变化，导致整根旋转靶的磁场强度的横向均匀性变差，进而会影响到旋转靶的单靶均匀性和镀膜产品的均匀性。因此需要对旋转靶的磁钢进行调节维护。现有的调节方式是将磁钢固定平放于架子上，磁场朝上，然后进行磁场测量并记录，再根据磁场强度的值对磁钢的对应的调节点位进行调节。采用这种方法对磁钢进行磁场调节后再安装至旋转靶内，但是在使用过程往往发现均匀性没有改善。这种方法的缺陷是无法模拟旋转靶的正常使用状态，磁钢是安装在旋转靶内部的，表面是靶材，而且工作时靶材是旋转的，靶材和磁钢重量的影响、靶材的旋转都会对磁场强度的产生影响，因此这种方法测量的磁场强度不是准确的，影响到后面的调节工作。
技术实现思路
本技术实施例所要解决的技术问题是如何提高磁钢磁场强度测量的准确性。为了解决上述问题，本技术实施例提出一种磁钢调节装置，所述磁钢调节装置包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，所述测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；所述磁钢设置在所述靶材模具内，所述靶材模具上开设有多个调节孔，所述调节孔的位置与所述磁钢的调节点的位置对应；所述驱动端以及水电端均设置在所述支架上，所述靶材模具的两端分别设置在所述驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在所述支架上，两标尺均平行设置在所述靶材模具的下方；所述滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，所述高斯计设置在滑块上；所述第一驱动装置与所述靶材模具连接，用于驱动所述靶材模具旋转；所述第二驱动装置与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。其进一步的技术方案为，所述磁钢调节装置还包括上位机，所述高斯计与上位机连接。其进一步的技术方案为，所述水电端可在所述支架上移动，以调整水电端与驱动端的距离，从而适配不同规格的磁钢。其进一步的技术方案为，所述调节孔等间距设置。其进一步的技术方案为，所述调节孔的数量与磁钢的调节点的数量相同。其进一步的技术方案为，所述标尺上设置有刻度。其进一步的技术方案为，所述滑块包括主体部以及与所述主体部连接的支撑脚。其进一步的技术方案为，所述主体部为圆弧形，所述主体部的中心设有用于安装高斯计的安装孔。其进一步的技术方案为，所述第一驱动装置包括第一电机以及转轴，所述第一电机通过转轴与所述靶材模具连接。其进一步的技术方案为，所述第二驱动装置包括第二电机以及传送皮带，所述传送皮带与滑块的支撑脚连接；第二电机与传送皮带连接，驱动传送皮带运动，进而带动滑块滑动。与现有技术相比，本技术实施例所能达到的技术效果包括：通过应用本专利技术实施例提出的磁钢调节装置能够模拟磁钢正常工作下的工况，从而使得测量结果更接近实际情况，提高了磁钢调节的准确性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的结构示意图；图2为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的靶材模具俯视图；图3为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的滑块以及标尺的侧视图；图4为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的高斯计与上位机的连接示意图；图5为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的第一驱动装置与靶材模具的连接示意图；图6为本技术实施例提出的一种磁钢调节装置的第二驱动装置与滑块的连接示意图；图7为本技术另一实施例提出的一种磁钢调节装置的第二驱动装置与滑块的连接示意图。附图标记支架10、驱动端20、水电端30、靶材模具40、磁钢50、第一驱动装置60、第二驱动装置70、第二电机71，传送皮带72，标尺80、高斯计90、滑块100、上位机101、调节孔41、调节点51、主体部110、支撑脚120、安装孔130。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，附图中类似的组件标号代表类似的组件。显然，以下将描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。还应当理解，在此本技术实施例说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本技术实施例。如在本技术实施例说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。参见图1-图7，本技术实施例提出一种磁钢调节装置。由图可知，所述磁钢50调节装置包括支架10、驱动端20、水电端30、靶材模具40、磁钢50、第一驱动装置60、第二驱动装置70以及测量模组，所述测量模组包括两标尺80、高斯计90以及滑块100。所述磁钢50设置在所述靶材模具40内，所述靶材模具40上开设有多个调节孔41，所述调节孔41的位置与所述磁钢50的调节点51的位置对应。磁钢50的调节点51用于调节磁钢50的磁场强度。通过设置调节孔41可在不拆卸磁钢50时，实现对磁钢50的调节，效率更高。具体地，靶材模具40使用铝管按真实靶材比例制作，其朝上的一侧开有多个调节孔41，与磁钢50的调节点51位置一致。所述驱动端20以及水电端30均设置在所述支架10上，所述靶材模具40的两端分别设置在所述驱动端20以及水电端30上。驱动端20以及水电端30用于分别固定靶材模具40的两端。两标尺80间隔设置在所述支架10上，两标尺80均平行设置在所述靶材模具40的下方。所述滑块100横跨在两标尺80上，且可在两标尺80上滑动，所述高斯计90设置在滑块100上。标尺80用于标示滑块100的位置。通过滑块100带动高斯计90滑动，使得高斯计90测量磁钢50不同位置的磁场强度。所述第一驱动装置60与所述靶材模具40连接，用于驱动所述靶材模具40旋转，以模拟磁钢50在正常工作下的工况，从而使得测量结果更加准确。所述第二驱动装置70与所述滑块100连接，用于驱动所述滑块100移动，从而使得高斯计90能够测量磁钢50不同位置的磁场强度。进一步地，所述磁钢调节装置还包括上位机101，所述高斯计90与上位机101连接。上位机1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁钢调节装置，其特征在于，包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，所述测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；所述磁钢设置在所述靶材模具内，所述靶材模具上开设有多个调节孔，所述调节孔的位置与所述磁钢的调节点的位置对应；所述驱动端以及水电端均设置在所述支架上，所述靶材模具的两端分别设置在所述驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在所述支架上，两标尺均平行设置在所述靶材模具的下方；所述滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，所述高斯计设置在滑块上；所述第一驱动装置与所述靶材模具连接，用于驱动所述靶材模具旋转；所述第二驱动装置与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁钢调节装置，其特征在于，包括支架、驱动端、水电端、靶材模具、磁钢、第一驱动装置、第二驱动装置以及测量模组，所述测量模组包括两标尺、高斯计以及滑块；所述磁钢设置在所述靶材模具内，所述靶材模具上开设有多个调节孔，所述调节孔的位置与所述磁钢的调节点的位置对应；所述驱动端以及水电端均设置在所述支架上，所述靶材模具的两端分别设置在所述驱动端以及水电端上；两标尺间隔设置在所述支架上，两标尺均平行设置在所述靶材模具的下方；所述滑块横跨在两标尺上，且可在两标尺上滑动，所述高斯计设置在滑块上；所述第一驱动装置与所述靶材模具连接，用于驱动所述靶材模具旋转；所述第二驱动装置与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。


2.根据权利要求1所述的磁钢调节装置，其特征在于，所述磁钢调节装置还包括上位机，所述高斯计与上位机连接。


3.根据权利要求1所述的磁钢调节装置，其特征在于，所述水电端可在所述支架上移动，以调整水电端与驱动端的距离，从而适配不同规格的磁钢。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁瑞记，黄颖，焦春雷，范存贵，崔平生，艾发智，
申请(专利权)人：东莞南玻工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44