一种用于溅射镀膜设备的夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于溅射镀膜设备的夹具包括：夹具底；固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。本实用新型专利技术可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。

【技术实现步骤摘要】
一种用于溅射镀膜设备的夹具
本技术涉及溅射镀膜领域，尤其涉及一种用于溅射镀膜设备的夹具。
技术介绍
溅射镀膜分为射频溅射和磁控溅射的等，射频溅射是采用频率为13.56MHZ的高频交变电场使气体放电产生等离子体，对于绝缘靶材射频溅射最具优势，磁控溅射是在阴极靶面建立跑道磁场，利用其控制二次电子运动，延长其在靶面附近的停留，增加与气体的碰撞几率，从而提高等离子体密度。现有的溅射镀膜设备的夹具在固定靶材时，会采用两个结构相同的固定夹件，利用两个固定夹之间的弹簧将靶材固定，当靶材体积发生改变时，弹簧对靶材施加的弹力也会改变，夹取力度无法灵活控制。因此，有必要提供一种用于溅射镀膜设备的夹具解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种用于溅射镀膜设备的夹具，解决了现有的溅射镀膜设备的夹具夹取力度无法灵活控制的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括：夹具底；固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。优选的，所述活动滑杆的表面套设有活动弹簧，所述活动螺纹杆的表面套设有活动辅助弹簧，所述活动块的右侧贯穿有控制杆，所述活动螺纹杆表面的顶部套设有活动螺帽。优选的，所述固定夹件包括固定块，所述固定块的底部与夹具底顶部的左侧固定连接，所述固定块的左侧固定连接有固定滑杆，所述固定块顶部的右侧固定连接有固定螺纹杆。优选的，所述固定滑杆与固定螺纹杆的顶部之间设置有固定夹，所述固定滑杆的表面套设有固定弹簧，所述固定螺纹杆的表面套设有固定辅助弹簧，所述固定螺纹杆表面的顶部套设有固定螺帽。优选的，所述辅助夹件包括两个竖撑板，两个所述竖撑板相对的一侧均通过弹性柱设置有辅助垫板，两个所述竖撑板相离的一侧均贯穿有固定栓，所述固定栓的一端与辅助垫板转动连接。优选的，所述夹具底的顶部固定连接有托块，所述托块的顶部设置有平垫板。与相关技术相比较，本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具具有如下有益效果：本技术提供一种用于溅射镀膜设备的夹具在固定靶件时，可以与预先调节固定夹和活动夹的上下高度，使其可以将靶件固定的更加牢固，并且在固定过程中可以手动调节控制杆，使整个活动夹件向固定件移动，此时活动夹往固定架的方向移动，直到将靶件固定为止，通过旋动的方法可以控制固定夹和活动夹对靶件按压的力度，有效防止靶件出现印痕或者挤压损坏的情况，并且两个辅助垫板能够配合固定夹和活动夹将靶件固定，固定效果更好，本装置可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。附图说明图1为本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示夹具底的结构示意俯视图。图中标号：1、夹具底；2、固定夹件；21、固定块；22、固定滑杆；23、固定螺纹杆；24、固定夹；25、固定弹簧；26、固定辅助弹簧；27、固定螺帽；3、活动夹件；31、活动块；32、活动滑杆；33、活动螺纹杆；34、活动夹；35、活动弹簧；36、活动辅助弹簧；37、控制杆；38、活动螺帽；4、辅助夹件；41、竖撑板；42、辅助垫板；43、固定栓；5、托块；6、平垫板。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。请结合参阅图1和图2，其中图1为本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示夹具底的结构示意俯视图，一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括：夹具底1；固定夹件2，固定夹件2固定连接于夹具底1顶部的左侧；活动夹件3，活动夹件3固定连接于夹具底1顶部的右侧，活动夹件3包括活动块31，活动块31的底部与夹具底1顶部的右侧滑动连接，活动块31顶部的左侧固定连接有活动滑杆32，活动块31顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆33，活动滑杆32与活动螺纹杆33的顶部之间设置有活动夹34；辅助夹件4，辅助夹件4固定连接于夹具底1的顶部，固定夹件2和活动夹件3结构类似，但固定夹件2无法移动位置，活动夹件3可以做左右方向的移动，图中表示的为活动夹34的最高位置，活动螺纹杆33只有顶部设置有螺纹，实际活动夹34与活动螺纹杆33为滑动连接，旋动活动螺帽38可以改变活动夹34的高度，并且活动夹34始终处于水平状态，不会发生偏移。活动滑杆32的表面套设有活动弹簧35，活动螺纹杆33的表面套设有活动辅助弹簧36，活动块31的右侧贯穿有控制杆37，活动螺纹杆33表面的顶部套设有活动螺帽38，活动弹簧35和活动辅助弹簧36共同撑起活动夹34，控制杆37的左端与托块5的右侧转动连接。固定夹件2包括固定块21，固定块21的底部与夹具底1顶部的左侧固定连接，固定块21的左侧固定连接有固定滑杆22，固定块21顶部的右侧固定连接有固定螺纹杆23，固定夹24上下移动的原理和活动夹34运动原理相同，转动固定螺帽27按压固定夹24调节高度，固定弹簧25和固定辅助弹簧26共同撑起固定夹24。固定滑杆22与固定螺纹杆23的顶部之间设置有固定夹24，固定滑杆22的表面套设有固定弹簧25，固定螺纹杆23的表面套设有固定辅助弹簧26，固定螺纹杆23表面的顶部套设有固定螺帽27。辅助夹件4包括两个竖撑板41，两个竖撑板41相对的一侧均通过弹性柱设置有辅助垫板42，两个竖撑板41相离的一侧均贯穿有固定栓43，固定栓43的一端与辅助垫板42转动连接，旋动两个固定栓43可以改变两个辅助垫板42的相对位置从而辅助固定靶件。夹具底1的顶部固定连接有托块5，托块5的顶部设置有平垫板6，托块5和平垫板6用于放置靶件。本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具的工作原理如下：在使用时，将需要溅射镀膜的靶件放置于平垫板6的顶部，旋转固定螺帽27和活动螺帽38，分别调节固定夹24和活动夹34的高度，此时固定弹簧25和固定辅助弹簧26共同撑起固定夹24，活动弹簧35和活动辅助弹簧36共同撑起活动夹34，旋动控制杆37，来调节活动块31的位置，此时活动夹34往固定架24的方向移动，直到将靶件固定为止，可根据靶件的具体情况来改变夹紧的程度，旋动固定栓43，使两个固定栓43带动两个辅助垫板42往其相对的一侧之间移动，直到将靶件夹紧，此时靶件被固定在平垫板6的上方，可在真空下进行溅射镀膜作业，工作完成后，反向转动控制杆37和固定栓43将靶件取下即可。与相关技术相比较，本技术提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具具有如下有益效果：本装置在固定靶件时，可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，包括：夹具底(1)；/n固定夹件(2)，所述固定夹件(2)固定连接于所述夹具底(1)顶部的左侧；/n活动夹件(3)，所述活动夹件(3)固定连接于所述夹具底(1)顶部的右侧，所述活动夹件(3)包括活动块(31)，所述活动块(31)的底部与夹具底(1)顶部的右侧滑动连接，所述活动块(31)顶部的左侧固定连接有活动滑杆(32)，所述活动块(31)顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆(33)，所述活动滑杆(32)与活动螺纹杆(33)的顶部之间设置有活动夹(34)；/n辅助夹件(4)，所述辅助夹件(4)固定连接于所述夹具底(1)的顶部。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，包括：夹具底(1)；
固定夹件(2)，所述固定夹件(2)固定连接于所述夹具底(1)顶部的左侧；
活动夹件(3)，所述活动夹件(3)固定连接于所述夹具底(1)顶部的右侧，所述活动夹件(3)包括活动块(31)，所述活动块(31)的底部与夹具底(1)顶部的右侧滑动连接，所述活动块(31)顶部的左侧固定连接有活动滑杆(32)，所述活动块(31)顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆(33)，所述活动滑杆(32)与活动螺纹杆(33)的顶部之间设置有活动夹(34)；
辅助夹件(4)，所述辅助夹件(4)固定连接于所述夹具底(1)的顶部。


2.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述活动滑杆(32)的表面套设有活动弹簧(35)，所述活动螺纹杆(33)的表面套设有活动辅助弹簧(36)，所述活动块(31)的右侧贯穿有控制杆(37)，所述活动螺纹杆(33)表面的顶部套设有活动螺帽(38)。


3.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述固定夹件(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长青，郭翔宇，
申请(专利权)人：长沙迈博光电有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43