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一种用于芯片晶圆的储存装置制造方法及图纸

技术编号:28881700 阅读:14 留言:0更新日期:2021-06-15 23:19
本实用新型专利技术公开了一种用于芯片晶圆的储存装置,该储存装置包括本体,在所述本体的前端固定安装有显示面板,在所述显示面板的一侧以能活动的方式安装有手动控制旋钮,所述手动控制旋钮的后端延伸至显示面板的内部,在所述本体的上端以能活动的方式安装有盖,所述盖与本体活动连接,所述盖上侧的固定安装有两个提手,这两个提手对称地布置在盖的上侧,在所述本体的左端固定安装有净化箱,所述净化箱的前端固定设置有进风口。在将芯片晶圆件存放在存储装置中时,净化箱在对存储装置的内部空气进行替换,同时通过内部的过滤装置可将外部的空气进行过滤,使得内部的洁净度可持续的保持,有效的改善了储存环境,增加了对晶圆的保护。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片晶圆的储存装置
本技术涉及晶圆
,具体为一种用于芯片晶圆的储存装置。
技术介绍
晶圆也叫硅晶,是一种半导体材料,是芯片的核心部件。现有的芯片晶圆在存放时,由于空气中的灰尘颗粒无法有效的进行隔绝,使得晶圆容易造成损坏,且无法有效的对湿气进行隔绝,使得晶圆容易造成腐蚀。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于芯片晶圆的储存装置,以解决上述
技术介绍
中提出现有的芯片晶圆在存放时,由于空气中的灰尘颗粒无法有效的进行隔绝,使得晶圆容易造成损坏,且无法有效的对湿气进行隔绝,使得晶圆容易造成腐蚀的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于芯片晶圆的储存装置,该储存装置包括本体,所述本体的前端固定安装有显示面板,所述显示面板的一侧活动安装有手动控制旋钮,所述手动控制旋钮的后端延伸至显示面板的内部,所述本体的上端活动安装有盖,所述盖与本体活动连接,在所述盖的上侧固定安装有两个提手,这两个提手对称地布置在盖地侧,其中,所述净化箱的前端固定设置有进风口,所述进风口在净化箱的前端均匀分布,所述净化箱的上端活动安装有过滤板,所述过滤板的下端延伸至净化箱的内部。优选的,所述过滤板包括吸水层。优选的,所述过滤板的上端安装有把手,所述本体的右端固定安装有隔离箱,所述本体内部的下端活动安装有下存放圆盘,所述下存放圆盘在本体内部的下端均匀分布。优选的,所述下存放圆盘的上端固定安装有硅胶环,所述下存放圆盘的下端活动安装有液态减震器。优选的,所述净化箱内部的左端活动安装有净化风扇,所述净化风扇的右侧安装有过滤海绵体。优选的,所述隔离箱内部的右端活动安装有换气风扇,所述隔离箱内部的左侧安装有隔离阻隔板。优选的,所述本体的内部位于下存放圆盘之间安装有下温控板,所述下温控板的在下存放圆盘之间均匀分布。优选的,所述本体内侧的上端设置有限位槽,所述限位槽与盖相适配。优选的,所述盖的下端安装有上存放圆盘,所述上存放圆盘在盖的下端均匀分布。优选的,所述上存放圆盘之间固定安装有上温控板,所述上温控板和下温控板与显示面板固定连接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、该用于芯片晶圆的储存装置,当在对芯片晶圆件进行存放且净化箱在对内部空气进行替换时,内部的过滤板可将外部的空气进行过滤,使得内部的洁净度可持续的保持,有效的提高了储存环境,增加了对晶圆的保护;2、该用于芯片晶圆的储存装置,通过在下存放圆盘的上端固定安装有硅胶环,避免了在对晶圆进行存放时,通过硅胶环可有效的避免了对晶圆下部造成划伤等不良,同时由于硅胶环柔软和较强的吸附性,使得晶圆可更加平稳的进行储存;3、该用于芯片晶圆的储存装置,通过安装净化风扇,可将外部的空气对内部进行吹送,同时通过过滤海绵体可将空气中的灰尘杂质进行过滤,同时由于过滤海绵体具有吸水的特性,可将空气中的水汽进行吸附,避免了水汽进入内部对晶圆造成损坏,有效的提高了晶圆的存放条件。附图说明图1为本技术立体结构示意图;图2为本技术俯视结构示意图;图3为本技术下存放圆盘立体结构示意图;图4为本技术盖剖面结构示意图。图中:1、本体;2、显示面板;3、手动控制旋钮;4、盖;5、提手;6、净化箱;7、进风口;8、过滤板;9、把手;10、隔离箱;11、下存放圆盘;12、硅胶环;13、液态减震器;14、净化风扇;15、过滤海绵体;16、换气风扇;17、隔离阻隔板;18、下温控板;19、限位槽;20、上存放圆盘;21、上温控板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4,本技术提供一种技术方案:一种用于芯片晶圆的储存装置,该储存装置包括本体(1),其特征在于:所述本体(1)的前端固定安装有显示面板(2),在所述显示面板(2)的一侧活动安装有手动控制旋钮(3),所述手动控制旋钮(3)的后端延伸至显示面板(2)的内部,在所述本体(1)的上端活动安装有盖(4),所述盖(4)与本体(1)活动连接,在所述盖(4)的上侧固定安装有两个提手(5),这两个提手(5)对称地布置在盖(4)的上侧,其中,所述本体(1)的左端固定安装有净化箱(6),所述净化箱(6)的前端固定设置有进风口(7),所述进风口(7)在净化箱(6)的前端均匀分布,所述净化箱(6)的上端活动安装有过滤板(8),所述过滤板(8)的下端延伸至净化箱(6)的内部。进一步的,所述过滤板(8)包括吸水层,当在对芯片晶圆件进行存放时,净化箱6可对内部空气进行替换,同时通过内部的过滤板8可将外部的空气进行过滤,使得内部的洁净度可持续的保持,有效的提高了储存环境,增加了对晶圆的保护。进一步的,过滤板8的上端固定安装有把手9,本体1的右端固定安装有隔离箱10,本体1内部的下端活动安装有下存放圆盘11,下存放圆盘11在本体1内部的下端均匀分布,通过在本体1的右端固定安装有隔离箱10,同时可避免对内部换气时,对内部造成污染使得晶圆造成损坏,同时安装下存放圆盘11,可在内部将晶圆进行分离支撑,使得晶圆在进行储存时不会出现叠加对晶圆造成损坏。进一步的,下存放圆盘11的上端固定安装有硅胶环12,下存放圆盘11的下端活动安装有液态减震器13,通过在下存放圆盘11的上端固定安装有硅胶环12,避免了在对晶圆进行存放时,通过硅胶环12可有效的避免了对晶圆下部造成划伤等不良,同时由于硅胶环12柔软和较强的吸附性,使得晶圆可更加平稳的进行储存。进一步的,净化箱6内部的左端活动安装有净化风扇14,净化风扇14的右侧固定安装有过滤海绵体15,通过安装净化风扇14,可将外部的空气对内部进行吹送,同时通过过滤海绵体15可将空气中的灰尘杂质进行过滤,同时由于过滤海绵体15具有吸水的特性,可将空气中的水汽进行吸附,避免了水汽进入内部对晶圆造成损坏,有效的提高了晶圆的存放条件。进一步的,隔离箱10内部的右端活动安装有换气风扇16,所述隔离箱10内部的左侧安装有隔离阻隔板17,通过安装换气风扇16可将内部的空气对外排出,与净化风扇14形成循环,使得内部空气得以流通,同时在换气风扇16的右侧固定安装有隔离阻隔板17,可将内部吸出的杂质进行吸附,同时避免了外部的灰尘进入内部,有效的提高了内部存放的洁净度。进一步的,本体1的内部位于下存放圆盘11之间固定安装有下温控板18,下温控板18的在下存放圆盘11之间均匀分布,通过安装下温控板18,存放环境温度变化较大时,通过内部的下温控板18可对内部的温度进行调节,使得内部处在较为恒温的环境下。进一步的,本体1内侧的上端固定设置有限位槽19,限位槽19与盖4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片晶圆的储存装置,该储存装置包括本体(1),其特征在于:所述本体(1)的前端固定安装有显示面板(2),在所述显示面板(2)的一侧活动安装有手动控制旋钮(3),所述手动控制旋钮(3)的后端延伸至显示面板(2)的内部,在所述本体(1)的上端活动安装有盖(4),所述盖(4)与本体(1)为活动连接,在所述盖(4)的上侧固定安装有两个提手(5),这两个提手(5)对称地布置在盖(4)的上侧,其中,所述本体(1)的左端固定安装有净化箱(6),所述净化箱(6)的前端固定设置有进风口(7),所述进风口(7)在净化箱(6)的前端均匀分布,所述净化箱(6)的上端活动安装有过滤板(8),所述过滤板(8)的下端可延伸至净化箱(6)的内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片晶圆的储存装置,该储存装置包括本体(1),其特征在于:所述本体(1)的前端固定安装有显示面板(2),在所述显示面板(2)的一侧活动安装有手动控制旋钮(3),所述手动控制旋钮(3)的后端延伸至显示面板(2)的内部,在所述本体(1)的上端活动安装有盖(4),所述盖(4)与本体(1)为活动连接,在所述盖(4)的上侧固定安装有两个提手(5),这两个提手(5)对称地布置在盖(4)的上侧,其中,所述本体(1)的左端固定安装有净化箱(6),所述净化箱(6)的前端固定设置有进风口(7),所述进风口(7)在净化箱(6)的前端均匀分布,所述净化箱(6)的上端活动安装有过滤板(8),所述过滤板(8)的下端可延伸至净化箱(6)的内部。


2.根据权利要求1所述的一种用于芯片晶圆的储存装置,其特征在于:所述过滤板(8)包括吸水层。


3.根据权利要求2所述的一种用于芯片晶圆的储存装置,其特征在于:所述过滤板(8)的上端固定安装有把手(9),所述本体(1)的右端固定安装有隔离箱(10),所述本体(1)内部的下端安装有下存放圆盘(11),所述下存放圆盘(11)在本体(1)内部的下端均匀分布。


4.根据权利要求3所述的一种用于芯片晶圆的储存装置,其特征在于:所述下存放圆盘(11)的上端固定安装有硅胶环(12),所述下存放圆盘(11...

【专利技术属性】
技术研发人员:常永青
申请(专利权)人:常永青东莞市和大研磨科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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