【技术实现步骤摘要】
一种单极板电容传感器的装配装置和装配方法
本专利技术属于电容传感器装配领域，尤其涉及一种单极板电容传感器的装配装置和装配方法。
技术介绍
本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。随着现代工业技术的快速发展，高精度检测技术在诸多高端精密设备和制造加工领域显得愈发重要。高精度的测定微小位移、振动、微小角度的变化，在航空航天、微机电系统等精密领域是必要的。电容位移传感器具有动态特性好、分辨力高、精度高、稳定性好等优点非常适合高精度、非接触动态测量。因此在测量微小位移、振动、尺寸等各工业领域中得到了广泛的应用。电容传感器包括单极板电容传感器和双极板电容传感器两种。其中，单极式探头能够实现非接触且对被测极板不做任何处理，被测极板不用接入传感器电路，因而应用范围更广泛。但是，单极板电容传感器的测定精度与三同轴的环结构同轴度以及探头表面的平面度的装配精度有直接联系。由于单极板电容传感器测量极、等位环和屏蔽环三轴装配时，中间缝隙是绝缘层填充。专利技术人发现，直接装配时，容易出现偏心...
【技术保护点】
1.一种单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，包括基板、传感器固定台、龙门架、第一微分头、校正块、柔性环和柔性盘；所述传感器固定台和龙门架均安装在基板上；所述传感器固定台布设在龙门架下方；所述校正块设置在待装配的传感器上，所述第一微分头安装在龙门架上且与校正块相对设置；/n所述柔性盘两侧分别接校正块和传感器的测量极，以实现测量极的纵向的柔性装配；所述柔性环两侧分别接校正块和传感器的等位环，以实现等位环的纵向的柔性装配；所述第一微分头用于通过纵向柔性预紧对校正块施压，使得传感器测量极、等位环和屏蔽环横向限位同轴装配且三者底面均在同一水平面上，从而保证传感器表面的平整。/n
【技术特征摘要】
1.一种单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，包括基板、传感器固定台、龙门架、第一微分头、校正块、柔性环和柔性盘；所述传感器固定台和龙门架均安装在基板上；所述传感器固定台布设在龙门架下方；所述校正块设置在待装配的传感器上，所述第一微分头安装在龙门架上且与校正块相对设置；
所述柔性盘两侧分别接校正块和传感器的测量极，以实现测量极的纵向的柔性装配；所述柔性环两侧分别接校正块和传感器的等位环，以实现等位环的纵向的柔性装配；所述第一微分头用于通过纵向柔性预紧对校正块施压，使得传感器测量极、等位环和屏蔽环横向限位同轴装配且三者底面均在同一水平面上，从而保证传感器表面的平整。
2.如权利要求1所述的单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，所述传感器固定台上开设有第一通孔，传感器固定台的侧面开设有第一螺纹孔，第一通孔用于放置电容传感器，第一螺纹孔内设置有螺钉，用于通过旋紧来预紧固定传感器。
3.如权利要求1所述的单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，所述校正块是一阶梯轴圆柱体，并在一端有阶梯孔的结构；所述校正块是传感器的三同轴装配时的反向模具。
4.如权利要求3所述的单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，所述校正块的阶梯孔的一个孔与传感器测量极配合，用于实现测量极的横向限位，纵向连接柔性盘。
5.如权利要求3所述的单极板电容传感器的装配装置，其特征在于，所述校正块的阶梯孔的一个孔与传感器的等位环配合，以实现等位环的横向限位，该孔的纵向与柔性环相接。
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