一种微流控过滤装置及其制备方法和应用制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微流控过滤装置及其制备方法和应用，所述微流控过滤装置成本低，使用简单，稳定性好；在实现离子跨膜传输的同时，能够保证液体在ToF‑SIMS中的密封性，确保液相界面在真空内的稳定，且能够满足各种盐溶液跨膜传输的检测要求。

【技术实现步骤摘要】
一种微流控过滤装置及其制备方法和应用
本专利技术属于水处理
，涉及一种微流控过滤装置及其制备方法和应用。
技术介绍
膜分离过程广泛应用于水处理和海水淡化过程。如何提高膜材料对污染物的选择性截留并提高水通量，打破选择性和通量的“trade-off”效应是膜分离技术研究的热点和难点。水分子和盐离子往往是膜处理过程中的介质及处理对象，在膜分离过程中，水分子及离子在压力驱动下将以团簇结构的形式进行跨膜传输，在位阻筛分及静电排斥的作用下，离子水簇的形态将对膜分离过程产生本质影响。探明离子水簇跨膜传输的优势结构，明确膜孔结构与离子水簇结构之间的匹配关系，对于理解和优化膜分离过程的选择性与透过性机制具有重要意义。飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)是一种具有高灵敏度、高时空分辨率的表界面分析技术，能够获取限域环境下精确的化学元素组成信息，具备获取液体内部水簇结构信息的潜力。然而，ToF-SIMS的高真空检测环境限制了其在离子水簇结构原位分析中的应用。采用SiNx膜封装的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控装置有效克服了ToF-SIMS高真空检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微流控过滤装置，其特征在于，所述微流控过滤装置包括基底，所述基底开设有溶液槽，所述溶液槽开口一侧覆盖有SiN

【技术特征摘要】
1.一种微流控过滤装置，其特征在于，所述微流控过滤装置包括基底，所述基底开设有溶液槽，所述溶液槽开口一侧覆盖有SiNx薄膜，所述SiNx薄膜与所述基底密封连接，所述SiNx薄膜在朝向所述溶液槽一侧连接有纳滤膜，所述溶液槽底部开设有进液孔。


2.根据权利要求1所述的微流控过滤装置，其特征在于，所述SiNx薄膜外侧连接有硅衬底；
优选地，所述硅衬底对应所述纳滤膜的部位设置有窗口。


3.根据权利要求1所述的微流控过滤装置，其特征在于，所述基底包括聚二甲硅氧烷基底；
优选地，所述纳滤膜包括聚酰胺纳滤膜。


4.根据权利要求1或2所述的微流控过滤装置，其特征在于，所述进液孔连接有进样管；
优选地，所述进样管包括聚四氟乙烯进样管。


5.一种权利要求1-4任一项所述的微流控过滤装置的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
将所述纳滤膜粘接至所述SiNx薄膜；
将粘接有纳滤膜一侧朝向所述溶液槽，通过等离子体不可逆地使所述SiNx薄膜与所述基底实现密封连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：曲久辉，陆成海，胡承志，孙境求，古振澳，
申请(专利权)人：中国科学院生态环境研究中心，
类型：发明
国别省市：北京;11