【技术实现步骤摘要】
金属遮罩及其制造方法
本专利技术是有关于一种金属遮罩的制造方法,且特别是有关于一种用于制作图案化膜层的金属遮罩的制造方法。
技术介绍
现今已有一些显示面板采用金属遮罩来制造,而为了制造现有高分辨率的显示面板,金属遮罩必须要具有相当薄的厚度,以满足目前显示面板的高分辨率发展趋势。一般金属遮罩在使用的时候,金属遮罩须要焊接至制程设备(例如蒸镀机)的治具上,以使金属遮罩可以固定在要做成显示面板的基板(例如玻璃板)上。然而,厚度薄的金属遮罩不易于焊接至上述治具,导致金属遮罩在高分辨率显示面板制程的应用方面遭遇到一些困难。
技术实现思路
本专利技术至少一实施例提供一种金属遮罩,其两侧边缘部分的厚度大于中央部分的厚度。本专利技术另一实施例提供一种金属遮罩的制造方法,其采用电铸与电镀液喷流来制造上述金属遮罩。在本专利技术至少一实施例所提供的金属遮罩的制造方法中,首先,提供导电基板,其具有平面、一对彼此相对的第一侧边以及一对彼此相对的第二侧边,其中这些第一侧边皆沿着第一方向延伸,而这些第二侧边皆沿着第二方 ...
【技术保护点】
1.一种金属遮罩的制造方法,其特征在于,包括:/n提供一导电基板,其具有一平面、一对彼此相对的第一侧边以及一对彼此相对的第二侧边,其中该些第一侧边皆沿着一第一方向延伸,而该些第二侧边皆沿着一第二方向延伸,该些第一侧边与该些第二侧边围绕该平面;/n在该平面上形成一图案化绝缘层;/n以该图案化绝缘层作为遮罩,在该导电基板的该平面上进行电铸;以及/n在该平面上进行电铸的期间,从该些第一侧边其中至少一者产生多道电镀液喷流,其中各该电镀液喷流沿着平行于该第二方向流入至该导电基板的该平面,并且沿着该平面而流动,而邻近该第二侧边的该电镀液喷流的流速小于远离该第二侧边的该电镀液喷流的流速。/n
【技术特征摘要】
20201207 TW 1091431101.一种金属遮罩的制造方法,其特征在于,包括:
提供一导电基板,其具有一平面、一对彼此相对的第一侧边以及一对彼此相对的第二侧边,其中该些第一侧边皆沿着一第一方向延伸,而该些第二侧边皆沿着一第二方向延伸,该些第一侧边与该些第二侧边围绕该平面;
在该平面上形成一图案化绝缘层;
以该图案化绝缘层作为遮罩,在该导电基板的该平面上进行电铸;以及
在该平面上进行电铸的期间,从该些第一侧边其中至少一者产生多道电镀液喷流,其中各该电镀液喷流沿着平行于该第二方向流入至该导电基板的该平面,并且沿着该平面而流动,而邻近该第二侧边的该电镀液喷流的流速小于远离该第二侧边的该电镀液喷流的流速。
2.如权利要求1所述的金属遮罩的制造方法,其特征在于,其中该些电镀液喷流的最大流速与最小流速之间的差距在130升/分以内。
3.如权利要求1所述的金属遮罩的制造方法,其特征在于,其中该导电基板更具有一中心线,该中心线沿着该第二方向延伸,且该中心线至该些第二侧边的距离彼此相等,该些电镀液喷流的流速从各该第二侧边朝向该中心线递增。
4.如权利要求3所述的金属遮罩的制造方法,其特征在于,其中在该平面进行电铸的期间,从...
【专利技术属性】
技术研发人员:程维堂,
申请(专利权)人:达运精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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