一种可分离式微夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种可分离式微夹持装置，该装置包括微镊、二指夹钳、旋转电机及促动单元，其连接关系是：所述的微镊可拆卸地安装于二指夹钳的前端的微镊夹持部的槽状结构内，旋转电机及促动单元安装于二指夹钳的后端；其中，所述的二指夹钳包括运动夹指及固定夹指，所述的运动夹指通过柔性铰链I一体式连接至固定夹指。本实用新型专利技术的可分离式微夹持装置能实现表面形貌复杂、且上表面有易碎结构的微型零件的夹持，避免了传统的微型零件夹持技术中存在的表面残余液体污染问题、静电敏感零件的击穿失效的问题、自身产生的寄生电荷磁场和外界环境的电磁干扰的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可分离式微夹持装置
本技术属于微机电领域，具体涉及一种可分离式微夹持装置。
技术介绍
微机电系统(MEMS)的高速发展已从“微电子-机械”向“微机械-电子”领域发生转变，MEMS器件中的微小机械结构件越来越多、越来越复杂，最终完整器件需要通过微装配的方法实现制造。微夹持技术是MEMS及其部件装配与维护的关键技术。按照目前国内外在微夹持器领域的研究成果来看，从夹持微型零件的方式上，微夹持器大体上可分为两类。一类是吸附式微夹持器，这类微夹持器利用真空、液体、静电等所产生的吸附力来抓取微型零件。目前所研发的吸附式微夹持器主要包括真空吸附式、静电吸附式、液体吸附式等。另一类是机械式微夹持器，这类微夹持器一般具有两个或多个手指，通过夹爪指部的运动产生夹持动作和夹持力，对微型物体的操作能够提供较大的灵活性。根据所产生驱动力的原理，机械式微夹持器又可分为形状记忆合金微夹持器、静电力驱动微夹持器、压电陶瓷驱动微夹持器、电磁力驱动微夹持器等。然而，上述现有技术主要存在以下缺点：针对真空吸附式夹持，其抓取表面形貌复杂的微型零件时存在真空泄露抓取本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可分离式微夹持装置，其特征在于，该装置包括微镊(1)、二指夹钳(2)、旋转电机(4)及促动单元，其连接关系是：所述的微镊(1)可拆卸地安装于二指夹钳(2)的前端的微镊夹持部(201)的槽状结构内，旋转电机(4)及促动单元安装于二指夹钳(2)的后端；其中，所述的二指夹钳(2)包括运动夹指(202)及固定夹指(204)，所述的运动夹指(202)通过柔性铰链I(203)一体式连接至固定夹指(204)。/n

【技术特征摘要】
1.一种可分离式微夹持装置，其特征在于，该装置包括微镊(1)、二指夹钳(2)、旋转电机(4)及促动单元，其连接关系是：所述的微镊(1)可拆卸地安装于二指夹钳(2)的前端的微镊夹持部(201)的槽状结构内，旋转电机(4)及促动单元安装于二指夹钳(2)的后端；其中，所述的二指夹钳(2)包括运动夹指(202)及固定夹指(204)，所述的运动夹指(202)通过柔性铰链I(203)一体式连接至固定夹指(204)。


2.根据权利要求1所述的可分离式微夹持装置，其特征在于，所述的运动夹指(202)前端与固定夹指(204)前端设有微镊夹持部(201)，固定夹指(204)后端一体式设有安装部，所述安装部开设有电机安装孔(206)、促动器安装孔(207)及贯通的螺孔(205)。


3.根据权利要求2所述的可分离式微夹持装置，其特征在于，所述微镊夹持部(201)为槽状结构。


4.根据权利要求2所述的可分离式微夹持装置，其特征在于，所述的电机安装孔(206)与螺孔(205)相贯通，促动器安装孔(207)的中心轴正对运动夹指(202)的后端面，电机安装孔(206)与微镊夹持部(201)的中心线重合。


5.根据权利要求1所述的可分离式微夹持装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王曦，李贺，杨凯，尹青峰，张洁，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：新型
国别省市：四川;51