夹爪式探针夹具及探针夹持设备制造技术

本发明专利技术公开了夹爪式探针夹具及插持设备，所述夹爪式探针夹具包括，角度调整机构；夹爪机构，所述夹爪机构连接于所述角度调整机构，所述夹爪机构用于夹持探针，所述角度调整机构用于调整所述夹爪机构的角度。所述夹爪式探针夹具能够通过夹取的方式抓取探针，并且能够对所抓取的探针的角度进行调整，能够简化探针的安装过程，并且不会在安装过程中对探针造成损坏。坏。坏。

【技术实现步骤摘要】
夹爪式探针夹具及探针夹持设备


[0001]本专利技术涉及晶圆测试领域，进一步地涉及夹爪式探针夹具及探针插持设备。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆测试阶段，需要对晶圆上的未封装芯片进行测试，测试过程中会使用到探针卡。探针卡上用到的探针属于高精度探针，这种探针等效直径一般在30um
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100um范围内。探针的特点是尺寸小，比较脆弱，很容易划伤或者损坏，但为了进行测试，在探针卡制作过程中需要将探针安装到陶瓷孔内，该安装过程比较复杂，目前制作工人仍然是工人将探针夹取，然后经过姿态调整以后，将探针安装到孔里面。
[0003]需要指出的是，人工操作的主要缺点如下：第一，夹持力量不稳定，探针容易划伤或损坏；第二，人工操作稳定性不好，探针转移过程中容易损坏；第三，操作人员容易疲劳，植针效率受限。
[0004]综上所述，需要对现有的探针夹取方法进行改进。

技术实现思路

[0005]针对上述技术问题，本专利技术的目的在于提供夹爪式探针夹具及探针夹持设备，所述夹爪式探针夹具能够通过夹取的方式抓取探针，并且能够对所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.夹爪式探针夹具，其特征在于，包括：角度调整机构；夹爪机构，所述夹爪机构连接于所述角度调整机构，所述夹爪机构用于夹持探针，所述角度调整机构用于调整所述夹爪机构的角度。2.根据权利要求1所述的夹爪式探针夹具，其特征在于，其中所述角度调整机构包括旋转件和旋转架，所述旋转架连接于所述旋转件的动力输出轴，所述夹爪机构安装于所述旋转架。3.根据权利要求2所述的夹爪式探针夹具，其特征在于，其中所述夹爪机构包括第一夹持组件、第二夹持组件以及滑动件，其中所述第一夹持组件包括第一安装臂和第一夹持臂，所述第二夹持组件包括第二安装臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂安装于所述第一安装臂，所述第二夹持臂安装于所述第二安装臂；所述第一安装臂安装于所述旋转架，所述滑动件安装于所述第一安装臂，所述第二安装臂安装于所述滑动件的滑动杆，并且所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相对设置；所述滑动件的所述滑动杆能够被驱动作伸缩运动，以调整所述第一夹持臂和所述第二夹持臂之间的距离。4.根据权利要求3所述的夹爪式探针夹具，其特征在于，其中所述第一夹持组件进一步包括第一延伸臂，所述第一延伸臂安装于所述第一安装臂的一侧；所述第二夹持组件进一步包括第二延伸臂，所述第二延伸臂安装于所述第二安装臂的一侧，并且所述第一延伸臂和所述第二延伸臂相对设置；所述夹爪式探针夹具进一步包括微调旋钮，所述微调旋钮可转动地安装于所述第一延伸臂，所述微调旋钮的头端抵接于所述第二延伸臂，通过旋转所述微调旋钮能够调整所述第一延伸臂和所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁建，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：