一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器制造技术

本发明专利技术公开了一种三层双谐振宽带太赫兹波吸收器。它包括底层金属铜层、衬底硅和三层金属介质叠加排列；其中金属铜层位于最底层，其上覆盖薄层硅，最上层是三层金属介质堆叠结构，与其他太赫兹吸收器相比，通过改变表层金属环的角度实现超表面结构获得更宽的工作频宽，内部谐振腔设计进一步拓展带宽，三层结构更好的吸收外部能量且保证了最小厚度实现最大吸收效益，且每层对角环均采用对称设计，保证吸收器功能的稳定性。从设计角度出发，减少了传统设计的超表面吸收器层数。本发明专利技术具有结构简单，宽带吸收，易加工与易实现等优点。易加工与易实现等优点。易加工与易实现等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器


[0001]本专利技术吸收器，尤其涉及一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器。

技术介绍

[0002]太赫兹波段是指频率在0.1～10THz(波长在30μm～3mm区间)的电磁波。其低能性、高穿透性、指纹谱性、宽带性、瞬态性和相干性等特性常常应用于生物医学成像、安全检查、雷达、天文学、通信技术、无损检测等领域。由于太赫兹在电磁波频段中处于微波段与红外波段之间，兼具微波与光波的一些特性，但又不能完全应用低频或高频理论。虽然自然界能与太赫兹响应的物质不多，导致太赫兹应用较少，但电磁超表面的出现，为太赫兹的实际应用提供了条件。
[0003]吸收器是太赫兹应用发展中最重要的方向之一，而现存太赫兹吸收器设计中普遍存在工作频带窄，结构厚，吸收率低，不易加工等问题。针对以上缺点，本专利技术设计了一种频带宽，性能稳定，结构简单易加工且具有宽带吸收特性的一种三层双谐振宽带太赫兹波吸收器。
[0004]超材料是指工作在亚波长，电磁参数(包括介电常数与磁导率)可人为设计的一种周期阵列结构，与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器，其特征在于它包括同一层表面金属环开口不同(1)、不同层表面金属旋转(2)不同层比例缩放(3)。2.如权利要求1所述的一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器，其特征在于所述的同一层表面金属环旋转结构(1)的1环与2环开口大小不同。3.如权利要求1所述的一种三层圆形内外双谐振腔宽带太赫兹波超表面吸收器，其特征在于所述的不同层表面金属旋转(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼英超，陈彭，徐亮，林婷艳，方波，魏益松，王佳赛，王铭阳，丁玉林，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：