【技术实现步骤摘要】
传送物体的装置及其控制方法
技术介绍
[0001]通常，串联布置多个半导体制造设备以执行用于制造半导体器件的各种工艺。传送物体的装置可以沿着半导体制造设备传送物体以执行每个半导体制造工艺。
[0002]该装置沿着设置在设置有半导体制造设备的空间中的行进轨道行进，并且可以由控制单元控制。
[0003]包括在传送物体的装置中的伺服电动机可以为行进部提供动力。伺服驱动器可以控制伺服电动机。
[0004]当伺服驱动器产生驱动命令以将驱动命令传送到伺服电动机时，或者当前方障碍物被释放时，伺服电动机可以开始驱动行进部。
[0005]伺服驱动器可被限制为仅在预定时间段内以大于额定值的速度运行。即，当伺服驱动器在超过预定时间段内以大于额定值的速度运行时，伺服驱动器会发生过载，并且伺服驱动器可能会停止运行导致意外发生紧急情况。因此，当设计伺服驱动器的运动时，可以确保额定值的足够余量以抑制伺服驱动器发生过载。在此，通过从用于操作伺服电动机的最大值中减去额定值来定义余量。
[0006]由于伺服驱动器不能以最大值驱动伺服电动机并且仅以...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种传送物体的装置，所述装置包括：伺服电动机，其被配置为驱动行进部以沿着行进轨道传送物体；伺服驱动器，其被配置为通过根据负载水平调节所述伺服电动机的转矩来控制所述伺服电动机的操作；过载确定单元，其被配置为检查所述伺服驱动器的过载程度；以及运动控制器，其被配置为根据控制所述行进部的操作的控制单元向其发送的传送命令来生成速度信号和速度曲线，所述运动控制器在所述伺服驱动器不处于过载状态时生成正常速度曲线，或者在所述伺服驱动器处于过载状态时生成校正速度曲线，并将所述速度信号和速度曲线传输至所述伺服驱动器。2.如权利要求1所述的装置，其中当所述伺服驱动器处于过载状态时，所述运动控制器生成具有恒定速度区间和加速区间的所述校正速度曲线。3.如权利要求2所述的装置，其中当所述伺服驱动器处于过载状态时，所述运动控制器生成所述校正速度曲线，所述校正速度曲线具有具有第一加速度的第一加速区间、恒定速度区间和具有高于第一加速度的第二加速度的第二加速区间。4.如权利要求1所述的装置，其中当所述伺服驱动器处于过载状态时，所述运动控制器生成所述校正速度曲线，所述校正速度曲线具有具有第一加速度的第一加速区间和具有高于第一加速度的第二加速度的第二加速区间。5.如权利要求1所述的装置，其中所述过载确定单元基于所述伺服驱动器的非操作时间来确定所述伺服驱动器是否处于过载状态。6.如权利要求5所述的装置，其中所述过载确定单元包括被配置为测量所...
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