一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台制造技术

本发明专利技术公开了一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台，包括外框、内框、位移台、第一弹性单元、第二弹性单元、第一梳齿单元和第二梳齿单元，其中所述外框通过第一弹性单元对所述内框进行支撑以使得所述外框能够对所述内框沿第一方向进行驱动，所述内框通过第二弹性单元对所述位移台进行支撑以使得所述内框能够对所述位移台沿第二方向进行驱动，所述第一梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述外框上，所述第一梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述位移台上。本发明专利技术不仅具有无滞后和无位移衰减等性能优势，还能实现低串扰运动。现低串扰运动。现低串扰运动。

【技术实现步骤摘要】
一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台


[0001]本专利技术涉及精密定位系统
，尤其涉及一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台。

技术介绍

[0002]随着微纳器件系统集成的迅速发展，精密定位系统在现代尖端工业生产和前沿科学研究领域占有极其重要的地位，它是精密测量、超精密加工、半导体技术、生物医学工程等关键领域的重要环节。
[0003]现有技术中，能够满足上述性能需求的主流定位系统是压电陶瓷位移平台，具有纳米级分辨率、快速响应、驱动力大等优点。但是，压电陶瓷驱动本身具有诸多缺陷：(a)驱动位移大小与压电陶瓷材料厚度紧密相关，多维方向驱动则需要多个驱动单元叠加来实现，致使整个系统结构尺寸较大；(b)压电驱动存在滞后性，需要额外增加闭环反馈控制以实现高精度定位；(c)压电驱动位移在低温下严重衰减；(d)通过柔性铰链实现运动传递与转换，谐振频率较低。
[0004]以上
技术介绍
内容的公开仅用于辅助理解本专利技术的构思及技术方案，其并不必然属于本专利申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日已本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电梳齿驱动式低串扰运动的面内二维定位平台，其特征在于，包括外框、内框、位移台、第一弹性单元、第二弹性单元、第一梳齿单元和第二梳齿单元，其中所述外框通过第一弹性单元对所述内框进行支撑以使得所述外框能够对所述内框沿第一方向进行驱动，所述内框通过第二弹性单元对所述位移台进行支撑以使得所述内框能够对所述位移台沿第二方向进行驱动，所述第一梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述外框上，所述第一梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述位移台上。2.根据权利要求1所述的面内二维定位平台，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。3.根据权利要求1所述的面内二维定位平台，其特征在于，所述第一梳齿单元包括第一梳齿组和第三梳齿组，所述第一梳齿组和所述第三梳齿组的固定梳齿部分别固定连接在所述外框沿第二方向设置的两侧边的内壁上，所述第一梳齿组的可动梳齿部固定连接在所述内框上与所述第一梳齿组的固定梳齿部相对的侧壁上，所述第三梳齿组的可动梳齿部固定连接在所述内框上与所述第三梳齿组的固定梳齿部相对的侧壁上。4.根据权利要求1所述的面内二维定位平台，其特征在于，所述第二梳齿单元包括第二梳齿组和第四梳齿组，所述第二梳齿组和所述第四梳齿组的固定梳齿部分别固定连接在所述内框沿第一方向设置的两侧边的内壁上，所述第二梳齿组的可动梳齿部固定连接在所述位移台上与所述第二梳齿组的固定梳齿部相对的侧壁上，所述第四梳齿组的可动梳齿部固定连接在所述位移台上与所述第四梳齿组的固定梳齿部相对的侧壁上。5.根据权利要求1所述的面内二维定位平台，其特征在于，所述第一弹性单元包括多根分别沿所述第二方向设置的第一柔性杆，多根所述第一柔性杆的外端部均由多个第一连接件连接，其中一部分所述第一柔性杆的内端部连接在所述外...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛高鹏，李星辉，王晓浩，
申请(专利权)人：清华大学深圳国际研究生院，
类型：发明
国别省市：