比较光学系统技术方案

技术编号:2871919 阅读:115 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
比较光学系统(1),具有多个摄像的光学分系统,该光学分系统通过一个桥形架(3)互相连接起来,该桥形架将多个摄像的光学分系统机械地、光学地互相连接起来,其特征在于,每一个摄像的光学分系统具有一个通过马达而可以运动的XYZ工作台(8a、8b),在该工作台上放置一个待研究的试样;设置一个控制单元,该控制单元使通过马达而可以运动的XYZ工作台(8a、8b)同步地沿所有三个空间方向运动。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种比较光学系统。本专利技术尤其涉及一种具有多个摄像的光学分系统的比较光学系统,该分系统通过一个桥形架互相连接起来,该桥形架将多个摄像的光学分系统机械地、光学地连接起来。
技术介绍
德国专利文献DE30 06 379公开了一种用于比较地测试标准对象和试样的缺陷测试系统(Defectpruefungssystem)。试样和标准对象在一个共同的支架上;不但标准对象而且试样都通过光学机构进行显影并组合,这样可以进行比较。德国公开文献DE41 03 457示出了一种用于通过两个物镜来观察两个相似对象的比较显微镜,该比较显微镜设置一个用于将两幅图像组合以便进行比较地观察的机构。这两个物镜分别是一个单个显微镜的一部分,其中设置一个视频混合装置作为用于组合两幅图像的机构,两个接收显微镜图像的摄像机的视频信号传输给该机构。显微镜工作台的同步调节没有披露。美国专利4,403,839示出了一个比较光学机构,该机构设计用于同时观察两个对象。一个桥形架包括用于组合由显微镜或者宏观镜(Makroskop)产生的光路的光学机构。在这种情况下,照明光线借助于光电管(Fototubu)输入到该系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:M·吉尔伯特
申请(专利权)人:莱卡微系统CMS有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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