波束形成光学系统、和直接成像系统技术方案

一种直接成像系统包括：照明单元，包括多个光源，所述多个光源被配置为发射多个波束；光学系统，用于形成要以位置或角度对准的多个波束；声光调制器，被定位为接收以位置或角度之一对准的多个波束，并且当声波在声方向中传播时，相继地对所述多个波束的不同部分进行衍射；以及扫描元件，适于以扫描速度、利用该声光调制器所调制的多个波束来扫描曝光表面，其中将该扫描速度选择为将所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。

【技术实现步骤摘要】
波束形成光学系统、和直接成像系统本申请是申请日为2012年8月16日、申请号为201210292389.2、专利技术名称为“用于直接成像的系统和方法”的专利技术专利申请的分案申请。
在本专利技术的一些实施例中，本专利技术涉及使用声调制的直接成像(DI)，并且更具体、但是非排他性地，涉及利用半导体激光二极管(LD)的直接成像。
技术介绍
在直接成像(DI)系统中，扫描波束用于一次一个或多个像素地将图像直接写入到诸如光阻材料之类的曝光表面。有时，通过利用声光调制器(AOM)(其也称为布拉格器件)来对扫描波束进行调制来获得图像。AOM使用声光效应，以基于所存储的图像数据、使用(通常处于射频处的)声波来对光进行衍射和使该光偏转。一旦被调制，通过当曝光表面(或扫描波束)在扫描方向中前进时、将所调制的波束反射离开多小面的旋转多边形物体，来典型地在光栅图案中提供扫描。在一些已知的系统中，将史柯风(Scophony)扫描效应用于使得由以下原因而导致的所生成图案的空间模糊最小化：a)调制器中的声波的有限速度；和b)激光照明器的连续本性。对于史柯风扫描效应的需求在于，通过AOM与曝光表面之间的光学系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波束形成光学系统，包括：照明单元，包括被配置为发射多个波束的多个光源，所述多个光源至少包括四个激光二极管；光学装置，被配置为将所述多个波束全部传送到声光调制器AOM上；所述AOM，被定位成接收通过所述光学装置传送的所述多个波束的全部，并且被配置为对入射到其上的所述多个光束的全部进行调制。

【技术特征摘要】
2011.08.19 US 13/213,3601.一种波束形成光学系统，包括：照明单元，包括被配置为发射多个波束的多个光源，所述多个光源至少包括四个激光二极管；光学装置，被配置为将所述多个波束全部传送到声光调制器AOM上；所述AOM，被定位成接收通过所述光学装置传送的所述多个波束的全部，并且被配置为对入射到其上的所述多个光束的全部进行调制。2.根据权利要求1的波束形成光学系统，其中，所述照明单元包括被安排在单行中的多个光源。3.根据权利要求1的波束形成光学系统，其中，所述照明单元包括被安排在第一行中的第一多个光源、和被安排在第二行中的第二多个光源，该第二行与所述第一行平行。4.根据权利要求1的波束形成光学系统，其中，所述光学装置被配置为使从所述照明单元输出的所述多个波束准直和对准，从而所述多个波束的每个在与AOM的声方向垂直的方向上延伸。5.根据权利要求4的波束形成光学系统，其中，所述多个波束形成在所述声方向上排列的并行波束阵列，其中，所述多个波束的每个在垂直于所述声方向的方向上成形，以填充所述AOM的孔径。6.根据权利要求1的波束形成光学系统，其中，所述光学装置被配置为将从所述照明单元输出的所述多个波束安排为使得它们在所述AOM的孔径的平面上彼此重叠。7.根据权利要求6的波束形成光学系统，其中，所述多个波束形成在包括AOM的所述声方向和光传播方向的平面上安排的波束阵列，从而所述多个波束的全部在所述AOM的孔径的平面上彼此重叠，而所述多个波束的每个被成形在所述AOM的声方向和与所述AOM的声方向垂直的方向二者中，以填充所述AOM的孔径。8.根据权利要求1的波束形成光学系统，其中，所述AOM包括单晶体，该单晶体调制多个入射波束的全部。9.一种波束形成光学系统，包括：照明单元，包括多个光源，该多个光源被配置为发射实际上相同波长的多个波束；光学装置，被配置为将所述多个波束全部传送到声光调制器AOM上；所述AOM，被定位成接收通过所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：S海涅曼，W雷彻克，H瓦格纳，J伯格夫，A格罗斯，
申请(专利权)人：奥博泰克有限公司，激光影像系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：以色列,IL