双余度铂薄膜热敏电阻器制造技术

一种双余度铂薄膜热敏电阻器，属于热敏电阻器技术领域。本实用新型专利技术针对现有铂薄膜热敏电阻器存在失效问题并易受外界电磁场干扰的问题。包括：双余度感温层设置在陶瓷基片上，防护层覆盖于双余度感温层的上表面，并对陶瓷基片全覆盖；双余度感温层包括两根感温铂薄膜金属线、四个引线焊盘和四根引线，四个引线焊盘与陶瓷基片的四角对应设置，相邻的一对引线焊盘之间连接一根感温铂薄膜金属线，另外一对相邻的引线焊盘之间连接另一根感温铂薄膜金属线；两根感温铂薄膜金属线的排布形式相对应；引线焊盘的表面设置有铂浆料涂层，每个引线焊盘经铂浆料涂层连接一根引线。本实用新型专利技术可应用于航空航天等高可靠、高精度温度测控中。高精度温度测控中。高精度温度测控中。

【技术实现步骤摘要】
双余度铂薄膜热敏电阻器


[0001]本技术涉及双余度铂薄膜热敏电阻器，属于热敏电阻器


技术介绍

[0002]热敏电阻器在测温、控温领域等电子信息技术中具有重要地位。热敏电阻器对温度敏感，在不同的温度环境下电阻值输出不同，通过温度与电阻值的对应关系实现对环境温度的测量。热敏电阻器按照温度系数可分为：正温度系数热敏电阻器(Positive Temperature Coefficient，PTC)，在温度升高时输出电阻值升高；负温度系数热敏电阻器(Negative Temperature Coefficient，NTC)在温度升高时输出电阻值降低；它们同属于半导体器件。
[0003]随着电子技术的发展，薄膜型热敏电阻器由于具有体积小、响应快、精度高，以及便于系统小型化与集成化设计的优势而得到了快速发展。在众多感温材料的薄膜热敏电阻中，铂薄膜热敏电阻器具有测量精度高、重复性好、非线性小、可靠性高等特点，在温度测量应用领域一直处于领先优势。虽然铂薄膜热敏电阻器技术优势显著，但其同样存在失效问题。在可靠性要求较高的应用领域具有一定限制，如航空航天温度测控领域。此外，铂薄膜热敏电阻在工作时还容易受到外界电磁场干扰，进而影响铂薄膜热敏电阻器的测量精度，尤其在强的电磁干扰环境下测量精度下降。

技术实现思路

[0004]针对现有铂薄膜热敏电阻器存在失效问题并易受外界电磁场干扰的问题，本技术提供一种双余度铂薄膜热敏电阻器。
[0005]本技术的一种双余度铂薄膜热敏电阻器，包括陶瓷基片100，双余度感温层200和防护层300，双余度感温层200设置在陶瓷基片100上，防护层300覆盖于双余度感温层200的上表面，并对陶瓷基片100全覆盖；
[0006]所述双余度感温层200包括两根感温铂薄膜金属线210、四个引线焊盘220和四根引线230；
[0007]四个引线焊盘220与陶瓷基片100的四角对应设置，相邻的一对引线焊盘220之间连接一根感温铂薄膜金属线210，另外一对相邻的引线焊盘220之间连接另一根感温铂薄膜金属线210；两根感温铂薄膜金属线210的排布形式相对应；
[0008]所述引线焊盘220的表面设置有铂浆料涂层，每个引线焊盘220经铂浆料涂层连接一根引线230。
[0009]根据本技术的双余度铂薄膜热敏电阻器，两根感温铂薄膜金属线210相对应的呈蛇形排布，并且之间等距设置。
[0010]根据本技术的双余度铂薄膜热敏电阻器，所述两根感温铂薄膜金属线210之间的距离包括10～30μm。
[0011]根据本技术的双余度铂薄膜热敏电阻器，两根感温铂薄膜金属线210加载电
流的方向相反。
[0012]根据本技术的双余度铂薄膜热敏电阻器，防护层300为陶瓷防护层或玻璃防护层。
[0013]本技术的有益效果：本技术的双余度感温层采用了双余度的温度敏感单元结构，每根感温铂薄膜金属线与对应的引线焊盘及引线构成一个温度敏感单元结构；两个温度敏感单元可同时，独立完成测温工作；当其中一个温度敏感单元失效时，另外一个温度敏感单元可以继续工作，使热敏电阻器的可靠性得到极大提高；同时，双余度的结构设计形式，可以消除电磁场，提高热敏电阻的抗电磁干扰能力。本技术所述电阻器具有较高的测温精度，能够满足高可靠性要求，可应用于航空航天强电磁干扰环境的温度测控领域。
[0014]本技术可采用一体化MEMS工艺设计，将两个温度敏感单元设置于同一芯体上，形成的产品尺寸小，便于安装使用。
[0015]本技术通过对铂薄膜金属线的结构设计，再加载方向不同的激励电流，可以实现铂薄膜金属线的温度无感检测，提升温度测量精度。
附图说明
[0016]图1是本技术所述双余度铂薄膜热敏电阻器的分层结构示意图；
[0017]图2是双余度感温层设置在陶瓷基片上的结构示意图；图中I表示电流，感温铂薄膜金属线上的箭头表示电流方向。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。
[0021]具体实施方式一、结合图1和图2所示，本技术提供了一种双余度铂薄膜热敏电阻器，包括陶瓷基片100，双余度感温层200和防护层300，双余度感温层200设置在陶瓷基片100上，防护层300覆盖于双余度感温层200的上表面，并对陶瓷基片100全覆盖；
[0022]所述双余度感温层200包括两根感温铂薄膜金属线210、四个引线焊盘220和四根引线230；
[0023]四个引线焊盘220与陶瓷基片100的四角对应设置，相邻的一对引线焊盘220之间连接一根感温铂薄膜金属线210，另外一对相邻的引线焊盘220之间连接另一根感温铂薄膜金属线210；两根感温铂薄膜金属线210的排布形式相对应；
[0024]所述引线焊盘220的表面设置有铂浆料涂层，每个引线焊盘220经铂浆料涂层连接一根引线230。
[0025]本实施方式中，防护层300覆盖两根感温铂薄膜金属线210、四个引线焊盘220及对
应的铂浆料涂层和四根引线230。防护层300的外轮廓大于或等于陶瓷基片100，实现对陶瓷基片100的全覆盖。
[0026]本实施方式中，一根感温铂薄膜金属线210及其两端连接的引线焊盘220、以及对应的两根引线230电连通，构成一个温度敏感单元，实现信号传输。两个温度敏感单元可分别独立完成温度测量。
[0027]进一步，结合图1和图2所示，两根感温铂薄膜金属线210相对应的呈蛇形排布，并且之间等距设置。
[0028]本实施方式中，两根感温铂薄膜金属线210需要确保相互不接触，相互独立，从而实现消除电磁场、并抗电磁干扰的能力。
[0029]再进一步，所述两根感温铂薄膜金属线210之间的距离包括10～30μm。
[0030]再进一步，结合图2所示，两根感温铂薄膜金属线210加载电流的方向相反。
[0031]两根感温铂薄膜金属线210的设置形状相同，例如可设置成类似于方波信号的结构形式。通过在两根感温铂薄膜金属线210上加载相反方向的电流，使由电流产生的磁场相互抵消，增加热敏电阻器抗电磁干扰能力，使热敏电阻的测温精度得到提升。
[0032]作为示例，防护层300为陶瓷防护层或玻璃防护层。
[0033]本技术可实现强电磁场环境的温度高精度测量。
[0034]虽然在本文中参照了特定的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双余度铂薄膜热敏电阻器，其特征在于包括陶瓷基片(100)，双余度感温层(200)和防护层(300)，双余度感温层(200)设置在陶瓷基片(100)上，防护层(300)覆盖于双余度感温层(200)的上表面，并对陶瓷基片(100)全覆盖；所述双余度感温层(200)包括两根感温铂薄膜金属线(210)、四个引线焊盘(220)和四根引线(230)；四个引线焊盘(220)与陶瓷基片(100)的四角对应设置，相邻的一对引线焊盘(220)之间连接一根感温铂薄膜金属线(210)，另外一对相邻的引线焊盘(220)之间连接另一根感温铂薄膜金属线(210)；两根感温铂薄膜金属线(210)的排布形式相对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永超，王大兴，董萍萍，尹爽，刘懿辉，候彦杰，刘思梦，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：新型
国别省市：