一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构制造技术

本实用新型专利技术涉及蚀刻设备技术领域，尤其是一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，包括透明PVC视窗本体，所述透明PVC视窗本体的四角处均分别开设有安装孔，所述透明PVC视窗本体的内表面上粘接有胶层，所述胶层的四角处均分别开设有第一通口，所述透明PVC视窗本体的内表面上通过所述胶层粘接有透明耐酸膜，所述透明耐酸膜的四角处均分别开设有第二通口，四个所述安装孔、四个所述第一通口以及四个所述第二通口之间均分别对应连通。该新型喷淋式蚀刻机视窗结构大大降低喷淋蚀刻设备的视窗耗用量，并且方便人员对视窗结构进行表面的清洁和维护。

【技术实现步骤摘要】
一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构
本技术涉及蚀刻设备
，尤其涉及一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构。
技术介绍
现有减薄蚀刻工艺随着市场需求量增加，而日趋成熟。而现有蚀刻设备主要分为浸泡式蚀刻机和喷淋式蚀刻机(顶喷、侧喷、水平喷)等。现有的自动化程度及蚀刻液利用率来讲，喷淋式明显优于浸泡式设备而日趋主流。现有喷淋式蚀刻机为便于观察腔体内部运行状态，或多或少增加视窗结构。而现有之视窗结构基本是透明PVC材质组成，化学蚀刻反应物不易附着，但随着生产批次增加，视窗变得模糊不清，甚至无法观察。而现有的透明PVC的清洁方式刷洗或浸泡存在几项弊端如下，刷洗方式造成表面结构受损，更易附着化学反应物，降低使用寿命；浸泡方式需进行药液配置等，增加高昂的运营成本问题；选用带耐酸涂层(例如铁氟龙涂层)的透明PVC视窗，成本又极其高昂。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的现有喷淋式蚀刻机的视窗耗用量大、且不便于清洁和维护的缺点，而提出的一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：设计一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，包括透明PVC视窗本体，所述透明PVC视窗本体的四角处均分别开设有安装孔，所述透明PVC视窗本体的内表面上粘接有胶层，所述胶层的四角处均分别开设有第一通口，所述透明PVC视窗本体的内表面上通过所述胶层粘接有透明耐酸膜，所述透明耐酸膜的四角处均分别开设有第二通口，四个所述安装孔、四个所述第一通口以及四个所述第二通口之间均分别对应连通。优选的，所述透明PVC视窗本体的外表面上粘接有密封胶条，且所述密封胶条布置在所述透明PVC视窗本体外表面的边缘处，所述透明PVC视窗本体的外表面上通过所述密封胶条粘接有透明玻璃。优选的，所述透明玻璃的外表面上粘接有防油膜。优选的，所述透明耐酸膜为耐氢氟酸膜。优选的，所述胶层是厚度在50微米～100微米区间范围内的胶层结构。本技术提出的一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，有益效果在于：该新型喷淋式蚀刻机视窗结构可以大大降低了喷淋蚀刻设备的视窗耗用量，并且方便人员对视窗结构进行表面的清洁和维护。该视窗结构直接解决了喷淋蚀刻设备的视窗由来已久的设计弊端。附图说明图1为本技术提出的一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构的结构示意图。图2为图1中的部分结构仰视图。图中：透明PVC视窗本体1、安装孔11、胶层2、第一通口21、透明耐酸膜3、第二通口31、密封胶条4、透明玻璃5、防油膜6。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例1参照图1-2，一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，包括透明PVC视窗本体1，透明PVC视窗本体1的四角处均分别开设有安装孔11，透明PVC视窗本体1的内表面上粘接有胶层2，胶层2是厚度在50微米～100微米区间范围内的胶层结构，胶层2的四角处均分别开设有第一通口21，透明PVC视窗本体1的内表面上通过胶层2粘接有透明耐酸膜3，透明耐酸膜3为耐氢氟酸膜，透明耐酸膜3的四角处均分别开设有第二通口31，四个安装孔11、四个第一通口21以及四个第二通口31之间均分别对应连通。本产品在现有的喷淋式蚀刻设备视窗上贴附多层或者单层的透明耐酸膜3，现有耐酸膜工艺日趋成熟，且应用广泛，种类繁多。本文是选用耐氢氟酸为主，且胶层2厚度在(50um～100um)区间范围之卷材结构。选用透明耐酸膜，避免氢氟酸发生化学蚀刻反应，且无生产过程中化学反应物堆积，兼顾透明特性，完全可以满足视窗之目的要求。另本文为避免影响视窗透视效果，故选择胶层较薄之区间范围。耐酸膜与透明PVC视窗贴附作业，可人工作业，亦可通过覆膜机进行贴附。为确保贴附效果，建议采用设备作业。耐酸膜为卷材结构可采用不同幅宽尺寸，应用于各种形状之透明视窗。可进行单层贴附亦或者进行多层贴附，取决于透视效果。在喷淋式蚀刻设备进行维护清洁时，拆洗视窗或无需拆洗视窗，即撕除贴附之单层耐酸膜或者多层膜之表膜即可。在使用时，根据视窗的实际尺寸，选择适当宽幅之透明耐酸膜3；覆膜作业时，如手动作业，需采用滚轮作业避免气泡产生，影响透视效果；覆膜完成后，边角余料倒边切割即可。一般视窗结构采用螺丝结构固定在蚀刻设备，针对开孔位置，鉴于其非透视区域，可切割掉膜层无效区。多层结构重复上述动作即可。实施例2参照图1-2，作为本技术的另一优选实施例，与实施例1的区别在于，透明PVC视窗本体1的外表面上粘接有密封胶条4，且密封胶条4布置在透明PVC视窗本体1外表面的边缘处，透明PVC视窗本体1的外表面上通过密封胶条4粘接有透明玻璃5，通过密封胶条4和透明玻璃5的设置，透明玻璃5能够起到保护透明PVC视窗本体1的作用，可避免透明PVC视窗本体1受到外界的碰撞而受到损坏；密封胶条4能够起到防尘的效果，可防止外界灰尘粘附到透明PVC视窗本体1的外表面上。实施例3参照图1，作为本技术的另一优选实施例，与实施例2的区别在于，透明玻璃5的外表面上粘接有防油膜6，通过防油膜6的设置，能够有效地起到防油防污的作用，而且具备一定的防刮蹭的作用，可有效地对透明玻璃5进行防护。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，包括透明PVC视窗本体(1)，所述透明PVC视窗本体(1)的四角处均分别开设有安装孔(11)，其特征在于，所述透明PVC视窗本体(1)的内表面上粘接有胶层(2)，所述胶层(2)的四角处均分别开设有第一通口(21)，所述透明PVC视窗本体(1)的内表面上通过所述胶层(2)粘接有透明耐酸膜(3)，所述透明耐酸膜(3)的四角处均分别开设有第二通口(31)，四个所述安装孔(11)、四个所述第一通口(21)以及四个所述第二通口(31)之间均分别对应连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，包括透明PVC视窗本体(1)，所述透明PVC视窗本体(1)的四角处均分别开设有安装孔(11)，其特征在于，所述透明PVC视窗本体(1)的内表面上粘接有胶层(2)，所述胶层(2)的四角处均分别开设有第一通口(21)，所述透明PVC视窗本体(1)的内表面上通过所述胶层(2)粘接有透明耐酸膜(3)，所述透明耐酸膜(3)的四角处均分别开设有第二通口(31)，四个所述安装孔(11)、四个所述第一通口(21)以及四个所述第二通口(31)之间均分别对应连通。


2.根据权利要求1所述的一种新型喷淋式蚀刻机视窗结构，其特征在于，所述透明PVC视窗本体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕祥飞，
申请(专利权)人：惠晶显示科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32