石英坩埚制备用工作台制造技术

技术编号:28682062 阅读:16 留言:0更新日期:2021-06-02 03:00
本实用新型专利技术的石英坩埚制备用工作台包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对。

【技术实现步骤摘要】
石英坩埚制备用工作台
本技术涉及坩埚制备装置
,尤其涉及一种石英坩埚制备用工作台。
技术介绍
石英玻璃坩埚目前主要靠高温电弧法熔制,加热方式采用高温电弧加热,加热材料选用纯度较高的石墨电极加热。在石英坩埚熔制之前需要将高纯石英砂倒入模具内表面,并且通过一定的成型装置成型结束。然后将模具开入到熔融室内,启动电源,三根或者六根石墨电极之间相互放电,形成高温弧光加热石墨模具内表面的石英砂至融化状态,此时模具在一定转速下旋转,由于离心力的作用,保证模具内的呈融化状的石英砂不跌落。同时电极产生的高温弧光会将模具内表面的石英砂气化,气化后的石英蒸汽在模具上方的水冷板上方和电极上部未引弧的位置开始形成石英白灰,石英白灰粘结在水套的表面和电极的表面,达到一定厚度后会掉入到石英坩埚内表面,造成坩埚报废;同时石墨电极燃烧后杂质和灰分一部分会靠排风吸走,一部分也会掉入石英坩埚内表面,造成坩埚内表面产生黑点,并且降低石英坩埚内表面的纯度。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种石英坩埚制备用工作台,以降低坩埚制备过程中,坩埚内表面石英蒸汽灰和电极废灰的污染,提高弧光和功率的稳定性以及石英坩埚内表面气泡品质的一致性。一种石英坩埚制备用工作台包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,以通过驱动气缸伸缩带动气体分散器转动角度,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对,以向外界的石墨电极吹气。优选的,所述气体分散器包括两个圆筒状的气体分散管、连接杆,两个气体分散管在竖直方向上平行设置,两个气体分散管的间隙为10-40毫米,气体分散管上设有第一连接支座,第一连接支座上设有转轴,连接杆的两端设有通孔,连接杆上的通孔与第一连接支座上的转轴套设连接且间隙配合,以在驱动气缸的带动下同步转动,气体分散管上还设有进气口,以将压缩空气通入气体分散管,气体分散口位于气体分散管上,以将压缩空气分散排出。优选的,所述其中一个气体分散管上还设有第二连接支座,第二连接支座和驱动气缸的伸缩杆设有销孔,第二连接支座与驱动气缸的伸缩杆销接。优选的,气体分散口呈长条状,进气口设置在与气体分散口背离的一侧。优选的,所述气体分散器的两端设有转轴,相应的,在高纯水冷箱的侧壁上设有安装孔,气体分散器的转轴与高纯水冷箱的安装孔套设连接且间隙配合。优选的,所述气体分散口的宽度为0.5-1毫米。优选的,所述排气装置包括负压风机、排气盒体,所述负压风机与排气盒体连通,排气盒体与吹气装置相正对,且排气盒体与吹气装置相正对的一侧敞开,以将带有石英砂蒸汽的气体排出,所述排气盒体的侧壁还设有水冷夹层,以对排气盒体进行降温。有益效果:本技术的石英坩埚制备用工作台包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,以通过驱动气缸伸缩带动气体分散器转动角度,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对,以向外界的石英坩埚吹气。通过吹气装置向石墨电极吹气,能够防止石墨电极工作过程中产生的杂质附着在石墨电极上,保证了石墨电极的弧光和功率的稳定性。附图说明图1为本技术的石英坩埚制备用工作台的结构示意图。图2为本技术的吹气装置的结构示意图。图3为本技术的高纯水冷箱。图4为本技术的气体分散管的立体结构示意图。图5为本技术的气体分散管的前视图。图中:石英坩埚制备用工作台10、操作台20、吹气装置30、高纯水冷箱301、驱动气缸302、气体分散器303、气体分散管3031、气体分散口30311、第一连接支座30312、第二连接支座30313、连接杆3032、排气装置40。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。请参看图1至图5,一种石英坩埚制备用工作台10包括操作台20、吹气装置30、排气装置40,所述操作台20的上端与吹气装置30、排气装置40固定连接,吹气装置30和排气装置40位于操作台20的两侧,操作台20的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置30包括高纯水冷箱301、驱动气缸302、气体分散器303,所述高纯水冷箱301设有水冷夹层,以对吹气装置30进行降温,驱动气缸302、气体分散器303位于高纯水冷箱301中,驱动气缸302的伸缩端与气体分散器303铰接,以通过驱动气缸302伸缩带动气体分散器303转动角度,气体分散器303的两端架设在高纯水冷箱301的两侧,且与高纯水冷箱301转动连接,所述高纯水冷箱301的前侧设有气体出口,气体分散器303与高纯水冷箱301的气体出口相邻,气体分散器303上设有气体分散口30311,气体分散口30311与高纯水冷箱301上的气体出口相正对,以向外界的石墨电极吹气。进一步的,所述气体分散器303包括两个圆筒状的气体分散管3031、连接杆3032,两个气体分散管3031在竖直方向上平行设置,两个气体分散管3031的间隙为10-40毫米,气体分散管3031上设有第一连接支座30312,第一连接支座30312上设有转轴,连接杆3032的两端设有通孔,连接杆3032上的通孔与第一连接支座30312上的转轴套设连接且间隙配合,以在驱动气缸302的带动下同步转动,气体分散管3031上还设有进气口,以将压缩空气通入气体分散管3031,气体分散口30311位于气体分散管3031上,以将压缩空气分散排出。在驱动气缸302的作用下,气体分散管3031在一定角度范围内转动,从而将石墨电极上一定范围内的杂质吹除。在一较佳实施方式中,气体分散管3031的摆动角度与水平面的夹角为2-5度,以保证电极端部以上60-180毫米内的石英蒸汽灰尘和电极灰尘不粘结。进一步的,所述其中一个气体分散管3031上还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英坩埚制备用工作台,其特征在于:包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,以通过驱动气缸伸缩带动气体分散器转动角度,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对,以向外界的石墨电极吹气。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚制备用工作台,其特征在于:包括操作台、吹气装置、排气装置,所述操作台的上端与吹气装置、排气装置固定连接,吹气装置和排气装置位于操作台的两侧,操作台的中间设有熔融室,以放置盛有石英坩埚的模具,所述吹气装置包括高纯水冷箱、驱动气缸、气体分散器,所述高纯水冷箱设有水冷夹层,以对吹气装置进行降温,驱动气缸、气体分散器位于高纯水冷箱中,驱动气缸的伸缩端与气体分散器铰接,以通过驱动气缸伸缩带动气体分散器转动角度,气体分散器的两端架设在高纯水冷箱的两侧,且与高纯水冷箱转动连接,所述高纯水冷箱的前侧设有气体出口,气体分散器与高纯水冷箱的气体出口相邻,气体分散器上设有气体分散口,气体分散口与高纯水冷箱上的气体出口相正对,以向外界的石墨电极吹气。


2.如权利要求1所述的石英坩埚制备用工作台,其特征在于:所述气体分散器包括两个圆筒状的气体分散管、连接杆,两个气体分散管在竖直方向上平行设置,两个气体分散管的间隙为10-40毫米,气体分散管上设有第一连接支座,第一连接支座上设有转轴,连接杆的两端设有通孔,连接杆上的通孔与第一连接支座上的转轴套设连接且间隙配合,以在驱动气缸的带动下同步转动,气体分散管上还设有进...

【专利技术属性】
技术研发人员:何玉鹏李卫李常国邓红王建军
申请(专利权)人:宁夏富乐德石英材料有限公司
类型:新型
国别省市:宁夏;64

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