真空炉及石英玻璃制备方法技术

一种石英玻璃制备方法，包括步骤：提供多个石英锭以及真空炉。将所述石英锭容置于所述容置槽内，以及通过所述真空发生装置将所述腔体内的空气抽出，使所述腔体具有一真空度。启动所述底板加热件，所述底板加热件以第一升温速率将所述底板升温至第一温度，以及启动所述侧板加热件，所述侧板加热件以第二升温速率将所述侧板升温至所述第一温度，所述第一升温速率大于所述第二升温速率。保温熔化所述石英锭，退火以获得石英玻璃，所述石英玻璃的光学均匀性<1.5×10

【技术实现步骤摘要】
真空炉及石英玻璃制备方法
本专利技术涉及材料制备
，特别是指一种真空炉及石英玻璃制备方法。
技术介绍
石英玻璃的制备方法主要有电熔、气熔、化学气相沉积和等离子气相沉积等一步合成法，而一步合成法只能制备出以下的石英柱，一般情况下，需要再次融化多块石英锭才能获得大块的石英玻璃，但是，再次融化后得到的石英玻璃容易出现气泡，条纹等，导致光学均匀性较差。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种石英玻璃制备方法，所述石英玻璃制备方法可以制备获得大尺寸、高均匀性的石英玻璃。另，本专利技术还提供一种用于制备上述大尺寸、高均匀性的石英玻璃的真空炉。一种真空炉，所述真空炉包括壳体、模具、加热体及真空发生装置，所述壳体具有中空的腔体，所述模具及所述加热体容置于所述腔体，所述真空发生装置与所述腔体连通。所述壳体包括第一壳层、第二壳层及储热介质，所述第一壳层套设于所述第二壳层的外侧，所述第一壳层与所述第二壳层具有间隙，所述储热介质收容于所述间隙内。所述模具包括底板及侧板，所述侧板围设于所述底板周围以形成容置槽，所述加热体包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空炉，其特征在于，所述真空炉包括壳体、模具、加热体及真空发生装置，所述壳体具有中空的腔体，所述模具及所述加热体容置于所述腔体，所述真空发生装置与所述腔体连通；/n所述壳体包括第一壳层、第二壳层及储热介质，所述第一壳层套设于所述第二壳层的外侧，所述第一壳层与所述第二壳层具有间隙，所述储热介质收容于所述间隙内，/n所述模具包括底板及侧板，所述侧板围设于所述底板周围以形成容置槽，所述加热体包括相互独立的底板加热件及侧板加热件，所述底板加热件设置于所述底板背离所述容置槽的一侧，所述侧板加热件设置于所述侧板背离所述容置槽的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空炉，其特征在于，所述真空炉包括壳体、模具、加热体及真空发生装置，所述壳体具有中空的腔体，所述模具及所述加热体容置于所述腔体，所述真空发生装置与所述腔体连通；
所述壳体包括第一壳层、第二壳层及储热介质，所述第一壳层套设于所述第二壳层的外侧，所述第一壳层与所述第二壳层具有间隙，所述储热介质收容于所述间隙内，
所述模具包括底板及侧板，所述侧板围设于所述底板周围以形成容置槽，所述加热体包括相互独立的底板加热件及侧板加热件，所述底板加热件设置于所述底板背离所述容置槽的一侧，所述侧板加热件设置于所述侧板背离所述容置槽的一侧。


2.如权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述真空炉还包括绝热层，所述绝热层设置于所述第二壳层背离所述间隙的一侧。


3.如权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述模具还包括石墨纸，所述石墨纸设置于所述底板及所述侧板朝向所述容置槽的一侧。


4.如权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述模具还包括多个温度传感器，所述温度传感器分别用于感测所述底板及所述侧板的温度。


5.如权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述第一壳层及第二壳层的材质为不锈钢。


6.一种石英玻璃制备方法，其特征在于，包括步骤：
提供多个石英锭以及如权利要求1至5中任意一项所述的真空炉；
将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛钦，刘颖，王蒙非，汤明明，赵海伦，钱宜刚，沈一春，陈娅丽，
申请(专利权)人：中天科技精密材料有限公司，江苏中天科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32