【技术实现步骤摘要】
一种五轴真空位移台
本专利技术涉及真空设备领域，特别是位移台。
技术介绍
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，但是要求在大气侧操作控制真空环境样品，目前的设备都是局限于X、Y、Z三个方向的精确控制，在实际操作过程中，由于观察、检测角度的限制，还需要对样片进行一定的转动和偏斜，现在还却反这种社诶。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述不足问题，提供一种五轴真空位移台，结构简单，操作简便，三维运动顺畅,同时具备一定的转动和偏转调节能力。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，波纹管内部设置有主轴，主轴上端X向位移板、Y向位移板、及旋转调整装置连接，主轴下端与样品台上端连接；主轴内部为中空，内部设置有辅助轴，其上端与偏转调整装置连接，下端连接样品台内样品架。所述主轴与旋转调节装置、位移板的中心是一条直线。所述法兰盘与压板之间装有导向杆，导向杆平行于Z向调整螺杆。所述X向和Y向调整装置为微分头轴套装在限位块轴孔中，微分头轴和限位块分别安装在相邻的位移板上。所述X向位移...
【技术保护点】
1.一种五轴真空位移台，其特征是：X向位移板与 Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，波纹管内部设置有主轴，主轴上端X向位移板、 Y向位移板、及旋转调整装置连接，主轴下端与样品台上端连接；主轴内部为中空，内部设置有辅助轴，其上端与偏转调整装置连接，下端连接样品台内样品架。/n
【技术特征摘要】
1.一种五轴真空位移台，其特征是：X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，波纹管内部设置有主轴，主轴上端X向位移板、Y向位移板、及旋转调整装置连接，主轴下端与样品台上端连接；主轴内部为中空，内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：董国材，张祥，梁枫，张金龙，
申请(专利权)人：国成仪器常州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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