具有粒子消除功能的ICP-MS制造技术

本发明专利技术提供了具有粒子消除功能的ICP‑MS，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。本发明专利技术具有工作性能好等优点。

【技术实现步骤摘要】
具有粒子消除功能的ICP-MS
本专利技术涉及质谱仪，特别涉及具有粒子消除功能的ICP-MS及其工作方法。
技术介绍
四极杆质谱仪是一种常用的高端精密分析仪器。在质谱中，常见的是通过电场(电位)来调节离子束偏转和聚焦来实现不同入射能量的离子束以合理的偏转角度飞行。而传统的离子光学系统设计只注重将发散的离子束进行引导、聚焦引入质谱，而很少有人关注过光子、中性离子对四极杆传输效率的影响。当前市面上的四极杆质谱系统，都会引入离轴偏转透镜，来消除光子、中性粒子的干扰，对于中性粒子的排除也没有特别采取手段来解决，只是通过足够抽速的分子泵来保证器件该有的真空度。目前未有人考虑过中性粒子的弥散对四极杆质谱系统造成传输效率差、真空腔器件容易污染的影响。
技术实现思路
为解决上述现有技术方案中的不足，本专利技术提供了一种具有粒子消除功能的ICP-MS。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：具有粒子消除功能的ICP-MS，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括炬管、采样锥和真空腔；所述具有粒子消除功能的ICP-MS还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.具有粒子消除功能的ICP-MS，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括炬管、采样锥和真空腔；其特征在于，所述具有粒子消除功能的ICP-MS还包括：/n离子偏转透镜组，所述离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；/n腔室，所述腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；/n泵，所述泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。/n

【技术特征摘要】
1.具有粒子消除功能的ICP-MS，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括炬管、采样锥和真空腔；其特征在于，所述具有粒子消除功能的ICP-MS还包括：
离子偏转透镜组，所述离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；
腔室，所述腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；
泵，所述泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。


2.根据权利要求1所述的具有粒子消除功能的ICP-MS，其特征在于，所述第一室内被隔离件隔离为第一部分和第二部分，所述离子偏转透镜组设置在所述第一部分内；所述隔离件具有第一通孔，所述气体出口设置在所述第二部分上。


3.根据权利要求1所述的具有粒子消除功能的ICP-MS，其特征在于，所述具有粒子消除功能的ICP-MS还包括：
所述腔室具有侧门以及位置相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁分别具有导轨，所述导轨具有限位件；所述炬管竖直地设置在所述腔室内；
散热模块，所述散热模块上固定所述采样锥，所述炬管处于所述采样锥的下侧；
承载件，所述承载件的相对的两侧处于所述导轨上，所述散热模块设置在所述承载件上；所述承载件的上侧与所述真空腔连接并密封；所述导轨的延伸方向与所述采样锥的中心轴线垂直；
滑动件，所述滑动件的两端处于所述导轨上，所述承载件可转动地固定在所述滑动件上，转轴垂直于所述滑动件。


4...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈悠，俞晓峰，李明，尹伊君，徐岳，金振弘，韩双来，
申请(专利权)人：杭州谱育科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33