一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统，包括：检测软件、图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器、CCD摄像机、信号采集适配器、任意波形发生器。所述检测软件与所述图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器相连接，所述图像分析与测量模块与所述检测软件互相连接，所述GPLB仪器与所述检测软件互相连接。本发明专利技术是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS检测系统,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量。因采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度。应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,检测简便,有较好的工程应用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统
本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统。
技术介绍
近年来，随着MEMS的迅猛发展，对其检测系统提出了很高的要求,MEMS器件除了电子系统外还包含了非电子系统,对MEMS除了进行相关的电子学检测外,还应包括微机械结构和形貌检测、微机械力学与动态特性检测、微机械光学特性检测等,因此MEMS的检测要比集成电路的检测更为复杂。MEMS检测系统对精密光学制造、高精度的光电传感器、精密机械的加工、精细控制、微弱信号的变换与检测等提出来很高的要求。MEMS测试技术的研究在国际上已引起了高度重视,针对不同的MEMS器件和应用目的,已经研制开发出一些有实用价值的测试仪器,如美国UCBerkeley大学BSAC研究中心研制的MEMS动态特性测试仪[1],MIT的Freeman教授领导的研究小组研制的基于计算机视觉的MEMS测试系统[2],美国Sandian国家实验室研制的MEMS器件可靠性测试系统[3]等；国外一些公司正在研制开发集成化的MEMS综合测试系统,如ETEC公司的M/SteP本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，包括：检测软件、图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器、CCD摄像机、信号采集适配器、任意波形发生器。所述检测软件与所述图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器相连接，所述图像分析与测量模块与所述检测软件互相连接，所述GPIB仪器与所述检测软件互相连接。所述CCD摄像机与所述图像采集模块相连接，所述信号采集适配器与数据采集与处理模块相连接，所述任意波形发生器与所述GPIB仪器相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，包括：检测软件、图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器、CCD摄像机、信号采集适配器、任意波形发生器。所述检测软件与所述图像采集模块、图像分析与测量模块、数据采集与处理模块、GPIB仪器相连接，所述图像分析与测量模块与所述检测软件互相连接，所述GPIB仪器与所述检测软件互相连接。所述CCD摄像机与所述图像采集模块相连接，所述信号采集适配器与数据采集与处理模块相连接，所述任意波形发生器与所述GPIB仪器相连接。


2.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测软件对检测的环境、激励、被测器件的供电进行控制,通过GPIB总线完成相关仪器的控制,实现测控的集成化和自动化。


3.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在于，所述检测软件通过信号采集适配器完成对不同MEMS器件各种被测信号的调理,使其满足信号采集的要求。


4.根据权利要求1所述的基于双轴mems微镜的视觉检测系统，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦毅，郭芳，王福杰，任斌，姜鸣，胡耀华，姚智伟，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：发明
国别省市：广东;44