张网装置及张网方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种张网装置及张网方法，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明专利技术通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。

【技术实现步骤摘要】
张网装置及张网方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种张网装置及张网方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点，逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。在OLED显示面板的生产中，用于将有机发光材料蒸镀到显示基板上的精细金属掩模板(FineMetalMask，FMM)是OLED显示面板生产过程中的重要器件。通常情况下，一套FMM包括：支撑框架、支撑掩膜条和多条FMM条，FMM一般采用张网技术制作，张网过程就是将支撑掩膜条和FMM条焊接到支撑框架上的过程，由于每焊接一条FMM条时，该FMM条会对支撑框架产生一定的拉伸力(英文：StretchForce，简称：SF)，该拉伸力会造成支撑框架发生形变从而导致最终形成的整个FMM的变形。为了平衡这一拉伸力，通常在焊接过程中会对支撑框架施加一定的对抗力(CounterForce，CF)。目前，采用张网装置来对焊接过程中的支撑框架施加CF，现有的张网装置包括多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，其特征在于，包括：/n两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；/n所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。/n

【技术特征摘要】
1.一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，其特征在于，包括：
两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；
所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。


2.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述第一侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及所述第二侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为相对位置测量单元。


3.如权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述绝对位置测量单元包括绝对光栅尺或干涉仪，所述相对位置测量单元包括相对编码器。


4.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。


5.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，以夹持或释放所述支撑框架。


6.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述丝杆单元用于连接所述驱动单元及所述夹持组件，以将所述驱动单元的旋转运动转换为所述夹持组件的直线运动。


7.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件还包括缓冲单元，所述驱动单元及所述丝杆单元通过所述缓冲单元连接。


8.如权利要求7所述的张网装置，其特征在于，所述缓冲单元包括弹簧。


9.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述丝杆单元及所述夹持组件之间设置有力传感器。


10.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述夹持组件设置于一直线导轨上，并能够沿所述直线导轨移动。


11.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，所述预夹持结构通过夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。


12.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，所述供气结构用于形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。


13.一种如权利要求1-12中任一项所述的张网装置的张网方法，其特征在于，包括：
将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架；
将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架；
将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至压迫所述支撑框架并使所述支撑框架沿设定方向形变；
将两对定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架。


14.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡聪，肖起康，廖飞红，李新振，谢洋，董浩，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31