一种基于MEMS层叠式滤波器制造技术

本实用新型专利技术属于滤波器领域，尤其是一种基于MEMS层叠式滤波器，针对现有的多层滤波器之间有效距离过小，结构稳定性不足，拆装难度大的问题，现提出如下方案，其包括上层滤板，中层滤板和底层滤板，所述上层滤板、中层滤板和底层滤板从上向下设置，所述上层滤板和中层滤板的底部均开设有多个伸缩槽，伸缩槽内滑动安装有限位杆，限位杆的底端延伸出伸缩槽且固定安装有限位块，所述上层滤板和中层滤板的一侧均开设有转动槽，本实用新型专利技术结构简单，使用方便，通过限位杆和限位槽等结构，大大增加了滤波器的稳定性，同时减少了滤波器的总体积，降低了拆装难度，满足了人们的使用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS层叠式滤波器
本技术涉及滤波器
，尤其涉及一种基于MEMS层叠式滤波器。
技术介绍
微波滤波器设计要求体积小、插损小、带外抑制要高、阻抗匹配特性要好。同时也要求能低成本、批量生产。微波滤波器的种类主要有集总元件(电感、电容)形式、分布传输线式、陶瓷、腔体式等。在卫星、通信以及航空、航天等系统中要求电子系统体积小、可靠性高和成本低，在采用了大规模集成电路的今天，微波滤波器等无源元件的集成就成了系统的瓶颈。申请号为CN200610098168.6的专利公开了一种基于MEMS技术的层叠式滤波器，增强阻带衰减特性。各个介质层的厚度控制、介质层上图形以及多层间的对准、装配均通过MEMS(微电子机械系统)微加工工艺形成，实现高精度，易集成、可批量生产等特点，但是，依然有着多层滤波器之间有效距离过小，结构稳定性不足，拆装难度大的缺点，不能满足人们的使用需求。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在多层滤波器之间有效距离过小，结构稳定性不足，拆装难度大的缺点，而提出的一种基于MEMS层叠式滤波器。...

【技术保护点】
1.一种基于MEMS层叠式滤波器，包括上层滤板(1)，中层滤板(2)和底层滤板(3)，其特征在于，所述上层滤板(1)、中层滤板(2)和底层滤板(3)从上向下设置，所述上层滤板(1)和中层滤板(2)的底部均开设有多个伸缩槽(8)，伸缩槽(8)内滑动安装有限位杆(4)，限位杆(4)的底端延伸出伸缩槽(8)且固定安装有限位块(5)，所述上层滤板(1)和中层滤板(2)的一侧均开设有转动槽(9)，所述转动槽(9)与伸缩槽(8)相连通，转动槽(9)内滑动安装有滑动杆(10)，所述中层滤板(2)和底层滤板(3)的顶部均开设有限位槽(6)，限位槽(6)的一侧内壁底部开设有扇形卡槽(7)，所述限位杆(4)和限位...

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS层叠式滤波器，包括上层滤板(1)，中层滤板(2)和底层滤板(3)，其特征在于，所述上层滤板(1)、中层滤板(2)和底层滤板(3)从上向下设置，所述上层滤板(1)和中层滤板(2)的底部均开设有多个伸缩槽(8)，伸缩槽(8)内滑动安装有限位杆(4)，限位杆(4)的底端延伸出伸缩槽(8)且固定安装有限位块(5)，所述上层滤板(1)和中层滤板(2)的一侧均开设有转动槽(9)，所述转动槽(9)与伸缩槽(8)相连通，转动槽(9)内滑动安装有滑动杆(10)，所述中层滤板(2)和底层滤板(3)的顶部均开设有限位槽(6)，限位槽(6)的一侧内壁底部开设有扇形卡槽(7)，所述限位杆(4)和限位块(5)与限位槽(6)和扇形卡槽(7)相适配。


2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS层叠式滤波器，其特征在于，所述限位杆(4)位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏美莲，
申请(专利权)人：云想软件技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44