【技术实现步骤摘要】
一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法
本专利技术涉及微型光谱仪模组，尤其是涉及一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法。
技术介绍
光谱仪是一种非常重要的光学仪器。光谱仪工作原理的核心在于其分光技术。现行常见的光谱仪概括来说有两类：一类是以光栅光谱仪为代表的色散分光型；另一类是以基于干涉仪的傅里叶变换光谱仪为代表的调制型。实验室级别的专业型光谱仪一般都体积较大、价格昂贵，其整体性能往往伴随着仪器尺寸的缩小而减弱。近年来，随着信息技术的发展、生产生活智能化、和人们对食品安全、环境污染、医疗健康等需求的增长，微型光谱仪模组受到关注。其应用目标向作为智能化设备和消费类电子产品(如智能手机和可穿戴设备等)的传感组件的运用来发展。其中，基于滤光器阵列结构来实现微型光谱仪模组是一个重要途径。这种微型光谱仪模组是将通过滤光器阵列中各个滤光器单元的透射光照射在探测器阵列中相应的探测器单元上进行光电转换，然后再通过后端数据处理来获取光谱。根据其滤光器阵列结构的不同，举例如下：如滤光器阵列是基于具有不同腔...
【技术保护点】
1.一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：微型光谱仪模组包括微腔阵列和探测器阵列，微腔阵列中设置多个微腔单元，每个微腔单元具有以金属薄膜为反射层的Fabry-Perot结构，不同的微腔单元具有不同的腔内介质层厚度；/n微腔阵列的制备中，不同厚度的腔内介质层材料的薄膜淀积次数少于微腔阵列中具有不同厚度的腔内介质层的微腔单元的数目；/n所述的探测器阵列由其固有的多个探测器单位像素构成，探测器阵列被规划为具有多个探测器单元，每个探测器单元包含有一个或多个探测器单位像素；所述的微腔阵列中的各个微腔单元分别与探测器阵列中的各个探测器单元相对应；/n微型光谱仪模组...
【技术特征摘要】
20201013 CN 20201108978371.一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：微型光谱仪模组包括微腔阵列和探测器阵列，微腔阵列中设置多个微腔单元，每个微腔单元具有以金属薄膜为反射层的Fabry-Perot结构，不同的微腔单元具有不同的腔内介质层厚度；
微腔阵列的制备中，不同厚度的腔内介质层材料的薄膜淀积次数少于微腔阵列中具有不同厚度的腔内介质层的微腔单元的数目；
所述的探测器阵列由其固有的多个探测器单位像素构成，探测器阵列被规划为具有多个探测器单元，每个探测器单元包含有一个或多个探测器单位像素；所述的微腔阵列中的各个微腔单元分别与探测器阵列中的各个探测器单元相对应；
微型光谱仪模组在使用前利用校准光源为波长可调的准单色光的预置校准测试系统进行预置校准，在使用过程中基于预置校准信息和光谱重构计算来获取光谱。
2.如权利要求1所述的一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：所述的微型光谱仪模组通过与其相匹配的信号处理系统、控制系统和输入/输出终端等外围设备结合进行光谱的测试和获取；微型光谱仪模组可以与该外围设备集成于一体，或独立设置并通过与外围设备间的信号传输来配套使用。
3.如权利要求1所述的一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：微腔阵列中的各个微腔单元之间相互连接或相互隔离；微腔阵列中的各个微腔单元以规则或不规则方式排列；微腔阵列中的各个微腔单元形状是规则或不规则形状。
4.如权利要求1所述的一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：其中的校准光源为由多个具有不同波长的准单色光源构成的波长可调的准单色光源，或为通过调谐内部谐振腔参数来实现具有不同波长的准单色光输出的光源。
5.如权利要求1所述的一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：其中的校准光源为基于宽带光源、用可调单色仪或可调滤光器来获得具有不同波长的准单色光。
6.如权利要求1所述的一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，其特征在于：所述的基于预置校准和光谱重构计算来获取光谱的方法为：
设所用光谱分析模...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙志军，
申请(专利权)人：厦门脉驰科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。