用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置制造方法及图纸

技术编号:28544890 阅读:32 留言:0更新日期:2021-05-25 17:34
本发明专利技术提供了一种用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置,该装置包括缸体、砝码、膜片、限位片、丝杆、滚珠轴承、缸盖以及反射镜组件,所述缸体侧面设置一个通孔,用于进出液压油液;限位片、滚动膜片和砝码通过螺栓连接,砝码中心位置从上到下依次设置直径分别为φ10和φ6的盲孔,滚珠轴承放置于直径为φ10的盲孔内,滚珠轴承与丝杆相配合,所述丝杆末端设置限位块,放置于砝码直径为φ6的盲孔内;缸盖中心位置设置与丝杆中间位置配合的内螺纹,内部设置凸台,对限位片进行限位;所述反射镜组件包括反射镜和弹簧,弹簧粘接于反射镜支撑孔内;该装置密封性较好、具有较高的支撑轴向刚度、检测状态下丝杆可以将轴向位移转化为弹簧的输出力对镜面进行主动校正,提高光学加工支撑精度。

【技术实现步骤摘要】
用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置
本专利技术属于静压支撑
,具体涉及一种用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置。
技术介绍
光机结构相当于望远镜系统的骨架,其功能是保持各镜面、功能模块的位置和形状,确保系统满足衍射极限成像精度要求,望远镜研制的核心难点之一,就是保证其中口径最大的主镜镜面的精度,在制造技术日趋成熟、检测水平不断提高的今天,镜面加工的支撑稳定性已经成为制约光学加工精度和效率提升的瓶颈,静压支撑在光学加工时控制静压缸内的支撑力实现对被加工光学元件的支撑,但现如今依然存在结构复杂、定位性能差以及轴向刚度较差等问题,检测状态下需要通过支撑系统的轴向位置变化来控制镜体姿态,并且需要对反射镜施加主动校正力来控制面形精度。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置,其目的在于解决现有静压支撑装置结构复杂,轴向刚度不足,定位性能差等问题,支撑大口径反射镜时可通过丝杆的位移转化为弹簧的支撑力,对面型进行校正以及控制镜体姿态;本专利技术提供一种用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置,其特征在于,该装置包括缸体1,滚动膜片2,缸盖3,砝码4,限位片5,滚珠轴承6,丝堵7,丝杆8,限位块9,弹簧10,反射镜11,所述的缸体1安装在反射镜加工基座上,滚动膜片2的边缘区域的两侧分别与缸体1、缸盖3螺栓连接,滚动膜片2的中心区域的两侧分别与砝码4、限位片5螺栓连接,滚动膜片2、砝码4、限位片5的相应位置分别设置一个φ1的排气孔,限位片5的排气孔上设置一个φ5的螺纹盲孔,丝堵7与螺纹盲孔配合,通过松紧循环排出缸体内的气泡。/n

【技术特征摘要】
1.用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置,其特征在于,该装置包括缸体1,滚动膜片2,缸盖3,砝码4,限位片5,滚珠轴承6,丝堵7,丝杆8,限位块9,弹簧10,反射镜11,所述的缸体1安装在反射镜加工基座上,滚动膜片2的边缘区域的两侧分别与缸体1、缸盖3螺栓连接,滚动膜片2的中心区域的两侧分别与砝码4、限位片5螺栓连接,滚动膜片2、砝码4、限位片5的相应位置分别设置一个φ1的排气孔,限位片5的排气孔上设置一个φ5的螺纹盲孔,丝堵7与螺纹盲孔配合,通过松紧循环排出缸体内的气泡。


2.根据权利要求1所述的用于加工和检测光学反射镜的丝杆支撑装置,其特征在于,所述砝码4由上至下依次设置两个直径分别为φ10和φ6的盲孔,所述滚珠轴承6放置于直径为φ10的...

【专利技术属性】
技术研发人员:关英俊江昱含胡海飞董得义
申请(专利权)人:长春工业大学
类型:发明
国别省市:吉林;22

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