一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；MEMS摩阻传感器自动封装设备能够有效提高MEMS摩阻传感器组装、封装的一致性和精度，进而提升高超声速风洞模型表面摩阻测量试验的精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备
本专利技术涉及微机电系统中的MEMS传感器封装
，具体涉及一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备。
技术介绍
MEMS摩阻传感器主要用于测量飞行器表面的摩擦阻力，进而确定飞行器表面摩擦阻力的大小和分布情况，对飞行器设计具有重要意义。传统的表面摩擦阻力测试器件主要是微量应变式摩阻天平，但其受灵敏度、温度、体积和成本等因素限制，难以在飞行器设计领域广泛应用。以微机电系统技术为基础的MEMS摩阻传感器具有体积小、成本低、可靠性高等突出优点，能够广泛应用于飞行器设计等领域。2014年，专利技术人设计一款立体结构的MEMS摩阻传感器(一种微机械摩阻传感器及制作方法，专利号201418003582.X,2017.07.)，其浮动元件通过支杆与带有敏感电容元件的弹性梁结构连接，浮动元件感受到的表面摩擦阻力通过支杆传递给弹性梁结构，驱动弹性梁两侧的敏感电容振动极板发生偏转，两侧敏感电容差分即可解算出测量的表面摩擦阻力；样机静态校准和高超声速风洞验证试验的结果表明，该MEMS摩阻传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，其特征在于：包括设备机架、多轴精密运动模组、视觉定位模块、自动点胶模块、定位与吸附模块和运动控制模块；/n所述设备机架包括机架底座、机架底板、支板架和机架外壳；/n所述多轴精密运动模组包括X轴底座、X轴导轨、X轴滑块、Y轴底座、Y轴导轨、Y轴滑块、Z轴导轨、Z轴滑块、U轴滑块、U轴导轨和拖链，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；/n所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述...

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉定位技术的MEMS摩阻传感器自动封装设备，其特征在于：包括设备机架、多轴精密运动模组、视觉定位模块、自动点胶模块、定位与吸附模块和运动控制模块；
所述设备机架包括机架底座、机架底板、支板架和机架外壳；
所述多轴精密运动模组包括X轴底座、X轴导轨、X轴滑块、Y轴底座、Y轴导轨、Y轴滑块、Z轴导轨、Z轴滑块、U轴滑块、U轴导轨和拖链，所述X轴底座固定在机架底板顶部，所述X轴导轨和X轴滑块固定在X轴底座上，所述X轴滑块的顶部与Y轴底座的底部固定连接；
所述视觉定位模块包括上相机安装板、上视觉相机、上光源、下相机安装板、下视觉相机和下光源，所述上相机安装板与U轴滑块固定连接，所述上视觉相机和上光源固定安装在上相机安装板的外侧，所述下相机安装板固定安装在机架底板上；
所述自动点胶模块包括自动点胶机、点胶针筒、自动复位组件和磁性工装底板，所述自动点胶机固定在支板架顶部，所述点胶针筒与U轴滑块固定连接，所述磁性工装底板与Y轴滑块固定连接；
所述定位与吸附模块包括吸附安装板、真空吸附组件、吸头、第一精密定位治具和第二精密定位治具，所述吸附安装板固定在Z轴滑块上，所述吸附安装板与真空吸附组件固定连接，所述真空吸附组件与吸头连接；
所述运动控制模块包括工控机、急停开关、触觉显示屏、键盘和鼠标。


2.如权利要求1所述的基于视觉定位技术的M...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雄，陈立国，朱涛，薛立伟，许晓斌，贾玉蝶，王南天，
申请(专利权)人：中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51