【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置及其处理方法
本专利技术属于废气处理
，特别涉及一种废气处理装置及其处理方法。
技术介绍
众所周知，在半导体晶圆厂、光电厂、面板厂、太阳能厂于产制例如是晶圆或是各式面板等产品的过程中，有时会生成有害的废气。例如：以半导体晶圆厂来说，其制作过程中所生成的有害废气包含有单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro－compounds))等，在处理含有上述气体的废气时，一般是使用湿式法、吸附法、加热分解法及燃烧法等4种方法。其中，加热分解法是指在废气处理槽内设置加热器，而加热器在废气处理槽内形成一加热腔室，当有害废气进入废气处理槽内到达加热腔室时，通过加热器以热辐射的方式加热有害废气，迫使有害废气中所含有害物质接受高温催化，而分解成无害物质；而湿式法是指使有害废气通过设置有多个洒水器的水洗室，凭借洒水器所喷洒的水幕与有害废气接触，将有害废气中所含可溶于水的有害物质加以溶解，以达到净化有害废气的效果；至于燃烧法是指利用火焰燃烧有害废气，以达到净化有害废气的效果，由于用来提供...
【技术保护点】
1.一种废气处理装置，包括处理通道（1）和安装在其一端的进入管（2），其特征在于：所述处理通道（1）内侧中部竖直设置有隔板（3），隔板（3）将处理通道（1）分为加热室（101）和喷淋室（102），隔板（3）侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔（31）；所述隔板（3）远离喷淋室（102）的一面上安装有电机（4），电机（4）的输出轴端部安装有偏转装置（5），其中，/n所述偏转装置（5）包括中间轴（51），所述中间轴（51）外侧套接有轴承，轴承前后侧均固定连接有固定杆，固定杆端部固定连接在加热室（101）内壁上；所述中间轴（51）两端均固定连接有方形筒（52），且其中一个方形筒（5...
【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，包括处理通道（1）和安装在其一端的进入管（2），其特征在于：所述处理通道（1）内侧中部竖直设置有隔板（3），隔板（3）将处理通道（1）分为加热室（101）和喷淋室（102），隔板（3）侧面靠近其顶部的位置处开设有贯通孔（31）；所述隔板（3）远离喷淋室（102）的一面上安装有电机（4），电机（4）的输出轴端部安装有偏转装置（5），其中，
所述偏转装置（5）包括中间轴（51），所述中间轴（51）外侧套接有轴承，轴承前后侧均固定连接有固定杆，固定杆端部固定连接在加热室（101）内壁上；所述中间轴（51）两端均固定连接有方形筒（52），且其中一个方形筒（52）与电机（4）的输出轴固定连接，方形筒（52）顶部和底部均安装有方形罩（53），所述方形罩（53）远离方形筒（52）的一端插接有移动柱（54），移动柱（54）外侧套接有移动盘（55），移动盘（55）外圆周面开设有多个置物槽，置物槽内部设置有偏转板（56），偏转板（56）顶端铰接在置物槽顶部的孔壁上；所述方形罩（53）内壁远离方形筒（52）的位置处固定连接有环形圈（57），环形圈（57）由耐高温橡胶材料制成；所述环形圈（57）表面沿周向插接有多个竖向板（58），多个竖向板（58）围成一个圆筒，且竖向板（58）侧面与移动盘（55）外圆周面接触；所述移动盘（55）远离方形筒（52）的一面上固定连接有钢丝绳，钢丝绳一端与方形罩（53）固定连接；
方形罩（53）两侧的所述方形筒（52）上均插接有堵杆（6），堵杆（6）与方形筒（52）不接触，堵杆（6）位于方形筒（52）内部的一端固定连接有堵盘（7）；堵盘（7）两侧均固定连接有限位板（8），限位板（8）嵌入到方形筒（52）侧壁上，且限位板（8）能够沿移动柱（54）的长度方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于：所述方形罩（53）两侧均固定连接有锥筒（9），锥筒（9）的直径逐渐向靠近方形筒（52）的方向变小，且锥筒（9）的尖端铰接有横杆（10），横杆（10）与方形罩（53）固定连接；所述方形罩（53）两侧均固定连接有压缩筒（11），压缩筒（11）的移动段固定连接有三角板（12），三角板（12）的厚度逐渐向远离方形筒（52）的方向变小。
3.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪水兵，刘桂建，张红，洪星园，朱森，秦志勇，杨鹏，包翔，卫尤文，陈建，
申请(专利权)人：安徽省环境科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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