一种转盘式上料机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种转盘式上料机构，包括旋转盘、转盘驱动电机，所述转盘驱动电机通过传动装置与旋转盘连接，用于驱动旋转盘转动，所述旋转盘的外侧对称设有四个载料治具；所述载料治具用于装载芯片；所述四个载料治具对应位置设置进料工位、出料工位、监测工位和备用工位；所述出料工位位于进料工位后；所述监测工位位于进料工位前。本申请的转盘式上料机构能够加快送料，用于连接芯片制造上下游设备，可以将上下游芯片制造设备设计的更紧凑，减少占地空间，并且，进料工位和出料工位同时放料和取料，提高了设备运行效率。并设计负压防止掉料。防止掉料。防止掉料。

【技术实现步骤摘要】
一种转盘式上料机构


[0001]本技术涉及半导体芯片制备领域，用于上下游芯片制造设备的衔接，尤其是涉及一种转盘式上料机构。

技术介绍

[0002]在芯片制造加工领域，一个芯片的制造需要经过多个步骤，通常为了加快生产速度，都会将生产线连续设置。而在一些比较小的生产厂房，则需要半成品的转运，而现有技术中对于半成品转运人工或者体积较大的传输轨道，为此本申请设计了一种体积小巧的短距离转向输送上料装置。可以将上下游芯片制造设备设计的更紧凑，减少占地空间。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的问题是，针对上述现有技术中的缺点，提出改进方案或者替换方案，尤其是一种体积小，并且能够同时上下料的改进或者替换方案。
[0004]为解决上述问题，本技术采用的方案如下：一种转盘式上料机构，包括旋转盘、转盘驱动电机，所述转盘驱动电机通过传动装置与旋转盘连接，用于驱动旋转盘转动，其特征在于，所述旋转盘的外侧对称设有四个载料治具；所述载料治具用于装载芯片；所述四个载料治具对应位置设置进料工位、出料工位、监测工位和备用工位；所述出料工位位于进料工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转盘式上料机构，包括旋转盘、转盘驱动电机，所述转盘驱动电机通过传动装置与旋转盘连接，用于驱动旋转盘转动，其特征在于，所述旋转盘的外侧对称设有四个载料治具；所述载料治具用于装载芯片；所述四个载料治具对应位置设置进料工位、出料工位、监测工位和备用工位；所述出料工位位于进料工位后；所述监测工位位于进料工位前。2.根据权利要求1所述转盘式上料机构，其特征在于，还包括取料监测组件，所述取料监测组件设置在检测工位；所述取料监测组件包括安装支架和对射感应器；所述对射感应器安装支架上，用于检测运行到监测工位的载料治具上是否有芯片。3.根据权利要求1所述转盘式上料机...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡庆鑫，丘劭晖，李奕年，
申请(专利权)人：浙江庆鑫科技有限公司，
类型：新型
国别省市：