一种快速升降温系统及其控制方法技术方案

本发明专利技术提供了一种快速升降温系统及其控制方法，包括第二热交换器、第一热交换器、加热组件和三通阀；冷却液入口管道通过第一换热管与冷却液出口管道连通，冷却液入口管道通过第三换热管与冷却液出口管道连通，加热组件通过负载与三通阀的第一端连通，三通阀的第二端通过第四换热管与加热组件连通，三通阀的第三端通过第二换热管和第四换热管与加热组件连通。本发明专利技术提供的快速升降温系统，通过两个热交换器的共同换热作用，合理控制三通阀。在需要升温时，三通阀控制循环液通过第四换热管流向冷却液出口管道，实现快速升温的目的。在需要降温时，三通阀控制循环液分两路分别流向第二换热管和第四换热管，与循环冷却水换热，实现快速降温的效果。速降温的效果。速降温的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种快速升降温系统及其控制方法


[0001]本专利技术涉及温度控制领域，尤其涉及一种快速升降温系统及其控制方法。

技术介绍

[0002]半导体温控装置作为生产半导体的辅助设备，在晶圆和液晶面板的制程工艺中需要输出不同的温度，同时在维持温度的过程中需要控制一定的制冷量以抵消工艺过程中的热负荷(例如，半导体加工反应腔、液晶面板加工反应腔)，提供高精度、稳定的循环液入口温度。设备在实际工艺中需要保持恒定的输出温度。
[0003]而现有的温控装置在保证系统运行在稳定可靠的状态下，晶圆生产制程工艺对快速升温及快速降温要求越来越高，主要用以满足缩短制程工艺时间，实现增加产量的目的。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种快速升降温系统及其控制方法，用以解决上述问题，在保证温度稳定的情况下，快速实现循环液的升降温，满足晶圆或面板生产工艺的需求。
[0005]本专利技术实施例提供的快速升降温系统，包括：
[0006]第一热交换器、第二热交换器、加热组件和三通阀；
[0007]所述第一热交换器中设有可相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速升降温系统，其特征在于，包括：第一热交换器、第二热交换器、加热组件和三通阀；所述第一热交换器中设有可相互交换热量的第一换热管和第二换热管，所述第二热交换器中设有可相互交换热量的第三换热管和第四换热管；冷却液入口管道通过所述第一换热管与冷却液出口管道连通，所述冷却液入口管道通过所述第三换热管与冷却液出口管道连通，所述加热组件的出口通过负载与所述三通阀的第一端连通，所述三通阀的第二端通过所述第四换热管与所述加热组件的入口连通，所述三通阀的第三端通过所述第二换热管和所述第四换热管与所述加热组件的入口连通。2.根据权利要求1所述的快速升降温系统，其特征在于，所述加热组件包括：循环液箱和加热器；所述加热器安装在所述循环液箱的底部，所述循环液箱的入口与所述第四换热管连通，所述循环液箱的出口通过负载与所述三通阀的第一端连通。3.根据权利要求2所述的快速升降温系统，其特征在于，所述循环液箱的出口与所述三通阀的第一端之间安装有循环泵。4.根据权利要求3所述的快速升降温系统，其特征在于，所述循环泵与所述三通阀之间安装有流量传感器。5.根据权利要求4所述的快速升降温系统，其特征在于，所述快速升降温系统还包括：第一温度传感器；所述第一温度传感器安装在所述循环液箱的出口与所述负载之间。6.根据权利要求5所述的快速升降温系统，其特征在于，所述快速升降温系统还包括：第二温度传感器；所述循环液箱的出口依次通过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋朝阳，冯涛，常鑫，靳李富，董春辉，芮守祯，何茂栋，曹小康，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：