本发明专利技术涉及晶圆光刻显影装置技术领域，公开了一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺，通过先启动紫外投影机，使得紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂膜上使其软化，然后启动液体泵，使得进液管将储液桶内的喷淋剂排进液体泵内，通过液体泵的增压作用，将喷淋剂排进两个出液管内，最后经过喷头喷洒至晶圆上，将晶圆上的晶圆涂膜溶解冲走,使薄膜下的硅暴露出来，从而实现了刻光机构与光致抗蚀剂喷淋机构的一体化，降低了企业的生产成本，先用手握住光罩，然后向外拉动U型把手，使得U型把手在T型槽内滑动，进而带动滑动夹板，并使得两个水平夹紧弹簧发生弹性形变，滑动夹板远离光罩的一侧，从而使得光罩易于更换。于更换。于更换。
【技术实现步骤摘要】
一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺
[0001]本专利技术涉及晶圆光刻显影装置
，具体为一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺。
技术介绍
[0002]电源芯片还早包括晶圆光刻显影、蚀刻这一过程，该过程使用了对紫外光敏感的化学物质，即遇紫外光则变软，通过控制遮光物的位置以及光罩上镂空的形状可以得到芯片的外形，在硅晶片涂上光致抗蚀剂，使得其遇紫外光就会溶解，这是可以用上第一份遮光物，使得紫外光直射的部分被溶解，这溶解部分接着可用溶剂将其冲走，这样剩下的部分就与遮光物的形状一样了，而这效果正是我们所要的，这样就得到我们所需要的二氧化硅层。
[0003]现有技术中，因同样尺寸不同样式的光罩上镂空的形状不同，导致在对多种不同要求的硅晶片进行光刻显影时需要多次更换相同尺寸不同样式的光罩，现有的晶圆光刻装置缺少光罩便捷更换机构，使得需要更换光罩时操作较为繁琐，且现有设备光刻凸透镜的高度无法调节，使得紫外线在硅晶片上的成像大小无法变更，进而无法便捷调整芯片上裸露硅的面积大小，另一方面，现有的部分设备需要将光刻机构与光致抗蚀剂喷淋机构分离开，增大了企业的生产成本，因此，我们公开了一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置来满足企业生产需求。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，具备光罩易于更换、调节凸透镜等优点，解决了生产成本高、光罩不易于更换和硅晶片上的成像大小无法变更的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有基座，所述基座的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有联轴器，所述连轴器的一端固定连接有输入轴，所述输入轴的一端固定连接有主动皮带轮，所述底板的顶部固定连接有四个支柱，四个所述支柱的一侧侧壁上均开设有转孔，同一相对位置的两个所述转孔内分别转动套接有第一转轴和第二转轴，所述第一转轴与所述第二转轴的两端分别延伸至相对应的所述转孔外，所述第一转轴与第二转轴的一端均固定连接有从动皮带轮，所述第一转轴与所述第二转轴的一侧均固定套接有转动辊，两个所述转动辊的一侧共同张紧有同一个传送带，所述传送带的一侧固定连接有多个分布均匀的限位块，所述传送带的一侧设有三个分布均匀的载物盘，三个所述载物盘分别与多个限位块相对应，三个所述载物盘的顶部均固定连接有吸盘。
[0008]优选地，三个所述吸盘的顶部均设有晶圆，所述底板的顶部固定里连接有两个支撑柱，两个所述支撑柱相互靠近的一侧均开设有弧形连接槽，两个所述弧形连接槽内均设
有弧形连接块，两个所述支撑柱与两个所述弧形连接块的顶部均开设有螺孔，同一侧的两个所述螺孔分别与两个所述弧形连接槽相连通。
[0009]优选地，同一侧的两个所述螺孔内均转动螺接有垂直连接螺栓，两个所述弧形连接块相互靠近的一端固定连接有同一个固定套，所述固定套内固定连接有紫外投影机，两个所述支撑柱相互靠近的一侧均开设有矩形连接槽，两个所述矩形连接槽内分别设有弧形夹板和连接杆。
[0010]优选地，两个所述矩形连接槽与相对应的所述弧形夹板、所述连接杆的一端均开设有螺纹孔，同一侧的两个所述螺纹孔分别与相对应的两个所述矩形连接槽相连通，同一侧的两个所述螺纹孔内均转动螺接有同一个夹紧螺母，所述连接杆的一侧开设有两个矩形槽，两个所述矩形槽内均开设有穿孔。
[0011]优选地，两个所述穿孔分别与两个所述矩形槽相连通，两个所述穿孔内均滑动套接有水平导杆，两个所述水平导杆的两端分别延伸至两个所述穿孔外侧，两个所述水平导杆的一端设有同一个滑动夹板，所述滑动夹板的一侧固定连接有两个矩形凸块，两个所述矩形凸块的一侧分别与两个所述水平导杆相连接，并分别与两个所述矩形槽的位置相对应，且相适配。
[0012]优选地，所述滑动夹板的一侧开设有弧形夹紧槽，两个所述水平导杆的一侧均固定套接有水平夹紧弹簧，两个所述水平夹紧弹簧的两端分别与所述矩形凸块、所述矩形槽的一侧内壁相连接，所述滑动夹板的顶部固定连接与U型把手，所述U型把手的底部固定连接有T型块，所述连接杆的顶部开设有T型槽。
[0013]优选地，所述U型把手的一端延伸至所述T型槽内，且T型块与所述T型槽相适配，所述弧形夹紧槽与所述弧形夹板内设有同一个光罩，两个所述支撑柱相互靠近的一侧均开设有升降槽，两个所述升降槽内均开设有通孔，两个所述通孔内均转动螺接有升降螺栓，两个所述升降螺栓的一端均延伸至两个所述升降槽的外侧。
[0014]优选地，两个所述升降螺栓的一侧均转动螺接有升降螺母，两个所述升降螺栓相互靠近的一端均转动螺接有升降夹块，两个所述升降夹块相互靠近的一侧均开设有凹槽，两个所述升降夹块的顶部矩开设有滑孔，两个所述滑孔分别与两个所述凹槽相连通，两个所述滑孔内均滑动套接有夹紧栓，两个夹紧栓的两端分别延伸至两个所述滑孔外侧。
[0015]优选地，两个所述夹紧栓的顶端均固定连接有顶帽，两个所述夹紧栓的底端均固定连接有橡胶垫，两个所述夹紧栓的一侧均固定连接接有垂直夹紧弹簧，两个所述垂直夹紧弹簧的两端分别与所述顶帽、所述橡胶垫相连接，两个所述凹槽内设有同一个凸透镜，所述凸透镜的一侧与两个所述橡胶垫相接触。
[0016]优选地，所述紫外投影机的顶部固定连接有储液桶和液体泵，所述液体泵的一侧固定连接有进液管和两个出液管，所述进液管的另一端延伸至所述储液桶内，两个所述出液管的一端均固定连接有喷头，并延伸至所述紫外投影机的底部与所述晶圆相对应，所述主动皮带轮与两个所述从动皮带轮上共同张紧有同一个连动皮带。
[0017]一种电源芯片制备工艺,使用了权利要求1
‑
5任一项所述的一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置。
[0018](三)有益效果
[0019]与现有技术相比，本专利技术提供了一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，具
备以下有益效果：
[0020]1、该电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，通过先启动紫外投影机，使得紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂膜上使其软化，然后启动液体泵，使得进液管将储液桶内的喷淋剂排进液体泵内，通过液体泵的增压作用，将喷淋剂排进两个出液管内，最后经过喷头喷洒至晶圆上，将晶圆上的晶圆涂膜溶解冲走,使薄膜下的硅暴露出来，从而实现了刻光机构与光致抗蚀剂喷淋机构的一体化，降低了企业的生产成本。
[0021]2、该电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，凸透镜和光罩易于更换，能够调节凸透镜的高度，使得紫外线在硅晶片上的成像大小可以调节。
[0022]3、该电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，通过向上提起两个顶帽，使得两个顶帽带动相对应的夹紧栓在滑孔内向上滑动，使得垂直夹紧弹簧发生弹性形变，并带动相对应的橡胶垫，使得两个橡胶垫与凸透镜远离，从而便于。
附图说明
[0023]图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有基座(2)，所述基座(2)的顶部固定连接有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端固定连接有联轴器，所述连轴器的一端固定连接有输入轴，所述输入轴的一端固定连接有主动皮带轮(4)，所述底板(1)的顶部固定连接有四个支柱(5)，四个所述支柱(5)的一侧侧壁上均开设有转孔，同一相对位置的两个所述转孔内分别转动套接有第一转轴(6)和第二转轴(7)，所述第一转轴(6)与所述第二转轴(7)的两端分别延伸至相对应的所述转孔外，所述第一转轴(6)与第二转轴(7)的一端均固定连接有从动皮带轮(48)，所述主动皮带轮(4)与两个所述从动皮带轮(48)上共同张紧有同一个连动皮带；所述第一转轴(6)与所述第二转轴(7)的一侧均固定套接有转动辊(8)，两个所述转动辊(8)的一侧共同张紧有同一个传送带(9)；所述底板(1)的顶部固定连接有两个支撑柱(14)，所述两个支撑柱(14)顶端固定连接有紫外投影机(19)，所述紫外投影机(19)的顶部固定连接有储液桶(43)和液体泵(44)，所述液体泵(44)的一侧固定连接有进液管(45)和两个出液管(46)，所述进液管(45)的另一端延伸至所述储液桶(43)内，两个所述出液管(46)的一端均固定连接有喷头(47)，并延伸至所述紫外投影机(19)的底部与所述晶圆(13)相对应；所述紫外投影机(19)下部设置有光罩33，所述光罩33通过第一夹持机构连接与所述两个支撑柱连接；所述光罩33下部设置有凸透镜42，所述凸透镜42通过第二夹持机构与所述两个支撑柱连接，所述凸透镜能在竖直方向上进行高度调节调节。2.根据权利要求1所述的一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，其特征在于：两个所述支撑柱(14)相互靠近的一侧均开设有弧形连接槽(15)，两个所述弧形连接槽(15)内均设有弧形连接块(17)，两个所述支撑柱(14)与两个所述弧形连接块(17)的顶部均开设有螺孔，同一侧的两个所述螺孔分别与两个所述弧形连接槽(15)相连通；同一侧的两个所述螺孔内均转动螺接有垂直连接螺栓(16)，两个所述弧形连接块(17)相互靠近的一端固定连接有同一个固定套(18)，所述固定套(18)内固定连接有紫外投影机(19)。3.根据权利要求1或2所述的一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置，其特征在于：所述第一夹持机构包括弧形夹板(21)和连接杆(22)，两个所述支撑柱(14)相互靠近的一侧均开设有矩形连接槽(20)，两个所述矩形连接槽(20)内分别设有弧形夹板(21)和连接杆(22)；两个所述矩形连接槽(20)与相对应的所述弧形夹板(21)、所述连接杆(22)的一端均开设有螺纹孔，同一侧的两个所述螺纹孔分别与相对应的两个所述矩形连接槽(20)相连通，同一侧的两个所述螺纹孔内均转动螺接有同一个夹紧螺母(23)，所述连接杆(22)的一侧开设有两个矩形槽(24)，两个所述矩形...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡卫星，胡馨雨，胡兴捷，
申请(专利权)人：六安优云通信技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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