一种检测设备及检测方法技术

本发明专利技术公开了一种检测设备及检测方法。检测设备包括第一检测系统和第二检测系统，第一检测系统的照明装置发出的第一检测光在待测物表面形成第一光斑，第一检测系统的第一探测装置用于接收第一检测光经待测物表面形成的第一信号光；第二检测系统的照明装置发出的第二检测光在待测物表面形成第二光斑，第二检测系统的第二探测装置用于接收第二检测光经待测物表面形成的第二信号光；第二光斑的亮度大于第一光斑的亮度。检测方法为：通过第一检测系统对待测物表面进行第一检测处理，获取待测物表面的缺陷的尺寸；当缺陷的尺寸小于或等于预设值时，通过第二检测系统对待测物表面进行第二检测处理。该检测设备及检测方法具有较高的检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种检测设备及检测方法
本专利技术涉及检测
，特别是涉及一种检测设备及检测方法。
技术介绍
晶圆作为芯片的基底，若晶圆表面存在缺陷，将导致制备而成的芯片失效，从而导致芯片的良率降低，制造成本增高，故常用的手段是在芯片制备前或制备过程中进行晶圆表面缺陷检测。晶圆表面缺陷检测是指检测晶圆表面是否存在凹槽、颗粒、划痕等缺陷及缺陷的位置。目前，晶圆表面缺陷检测常用的技术是光学检测技术，现有的基于光学检测技术的检测设备的主要缺点是检测速度慢、耗时长、检测效率低。有鉴于此，如何提高晶圆检测效率，是本领域技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种检测设备及检测方法。本专利技术提供的检测设备包括：第一检测系统，包括第一照明装置和第一探测装置，所述第一照明装置用于向待测物发射第一检测光，所述第一检测光在所述待测物表面形成第一光斑，所述第一检测光经所述待测物表面形成第一信号光；第一探测装置用于接收所述第一信号光，并根据所述第一信号光获取所述待测物表面的缺陷的尺寸；第二检测系统，包括第二照明装置和第二探测装置，所述第二照明装置用于向所述待测物发射第二检测光，所述第二检测光在所述待测物表面形成第二光斑，所述第二光斑的亮度大于所述第一光斑的亮度，所述第二检测光经所述待测物表面形成第二信号光；第二探测装置用于接收所述第二信号光，并根据所述第二信号光获取所述待测物表面的检测信息。使用时，可以先用第一检测系统检测待测物表面的缺陷的尺寸，若缺陷的尺寸小于或等于预设值，则再用第二检测系统检测该待测物表面。若缺陷的尺寸大于预设值，则不再用第二检测系统检测该待测物表面。这样可以有效提升检测效率。如上所述的检测设备，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第一检测区为条形；在沿所述第一检测区的延伸方向上，所述第一检测区的长度大于或等于所述待测物的待测区的最大尺寸。如上所述的检测设备，所述第一探测装置包括多个第一探测器，所述多个第一探测器的检测区沿所述第一检测区的延伸方向依次排列形成所述第一检测区。如上所述的检测设备，相邻的所述第一探测器的检测区接触或部分重叠。如上所述的检测设备，所述第一探测器包括第一镜头和第一感光器件，所述第一镜头用于收集所述第一信号光，并使所述第一信号光到达所述第一感光器件，所述第一感光器件与所述待测物的待测区共轭，所述第一镜头和第一感光器件的排列方向垂直于所述待测物的待测区表面。如上所述的检测设备，所述第二检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第二检测区，所述第二探测装置包括多个第二探测器，所述多个第二探测器的检测区在所述待测物的待测区至少部分重合，重合部分形成所述第二检测区；所述第一检测区为条形，所述多个第二探测器在垂直于所述待测物的待测区表面且平行于所述第一检测区延伸方向的平面内排列。如上所述的检测设备，所述第一照明装置为LED照明装置，所述第二照明装置为激光照明装置。如上所述的检测设备，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第二检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第二检测区，所述第一检测区为条形，所述第二检测区位于所述第一检测区延伸方向所在直线的一侧。如上所述的检测设备，所述第二检测区为线形，所述第二检测区的延伸方向垂直于所述第一检测区的延伸方向。如上所述的检测设备，所述第二检测区与所述第一检测区的间距小于所述待测物的待测区沿所述间距方向的最大尺寸的一半。如上所述的检测设备，所述第一检测系统为暗场检测系统，所述第一检测光经所述待测物表面散射形成所述第一信号光，所述第一探测装置成像式收集所述第一信号光；所述第二检测系统为暗场检测系统，所述第二检测光经所述待测物表面散射形成所述第二信号光，所述第二探测装置成像式收集所述第二信号光。如上所述的检测设备，所述第一检测光的入射角与所述第二检测光的入射角相同；和/或，所述第一信号光的出射角与所述第二信号光的出射角相同。如上所述的检测设备，所述待测物表面的缺陷对所述第二检测光的吸收率大于对所述第二检测光的吸收率。如上所述的检测设备，所述第一检测光为可见光；所述第二检测光为紫外光或可见光中的一种或两种组合。如上所述的检测设备，所述检测信息包括：缺陷尺寸、位置、待测物表面薄膜厚度和待测物表面粗糙度中的一者或多者的组合。如上所述的检测设备，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第一检测区为条形，所述检测设备还包括驱动装置，所述驱动装置包括移动平台，所述移动平台用于带动所述待测物沿垂直于所述第一检测区的延伸方向相对于所述第一检测系统平移。如上所述的检测设备，所述驱动装置还包括旋转平台，所述旋转平台用于带动所述待测物绕垂直于其待测区的轴线相对于所述第二检测系统旋转。本专利技术提供的检测方法基于上述任一项检测设备，具体包括：通过所述第一检测系统对待测物表面进行第一检测处理，获取所述待测物表面的缺陷的尺寸；当所述缺陷的尺寸小于或等于预设值时，通过所述第二检测系统对所述待测物表面进行第二检测处理，获取所述待测物表面的检测信息。该检测方法预先检测待测物的大尺寸缺陷，使具有大尺寸缺陷的待测物不再进行小尺寸缺陷的检测，有效提升了检测效率，缩短了检测时长。如上检测方法，所述检测设备包括驱动装置，所述驱动装置包括移动平台，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第一检测区为条形；所述第一检测处理包括：通过所述移动平台带动所述待测物沿垂直于所述第一检测区的延伸方向相对所述第一检测系统平移，使所述第一光斑对所述待测物表面进行扫描。如上所述的检测方法，所述驱动装置还包括旋转平台；所述第二检测处理包括：通过所述移动平台带动所述待测物沿垂直于所述第一检测区的延伸方向相对所述第一检测系统平移的同时，通过所述旋转平台带动所述待测物绕垂直于其待测区的轴线相对所述第二检测系统旋转。附图说明图1为本专利技术提供的检测设备一种具体实施例在待测物表面的第一检测区和第二检测区的示意图；图2为待测物的待测区沿垂直于第一检测区的延伸向移动到不同位置的示意图。图3为第一检测系统一种具体实施例在垂直于第一检测区的延伸方向的截面图；图4为图3在沿第一检测区的延伸方向的截面图；图5为第二检测系统一种具体实施例的立体图；附图标记说明如下：0待测区1第一检测系统，11第一照明装置，12第一探测装置，121第一探测器，13第一检测区；2第二检测系统，21第二照明装置，211第二发光部件，212入射组件，22第二探测装置，221第二探测器，23第二检测区。具体实施方式为了使本
的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术的技术方案作进一步的详细说明。为了使本
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【技术保护点】
1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：/n第一检测系统，包括第一照明装置和第一探测装置，所述第一照明装置用于向待测物发射第一检测光，所述第一检测光在所述待测物表面形成第一光斑，所述第一检测光经所述待测物表面形成第一信号光；第一探测装置用于接收所述第一信号光，并根据所述第一信号光获取所述待测物表面的缺陷的尺寸；/n第二检测系统，包括第二照明装置和第二探测装置，所述第二照明装置用于向所述待测物发射第二检测光，所述第二检测光在所述待测物表面形成第二光斑，所述第二光斑的亮度大于所述第一光斑的亮度，所述第二检测光经所述待测物表面形成第二信号光；第二探测装置用于接收所述第二信号光，并根据所述第二信号光获取所述待测物表面的检测信息。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：
第一检测系统，包括第一照明装置和第一探测装置，所述第一照明装置用于向待测物发射第一检测光，所述第一检测光在所述待测物表面形成第一光斑，所述第一检测光经所述待测物表面形成第一信号光；第一探测装置用于接收所述第一信号光，并根据所述第一信号光获取所述待测物表面的缺陷的尺寸；
第二检测系统，包括第二照明装置和第二探测装置，所述第二照明装置用于向所述待测物发射第二检测光，所述第二检测光在所述待测物表面形成第二光斑，所述第二光斑的亮度大于所述第一光斑的亮度，所述第二检测光经所述待测物表面形成第二信号光；第二探测装置用于接收所述第二信号光，并根据所述第二信号光获取所述待测物表面的检测信息。


2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第一检测区为条形；在沿所述第一检测区的延伸方向上，所述第一检测区的长度大于或等于所述待测物的待测区的最大尺寸。


3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测装置包括多个第一探测器，所述多个第一探测器的检测区沿所述第一检测区的延伸方向依次排列形成所述第一检测区。


4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，相邻的所述第一探测器的检测区接触或部分重叠。


5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测器包括第一镜头和第一感光器件，所述第一镜头用于收集所述第一信号光，并使所述第一信号光到达所述第一感光器件，所述第一感光器件与所述待测物的待测区共轭，所述第一镜头和第一感光器件的排列方向垂直于所述待测物的待测区表面。


6.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第二检测区，所述第二探测装置包括多个第二探测器，所述多个第二探测器的检测区在所述待测物的待测区至少部分重合，重合部分形成所述第二检测区；
所述第一检测区为条形，所述多个第二探测器在垂直于所述待测物的待测区表面且平行于所述第一检测区延伸方向的平面内排列。


7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一照明装置为LED照明装置，所述第二照明装置为激光照明装置。


8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第一检测区，所述第二检测系统在所述待测物表面形成的检测区为第二检测区，所述第一检测区为条形，所述第二检测区位于所述第一检测区延伸方向所在直线的一侧。


9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测区为条形，所述第二检测区的延伸方向垂直于所述第一检测区的延伸方向。


10.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述第二检测区与所述第一检...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张龙，黄有为，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44