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立型可填充的二氯硅烷容器制造技术

技术编号:28359285 阅读:20 留言:0更新日期:2021-05-07 23:44
本发明专利技术公开了一种立型可填充的二氯硅烷容器,其包括有:一容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部、一圆弧底部及一圆弧顶部,该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳,一座板对称开设有两堆高机插设孔,且该座板以四支撑杆固定于该容器本体而形成有呈开放状的一加热空间,一作动阀组以一圆盘固定于圆弧顶部且固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀,借由该吊耳与该堆高机插设孔的四角对称结构,让该容器本体能稳定保持直立状而进行搬运,再借由开放状的该加热空间,使二氯硅烷(SiH

【技术实现步骤摘要】
立型可填充的二氯硅烷容器
本专利技术是有关于一种化学溶液储存容器,尤其是指一种兼具使用安全性与重复填装使用的立型可填充的二氯硅烷(SiH2Cl2)容器。
技术介绍
二氯硅烷(缩写DCS),是一种无机化合物,化学式为H2SiCl2,二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料,其优点是它在较低温度可以分解,并且有较高的硅晶体生长速率,由于二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体,在空气中可以迅速水解并自燃,因此接触空气会有产生爆炸的风险,该二氯硅烷的毒性也很大,利用它的任何实验都需要有完善的保护性措施,是故在储存容器的使用、搬运与填装皆需要相当注重,导致大多数用于储存二氯硅烷的容器皆会采用少量瓶装,借此降低其风险与损害程度,但小型瓶装会增加搬运、换装的次数,导致无法有效的提高安全性,是故,本创作为克服上述缺点,进一步改良大型储存容器,使400公升左右的二氯硅烷容器能兼具使用安全性与方便重新填装的功能。有鉴于此,本专利技术人于多年从事相关产品的制造开发与设计经验,针对上述的目标,详加设计与审慎评估后,终得一确具实用性的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术所欲解决的技术问题在于针对现有技术存在的上述缺失,提供一种立型可填充的二氯硅烷(SiH2Cl2)容器。本专利技术提供的立型可填充的二氯硅烷(SiH2Cl2)容器包括:一容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部,且该环圈部向一端延伸有一圆弧底部,而该环圈部向另一端延伸有一圆弧顶部,该环圈部的直径介于750mm至860mm之间,且该圆弧底部至该圆弧顶部之间的最长距离介于900mm至1000mm之间,该容器本体能容纳360公升至440公升之间的二氯硅烷(SiH2Cl2)液体,该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳,一座板对称开设有两堆高机插设孔,且该座板呈十字相对状而竖立有四支撑杆,该座板以该四支撑杆连接固定于该容器本体的环圈部,让该圆弧底部与该座板之间形成有呈开放状的一加热空间,一作动阀组以一圆盘固定于该圆弧顶部,且该圆盘上固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀,该第一阀管相通该容器本体以用于灌入二氯硅烷(SiH2Cl2)液体,该第二阀管相通该容器本体以用于输出二氯硅烷(SiH2Cl2)气体,该备用阀管相通该容器本体以用于取代该第一阀管、该第二阀管或该气动阀,该气动阀相通该容器本体以用于控制二氯硅烷(SiH2Cl2)进出该容器本体的流量大小,借由四个该吊耳与两个该堆高机插设孔的四角对称结构,让该容器本体能稳定保持直立状而进行搬运,再借由开放状的该加热空间,使该容器本体内的二氯硅烷(SiH2Cl2)残液能通过加热方式完全气化,进而在不需要倾倒该容器本体状态下,由该第一阀管处重新装填二氯硅烷(SiH2Cl2)液体,以具有重复使用与提高安全性的功效。其中,该备用阀管组装有一压力表。其中,该座板呈正方形的四边长度皆介于900mm至1000mm之间,且该座板于突出该容器本体部分竖立该支撑杆,通过该座板与该支撑杆形成该容器本体的防碰撞保护。其中,该环圈部等间距固定有四个结合片,且该结合片形成有一开口,该开口朝向该圆弧底部方向,该支撑杆穿入该结合片的开口,并以焊接方式连结该支撑杆与该结合片。其中,该加热空间处设置有一加热器,且该加热器贴附于该容器本体的圆弧底部。其中,该圆盘盖锁有一全遮蔽式外罩,且该外罩装设有数个吊板与至少一握把。其中,该容器本体于该圆弧顶部固定有一镂空状框架,且该框架围设于该作动阀组。其中,该框架顶面盖设有一盖板,且该盖板设有至少一把手。本专利技术的一主要目的在于,该座板以四角对称的该支撑杆悬空固定该容器本体,且该容器本体于圆弧顶部处的四角落处固定有该吊耳,当该容器本体需要进行搬运时,可利用堆高机穿过该座板的堆高机插设孔,使该容器本体能平衡的被顶高搬动,借此防止该容器本体产生倾倒的情况发生,也可由该吊耳处直接吊高该容器本体,其吊高搬移作业可通过天车进行,综上所述,该容器本体于搬运时能稳定的保持站立状态,即能防止该容器本体因倾倒产生损坏与二氯硅烷(SiH2Cl2)泄漏,以有效提高其搬运安全性。本专利技术的又一主要目的在于,该座板以四角对称的该支撑杆悬空固定该容器本体,使该容器本体的圆弧底部与该座板之间形成有开放式的该加热空间,该加热器直接置入该圆弧底部与座板之间所间隔的该加热空间,再通过开放式的该加热空间让该加热器容易放入与贴附于该圆弧底部,就能由该加热器直接对该圆弧底部进行加热,使位于该圆弧底部的二氯硅烷(SiH2Cl2)残液能全部气化,并由该第二阀体排出使用,即能在不需要倾倒该容器本体的前提下充分利用二氯硅烷(SiH2Cl2),而清空的容器本体能再由该第一阀管处重新填充二氯硅烷(SiH2Cl2)液体,借此兼具有安全性与重复使用的功效。其他目的、优点将从以下详细的描述与相关的附图更加显明。附图说明图1为本专利技术的立体图。图2为本专利技术的正面示意图。图3为本专利技术的作动阀组局部立体图。图4为本专利技术底部加热示意图。图5为本专利技术装设压力表的示意图。图6为本专利技术更换容器本体的示意图。图7为本专利技术另一实施例的立体图。图8为本专利技术又一实施例的立体图。图9为本专利技术又一实施例装设盖板的立体图。附图中的符号说明:10容器本体;11环圈部;12圆弧底部;13圆弧顶部;14吊耳;15结合片;151开口;16框架;17盖板;171把手;20座板;21堆高机插设孔;22支撑杆;23加热空间;24加热器;30作动阀组;31圆盘;32第一阀管;33第二阀管;34备用阀管;341压力表;35气动阀;36外罩;361吊板;362握把;A直径;B距离;C长度。具体实施方式为使对本专利技术的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识,以下配合图式详述如后:先由图1、图2与图3所示,一种立型可填充的二氯硅烷(SiH2Cl2)容器,其包括有:一容器本体10、一座板20及一作动阀组30,该容器本体10呈圆桶状并形成有一环圈部11,且该环圈部11向一端延伸有一圆弧底部12,而该环圈部11向另一端延伸有一圆弧顶部13,该环圈部11的直径A介于750mm至860mm之间,且该圆弧底部12至该圆弧顶部13之间的最长距离B介于900mm至1000mm之间,让该容器本体10能容纳360公升至440公升之间的二氯硅烷(SiH2Cl2)液体,该圆弧顶部13于四个对角皆设有一吊耳14,该座板20对称开设有两堆高机插设孔21,该座板20呈十字相对状而竖立有四支撑杆22,该座板20以该四支撑杆22连接固定于该容器本体10的环圈部11,让该圆弧底部12与该座板20之间形成有呈开放状的一加热空间23,该加热空间23处设置有一加热器24(如图4所示),且该加热器24贴附于该容器本体10的圆弧底部12,该座板20呈正方形的四边长度C皆介于900mm至1000mm之间,且该座板20于突出该容器本体10部分竖立该支撑杆22,通过该座板20与该支撑杆22形成该容器本体10的防本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种立型可填充的二氯硅烷容器,其特征在于,包括有:/n一容器本体,该容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部,且该环圈部向一端延伸有一圆弧底部,而该环圈部向另一端延伸有一圆弧顶部,该环圈部的直径介于750mm至860mm之间,且该圆弧底部至该圆弧顶部之间的最长距离介于900mm至1000mm之间,该容器本体容纳360公升至440公升之间的二氯硅烷液体,该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳;/n一座板,该座板对称开设有两堆高机插设孔,且该座板呈十字相对状而竖立有四支撑杆,该座板以该四支撑杆连接固定于该容器本体的环圈部,让该圆弧底部与该座板之间形成有呈开放状的一加热空间;以及/n一作动阀组,该作动阀组以一圆盘固定于该圆弧顶部,且该圆盘上固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀,该第一阀管相通该容器本体以用于灌入二氯硅烷液体,该第二阀管相通该容器本体以用于输出二氯硅烷气体,该备用阀管相通该容器本体以用于取代该第一阀管、该第二阀管或该气动阀,该气动阀相通该容器本体以用于控制二氯硅烷进出该容器本体的流量大小,借由四个该吊耳与两个该堆高机插设孔的四角对称结构,让该容器本体稳定保持直立状而进行搬运,再借由开放状的该加热空间,使该容器本体内的二氯硅烷残液能够通过加热方式完全气化,进而在不需要倾倒该容器本体状态下,由该第一阀管处重新装填二氯硅烷液体。/n...

【技术特征摘要】
1.一种立型可填充的二氯硅烷容器,其特征在于,包括有:
一容器本体,该容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部,且该环圈部向一端延伸有一圆弧底部,而该环圈部向另一端延伸有一圆弧顶部,该环圈部的直径介于750mm至860mm之间,且该圆弧底部至该圆弧顶部之间的最长距离介于900mm至1000mm之间,该容器本体容纳360公升至440公升之间的二氯硅烷液体,该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳;
一座板,该座板对称开设有两堆高机插设孔,且该座板呈十字相对状而竖立有四支撑杆,该座板以该四支撑杆连接固定于该容器本体的环圈部,让该圆弧底部与该座板之间形成有呈开放状的一加热空间;以及
一作动阀组,该作动阀组以一圆盘固定于该圆弧顶部,且该圆盘上固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀,该第一阀管相通该容器本体以用于灌入二氯硅烷液体,该第二阀管相通该容器本体以用于输出二氯硅烷气体,该备用阀管相通该容器本体以用于取代该第一阀管、该第二阀管或该气动阀,该气动阀相通该容器本体以用于控制二氯硅烷进出该容器本体的流量大小,借由四个该吊耳与两个该堆高机插设孔的四角对称结构,让该容器本体稳定保持直立状而进行搬运,再借由开放状的该加热空间,使该容器本体内的二氯硅烷残液能够通过加热方式完全气化,进而在不需要倾倒该容器本体状态下,由该第一阀管处重新装填二氯硅烷液体。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚珈蔚
申请(专利权)人:姚珈蔚
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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