距离传感器像素阵列结构及距离传感器制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种距离传感器像素阵列结构及距离传感器。距离传感器像素阵列结构包括呈阵列排布的多个像素单元，每个像素单元包括单光子雪崩二极管，相邻所述像素单元分时工作，由此在工作时，可以分时段依次开启相应位置的单光子雪崩二极管，则在某个像素单元工作时，它上下左右相邻的像素单元都处于非工作状态，则串扰很难达到另一个正在工作状态的像素单元，使得串扰情况得以改善，而且，也不会产生误触发；基于此，本实用新型专利技术实现了相邻像素间距得以缩小，从而能够大大提高分辨率。

【技术实现步骤摘要】
距离传感器像素阵列结构及距离传感器
本技术涉及传感器
，特别是涉及一种距离传感器像素阵列结构及距离传感器。
技术介绍
DTOF(直接飞行时间)距离传感器是基于spad(单光子雪崩二极管)的雪崩触发。在分辨率高时，pixelpitch(相邻像素间距)需要非常小，如1μm、2.5μm、3.5μm，5μm、10μm等，小的pixelpitch时容易受到相邻像素的串扰影响。当pixelpitch降低时，串扰会急速增加。相对于imagesensor或者ITOF，DTOF的串扰将引起相邻spad的误触发，直接导致图像糊成一片，而不是只带来距离误差或者分辨率降低。因此，目前DTOF的pixelpitch很大，如20μm、30μm等，导致分辨率较低。因此，当DTOF实现VGA、QVGA等分辨率时，需要把pixelpitch降低到如5μm，此时就必须要解决串扰问题。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种距离传感器像素阵列结构及距离传感器，降低相邻像素单元之间的串扰，规避单光子雪崩二极管的误触发。>为解决上述技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种距离传感器像素阵列结构，其特征在于，包括：/n呈阵列排布的多个像素单元，每个像素单元包括单光子雪崩二极管，相邻所述像素单元分时工作，还设置有多个滤光片，每个所述滤光片对应设置在每个像素单元上，至少部分所述滤光片为不同波长的滤光片。/n

【技术特征摘要】
1.一种距离传感器像素阵列结构，其特征在于，包括：
呈阵列排布的多个像素单元，每个像素单元包括单光子雪崩二极管，相邻所述像素单元分时工作，还设置有多个滤光片，每个所述滤光片对应设置在每个像素单元上，至少部分所述滤光片为不同波长的滤光片。


2.如权利要求1所述的距离传感器像素阵列结构，其特征在于，相邻...

【专利技术属性】
技术研发人员：东尚清，
申请(专利权)人：上海大芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31