红外传递函数测量仪的装调方法技术

本发明专利技术公开了一种红外传递函数测量仪的装调方法包括干涉仪主体、球面标准镜、标准平面镜；所述干涉仪产生口径为9mm的平面波，经干涉仪球面标准镜变成球面波，球面波汇聚点调试到被测非球面镜焦点处，球面波经折转镜、非球面镜以平面波的方式出射到标准平面镜上，平面波按原路返回，经非球面镜、折转镜、干涉仪系统成像到干涉仪探测器上，最后分析计算探测器处的干涉图，可以得到红外传递函数测量仪光学系统的成像质量及焦点的准确位置。此时，将目标发生器靶板放置到非球面镜的焦点上，将像分析器放置到非球面镜出射光光轴上。

【技术实现步骤摘要】
红外传递函数测量仪的装调方法
本专利技术属于光电测试仪器装调
，尤其涉及一种红外传递函数测量仪的装调方法。
技术介绍
红外光学利用一切物体都可以辐射红外线的特点，紧紧跟随红外探测器、红外光学材料、系统设计、微型制冷器和电子技术的发展，发展出一大批优良的红外光电系统，不断地扩展人类的视觉，广泛应用于天文观测、航空航天遥感、国防安全、灾害预警、夜间监控、医疗、工业数码、汽车安全、汽车夜视及自动驾驶等领域。光学传递函数OTF(OpticalTransferFunction)是以谐波分析和频率滤波的观点来进行光学系统的像质评价的，它具有检测准确、客观、快速等优点，故80年代开始，光学传递函数已广泛应用于成像系统的检测和评价等领域。传递函数测量的理论和实践是人们在频率域寻求和探索评价光学成像质量的方法，它加深了人们对传统像质评价方法的认识。光学传递函数是一种理论严密，灵敏而又定量的像质评价方法。它能够对成像过程的各环节进行测量和评价；光学传递函数的内容非常丰富，信息量大。调制传递函数MTF(ModuleTransferFunction)是光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1将干涉仪主体、球面标准镜、标准平面镜、非球面镜、折转镜装调为自准直光路；/nS2粗调所述干涉仪主体的空间位置、所述标准平面镜俯仰及偏摆的两维角度，所述干涉仪测试所述非球面镜的MTF和波像差；/nS3精调所述折转镜俯仰及偏摆的两维角度、所述干涉仪高低及左右位置；/nS4将目标发生器安装到所述干涉仪焦点位置；/nS5精确调整所述目标发生器位置，所述目标靶板干涉图中的离焦距不高于0.01λ，其中λ＝632.8nm；/nS6将像分析器放入所述自准直光路中，调整所述像分析器位置使所述像分析器对所述非球面镜发出的平行光束进行成像；/n...

【技术特征摘要】
1.一种红外传递函数测量仪的装调方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1将干涉仪主体、球面标准镜、标准平面镜、非球面镜、折转镜装调为自准直光路；
S2粗调所述干涉仪主体的空间位置、所述标准平面镜俯仰及偏摆的两维角度，所述干涉仪测试所述非球面镜的MTF和波像差；
S3精调所述折转镜俯仰及偏摆的两维角度、所述干涉仪高低及左右位置；
S4将目标发生器安装到所述干涉仪焦点位置；
S5精确调整所述目标发生器位置，所述目标靶板干涉图中的离焦距不高于0.01λ，其中λ＝632.8nm；
S6将像分析器放入所述自准直光路中，调整所述像分析器位置使所述像分析器对所述非球面镜发出的平行光束进行成像；
S7将目标靶板安装在所述球面标准镜的焦点处；
S8计算自准直光路的装调偏差，计算公式如下：



εz＝8(F#)2×ΔWdefous(2)
其中，F#为非球面镜的相对口径的倒数，D为非球面镜的口径，f′为非球面镜的焦距，ΔWdefous为干涉仪主体测得的非球面镜的离焦量，εz为红外传递函数测量仪焦面的装调偏差；
S9输出非球面镜的MTF和波像差、红外传递函数测...

【专利技术属性】
技术研发人员：马洪涛，袁理，许洪刚，陈晓苹，李旭，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22