【技术实现步骤摘要】
一种测量激光器激光功率的传感器及激光功率计
本专利技术涉及传感器
,具体是指一种测量激光器激光功率的传感器及激光功率计。
技术介绍
随着激光器的大量应用,准确地测量激光功率无论是在工业、医疗、通信亦或是军事领域都显得至关重要。现有技术中,通常采用激光功率计测量激光的功率。激光功率计一般由内置传感器的功率探头和显示组件构成。按原理不同,传感器可分为光电型传感器和热电型传感器。光电型传感器的原理是通过光电二极管,直接将光能转换为电流或者电压信号以表征激光功率的大小。光电型传感器虽然响应时间更短,响应频率更高,但是其适用的波长有限制。热电型传感器通常采用对称式布局的热电堆测量被吸收体吸收的激光能量在基体中形成的温度梯度从而输出电信号来进行测量。热电型探头的响应时间相对较长,但光谱测量范围宽,从紫外到远红外波段均可使用,因此应用更加广泛。现有的热电堆传感器通常由铝合金基体、吸收体、绝缘层、敏感层、接线柱组成。由于基体尺寸和构成热电堆的热电偶组成方式的限制,只能在基体表面布置相对较少的热电偶数量。因此测量较小功率的激光器 ...
【技术保护点】
1.一种测量激光器激光功率的传感器,包括金属基体、吸收体、绝缘层、热电堆敏感层和接线柱,其特征在于,所述吸收体位于热电堆敏感层另一侧,所述热电堆敏感层包括两个层叠布置的热电堆正负极镀层,所述绝缘层位于相邻的两个热电堆正负极镀层之间,所述绝缘层在基体与热电堆之间也有设置;所述接线柱位于基体上,所述接线柱下部设有聚四氟座,所述聚四氟座固接在基体敏感层一侧;在靠近基体位置的绝缘层上还设有与接线柱对应的通孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种测量激光器激光功率的传感器,包括金属基体、吸收体、绝缘层、热电堆敏感层和接线柱,其特征在于,所述吸收体位于热电堆敏感层另一侧,所述热电堆敏感层包括两个层叠布置的热电堆正负极镀层,所述绝缘层位于相邻的两个热电堆正负极镀层之间,所述绝缘层在基体与热电堆之间也有设置;所述接线柱位于基体上,所述接线柱下部设有聚四氟座,所述聚四氟座固接在基体敏感层一侧;在靠近基体位置的绝缘层上还设有与接线柱对应的通孔。
2.根据权利要求1所述的一种测量激光器激光功率的传感器,其特征在于,所述吸收体采用氧化铬和碳化硅复合热障涂层制作,并喷涂在基体表面。
3.根据权利要求2所述的一种测量激光器激光功率的传感器,其特征在于,所述基体上靠近边缘位置周向设有若干间距布置的螺钉孔。
4.根据权利要求1所述的一种测量激光器激光功率的传感器,其特征在于,所述绝缘层采用氧化铝制作,并镀制在基体上以及热电堆正极...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘吴达,
申请(专利权)人:温州纽博恩科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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