【技术实现步骤摘要】
光谱共焦位移传感器的光源组件及光谱共焦位移传感器
本专利技术涉及精密位移测量领域，特别涉及一种光谱共焦位移传感器的光源组件及光谱共焦位移传感器。
技术介绍
光谱共焦位移传感器是一种精密位移测量装置，原理为：由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色)，通过色散镜头发生光谱色散，量程范围内形成不同波长的单色光，每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到，通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦位移传感器已在精密非接触测量广泛使用，特别是在亚微米领域、被测物表面多样化的领域已经是极少数可行方案之一。光谱共焦位移传感器有两个主要性能参数，线性度和分辨率。分辨率又分为横向分辨率与纵向分辨率，横向分辨率通俗理解就是，传感器理想情况下的精度是多少，如1nm、2nm；纵向分辨率与传感器在反射面上形成的光斑直径有关，可以理解光斑越小测量分辨率越高。横向分辨率与纵向分辨率在不同的场合起作用，当传感器用于测量位移时，此时因为测量面大多为光滑面(没有高低起伏...
【技术保护点】
1.一种光谱共焦位移传感器的光源组件，其特征在于，包括半导体激光器，所述半导体激光器前方依次设置准直器、荧光粉以及耦合透镜，光谱共焦位移传感器的光纤对准所述耦合透镜。/n
【技术特征摘要】
1.一种光谱共焦位移传感器的光源组件，其特征在于，包括半导体激光器，所述半导体激光器前方依次设置准直器、荧光粉以及耦合透镜，光谱共焦位移传感器的光纤对准所述耦合透镜。
2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器的光源组件，其特征在于，所述半导体激光器为蓝光半导体激光器，所述荧光粉为黄色荧光粉。
3.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器的光源组件，其特征在于，所述准直器包括快轴准直透镜和慢轴准直透镜，所述快轴准直透镜设置在光路的靠前位置，所述慢轴准直透镜设置在光路的靠后位置。
4.一种光谱共焦位移传感器，其特征在于，采用了如权利要求1-3任意一项所述的光谱共焦位移传感器光源组件。
5.根据权利要求4所述的光谱共焦位...
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