【技术实现步骤摘要】
钢瓶接头防错换装置
本技术涉及高新产业特种气体供应
,尤其涉及钢瓶接头防错换装置。
技术介绍
特气柜是特种气体供应系统里主要设备,特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料,半导体工业用气体品种多、质量要求高,大部分是有毒或腐蚀性气体,所以工艺制程的气体供应过程的安全性问题相当重要。特气柜为了24小时不间断供应,一般为一用一备,当一侧使用完毕后需更换新的特气钢瓶,以往特气柜里的特种气体钢瓶更换时,有可能因人员疏忽导致拆错钢瓶造成危险事故发生,安全性低,没有较好的安全保障,因此,为解决此问题特增加防错换装置,是此领域迫切需要的。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷,提供了钢瓶接头防错换装置,具有一定的防错拆效果和较好安全保护性能的优点。实现上述目的的技术方案是:本技术提供了钢瓶接头防错换装置,包括特气钢瓶主体,所述特气钢瓶主体的一侧设置有特气钢瓶接头和特气钢瓶接引线, ...
【技术保护点】
1.钢瓶接头防错换装置,包括特气钢瓶主体,其特征在于,所述特气钢瓶主体的一侧设置有特气钢瓶接头和特气钢瓶接引线,所述特气钢瓶接引线与所述特气钢瓶接头的一侧安设有防护装置,所述防护装置靠近所述特气钢瓶接头的一侧通过伸缩杆连接有接头防护挡片,所述防护装置的上表面设有气源点AC1接头和气源点AC2接头。/n
【技术特征摘要】
1.钢瓶接头防错换装置,包括特气钢瓶主体,其特征在于,所述特气钢瓶主体的一侧设置有特气钢瓶接头和特气钢瓶接引线,所述特气钢瓶接引线与所述特气钢瓶接头的一侧安设有防护装置,所述防护装置靠近所述特气钢瓶接头的一侧通过伸缩杆连接有接头防护挡片,所述防护装置的上表面设有气源点AC1接头和气源点AC2接头。
2.根据权利要求1所述钢瓶接头防错换装置,其特征在于,所述接头防护挡片靠近所述特气钢瓶接头一侧的表面与所述特气钢瓶接头的外表面不接触。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁治,
申请(专利权)人:上海吉威电子系统工程有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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